Назначение
Вакуумметры тепловые THERMOVAC (далее - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления (вакуума) негорючих газов.
Описание
Принцип действия вакуумметров основан на зависимости теплопроводности разряженного газа от давления (датчик Пирани).
Конструктивно вакуумметры состоят из измерительного преобразователя, преобразовывающего измеряемое давление в аналоговый сигнал, и измерительного электронного блока. Измерительный преобразователь оснащён датчиком Пирани. Измерительный электронный блок осуществляет управление вакуумметром и преобразование унифицированного аналогового сигнала в цифровой с последующим отображением измеряемого давления на дисплее. Измерительный электронный блок может быть встроенным или внешним. Для вакуумметров в качестве внешнего измерительного электронного блока могут быть использованы контроллеры Display (моделей One, Two, Three) и Graphix (моделей One, Two, Three) фирмы «Leybold GmbH».
Вакуумметры выпускаются в следующих модификациях: TTR 81N, TTR 91, TTR 91 S, TTR 96 S, TTR 101, TTR 91N, TTR 91N S, TTR 96N S, TTR 96N SC, TTR 911N, TTR 911N C, TTR 911N S, TTR 911N SC, TTR 916N SC, TTR 101N, TTR 101N S, TM 101.
Модификации TTR 81N и TTR 91 - стандартные версии вакуумметра без точек уставки, TTR 91 S - версия вакуумметра с точкой уставки, TTR 96 S - версия вакуумметра с точкой уставки и с никелевой нитью накала, TTR 101 - версия вакуумметра без точки уставки и с дополнительной встроенной керамической мембраной. Версии вакуумметров с индексом N - обновленная линейка вакуумметров в более компактных корпусах. TTR 91N - обновленный аналог TTR 91, стандартный вакуумметр без точек уставки. TTR 91N S - вакуумметр с двумя точками уставки, TTR 96N S - вакуумметр с двумя точками уставки и покрытием Parylene-HT с повышенной сопротивляемостью агрессивным газам, TTR 96N SC - вакуумметр с двумя точками уставки, покрытием Parylene-HT, с удлиненным фланцем ISO-CF для работы при более высоких температурах. TTR 911N - вакуумметр с двумя точками уставки и цифровым сенсорным дисплеем, TTR 911N S - вакуумметр с тремя точками уставки, TTR 911N SC -вакуумметр с двумя точками уставки и покрытием Parylene-HT. TTR 916N SC - вакуумметр с 2 точками уставки, сенсорным дисплеем и покрытием Parylene-HT. TTR 101N - версия вакуумметра с двумя точками уставки и с дополнительной встроенной керамической мембраной. TTR 101N S - версия вакуумметра с тремя точками уставки и с дополнительной встроенной керамической мембраной. TM 101 - переносной вакуумметр с дисплеем и дополнительным пьезо-резестивным элементом.
Результаты измерений вакуумметра могут быть зафиксированы с помощью цифрового вольтметра. Для снятия показаний аналогового сигнала и подключения к вспомогательной аппаратуре вакуумметры оснащаются интерфейсом RS485 или интерфейсом RS232. Для отдельного заказа доступны вакуумметры с интерфейсами Profibus и Ethercat.
Общий вид корпусов вакуумметров с указанием мест нанесения знака поверки и пломбировки от несанкционированного доступа приведен на рисунке 1. Внешний вид может незначительно отличаться от указанных на рисунке в зависимости от типа присоединительного фланца, интерфейса связи и наличия или отсутствия цифрового дисплея.
Рисунок 1 - Общий вид вакуумметров
Программное обеспечение
Метрологически значимая часть программного обеспечения (ПО) вакуумметров представляет собой специализированное ПО установленное в измерительном электронном блоке и выполняющее функции приема, обработки и отображения измерительной информации. Конструкция вакуумметров со встроенным измерительным электронным блоком исключает возможность несанкционированного влияния на ПО вакуумметров и измерительную информацию.
В контроллерах Display и Graphix используется специальное встроенное программное обеспечение. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО контроллеров указаны в таблице 1.
Уровень защиты ПО «Высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные (признаки) ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | GRAPHIX controller |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 1.10.00 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | 0x39 (“9” в ASCII) |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО | СRC |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Модификация | TTR 81N, TTR 91N, TTR 91N S, TTR 96N S, TTR 96N SC, TTR 911N, TTR 911N C, TTR 911N S, TTR 911N SC, TTR 916N SC | TTR 101, TTR 101N, TTR 101N S |
| Диапазон показаний, мбар | от 5 10-5 до 1000 | от 5 10-5 до 1500 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений, мбар | от 5 10-4 до 1000 | от 5 10-4 до 1500 |
| Пределы допускаемой относительной | | |
| погрешности измерений давления, %: | | |
| - в диапазоне от 5 -10-4 до 100 мбар | ±10 | - |
| включ. | | |
| - в диапазоне св. 100 до 1000 мбар | ±25 | - |
| - в диапазоне от 5-10-4 до 1333 мбар | - | ±10 |
| включ. | | |
| - в диапазоне св. 1333 до 1500 мбар | - | ±25 |
Таблица 3 - Метрологические характеристики модификаций TTR 91, TTR 91 S, TTR 96 S
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон показаний, мбар | от 5 10-4 до 1000 |
| Диапазон измерений, мбар | от 5 10-4 до 1000 |
| Пределы допускаемой относительной | |
| погрешности измерений давления, %: | |
| - в диапазоне от 5 10-4 до 1 10-3 мбар включ. | ±50 |
| - в диапазоне св. 110-3 до 100 мбар включ. | ±15 |
| - в диапазоне св. 100 до 1000 мбар | ±50 |
Таблица 4 - Метрологические характеристики модификации ТМ101
| Наименование характеристики | Значение |
| Модификация | ТМ 101 |
| Диапазон показаний, мбар | от 5 10-4 до 1200 |
| Диапазон измерений, мбар | от 210-3 до 1200 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений давления, %: -3 - в диапазоне от 2-10" до 1200 мбар | ±10 |
Таблица 5 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Модификация | TTR 81N, TTR 91, TTR 91 S, TTR 96 S, TTR 91N, TTR 91N S, TTR 96N S, TTR 96N SC, TTR 911N, TTR 911N C, TTR 911N S, TTR 911N SC, TTR 916N SC | TTR 101, TTR 101N, TTR 101N S |
| Выходной аналоговый сигнал, В | от 1,1 до 10 | от 0,61 до 10,23 |
| Напряжение питания постоянного тока, В | от 9 до 30 | от 9 до 30 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 1,2 | 2,5 |
| Максимальное допускаемое испытательное давление, мбар | 2000 |
| Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более | 67x56x155 | 67х56х116 |
| Масса, кг, не более | 0,3 | 0,17 |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха, % - атмосферное давление, кПа | от +10 до +40 от 30 до 85 от 96 до 104,7 |
Таблица 6 - Основные технические характеристики модификации ТМ101
| Наименование характеристики | Значение |
| Модификация | ТМ 101 |
| Номинальное напряжение питания постоянного тока от стандартного элемента питания, В | 9/15 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 0,11 |
| Максимальное допускаемое испытательное давление, мбар | 2000 |
| Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более | 60x61x120 |
| Масса, кг, не более | 0,23 |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха, % - атмосферное давление, кПа | от +10 до +40 от 30 до 85 от 96 до 104,7 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерений
Таблица 7 - Комплектность вакуумметра
| Наименование | Кол-во, шт. |
| Вакуумметр одной из модификаций | 1 |
| Комплект эксплуатационной документации | 1 |
| Пылезащитный колпачок | 1 |
Поверка
осуществляется по документу МИ 140-89 Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки.
Основные средства поверки:
Рабочие эталоны 1-го разряда по ГОСТ 8.107-81 Рабочие эталоны 3-го разряда
Знак поверки наносится на корпус вакуумметра и (или) в свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная
8 3
схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне от 110 до 110 Па.
ГОСТ Р 8.840-2013 Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 - 1 • 106 Па
Техническая документация фирмы «Leybold GmbH», Германия.
68784-17: Описание типа СИСкачать125.5 Кб