Вакуумметры мембранно-емкостные CMR и CCR

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 24
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 1

Назначение

Вакуумметры мембранно-емкостные CMR и CCR (далее по тексту - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления негорючих газов.

Описание

Конструктивно вакуумметры состоят из измерительного мембранно-емкостного датчика, соединенного электрическим кабелем с внешним измерительным блоком.

Принцип действия датчика основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией чувствительного элемента. В качестве чувствительного элемента применяется плоская, практически газонепроницаемая мембрана из инконеля. С одной стороны мембраны находится вакуумированный объем, откачанный до остаточного давления, не превышающего 10 Па, которое поддерживается в течение длительного времени химическим геттером (газопоглотителем). На другую сторону мембраны подается измеряемое давление, вызывающее деформацию мембраны, которая приводит к изменению электрической емкости между мембраной и электродами, расположенными в вакуумированном объеме. Емкость включена в одно из плеч мостовой схемы, работающей в режиме с фиксированной частотой и постоянной амплитудой. Изменение емкости, вызываемое давлением, нарушает баланс мостовой схемы. При этом электрический сигнал переменного тока разбаланса моста, пропорциональный измеряемому давлению, поступает в электронный блок датчика, где преобразуется в выходной сигнал напряжения постоянного тока. Далее этот сигнал подается на внешний измерительный блок, применяемый для цифрового контроля результатов измерений.

В качестве измерительного блока в вакуумметрах CMR могут применяться контроллеры TPG 256, TPG 361, TPG 362, в вакуумметрах CCR - контроллер PR4000B. Контроллеры предназначены для обеспечения электропитания датчиков, управления работой вакуумметра и цифрового контроля результатов измерений. Допускается использование для электропитания вакуумметров независимого источника питания, при этом считывание выходного сигнала может производиться при помощи цифрового вольтметра или аналогоцифрового преобразователя, не входящих в комплект поставки вакуумметра.

Вакуумметры имеют 20 модификаций, отличающиеся моделями датчиков и контроллеров, входящих в их состав. Вакуумметры CMR 37х, CCR 37х предназначены для эксплуатации в более узком температурном диапазоне, так как датчики этих вакуумметров термостатированы: внутри рабочей камеры поддерживается постоянная температура 45 °С. Датчики вакуумметров CMR 36х, CCR 36х не термостатированы, они изготавливаются в термокомпенсированном исполнении, что позволяет применять вакуумметры CMR 36х, CCR 36х в более широком диапазоне рабочих температур.

Общий вид датчиков приведен на рисунке 1, контроллеров - на рисунках 2 и 3.

Знак поверки наносится на корпус датчика, входящего в состав вакуумметра, если это позволяют условия эксплуатации, и (или) на свидетельство о поверке.

Датчик CCR 36x    Датчик CCR 37x

TPG 256    TPG 361    TPG 362

Рисунок 2 - Контроллеры, входящие в состав вакуумметров CMR

PR4000B

Рисунок 3 - Контроллеры, входящие в состав вакуумметров CCR

Программное обеспечение

Входящие в состав вакуумметров контроллеры имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач управления работой вакуумметров. ПО выполняет следующие функции: выбор единицы измерений давления, прием, обработка и отображение измерительной информации, формирование выходных сигналов; передача данных, включение/выключение реле блокировок для выключения прибора при превышении допустимого давления. С помощью ПО осуществляется автоматическая диагностика состояния прибора, вывод на экран контроллера сообщений об ошибках и передача данных на внешнее устройство.

Идентификационные данные встроенного ПО представлены в таблице 1.

Таблица 1

Идентификационные данные (признаки) ПО

Значение

Идентификационное наименование ПО

ПО TPG

ПО PR4000B

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже 010100

не ниже 1.01

Цифровой идентификатор ПО

-

-

Информация о версии ПО доступна через меню контроллера: при включении вакуумметра номер версии отображается на дисплее контроллера.

Влияние встроенного ПО вакуумметров учтено при нормировании метрологических характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений вакуумметров с контроллерами TPG и PR4000B - средний в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Метрологические характеристики вакуумметров приведены в таблицах 2 - 5.

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение характеристики

CMR 361, CMR 371

CMR 362, CMR 372

CMR 363, CMR 373

Диапазон показаний, Па

от 10 до 1-105

от 1 до 1 104

от 10-1 до 1103

Диапазон измерений, Па

от 1102 до 1105

от 10 до 1-104

от 1 до 1 103

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины

-    от НПИ* до 0,01 ВПИ**вкл.

-    свыше 0,01 ВПИ до ВПИ

±(30...5) ±(5 — 2)

Предельное допускаемое давление (перегрузка), кПа

300

200

200

Таблица 3

Наименование характеристики

Значение характеристики

CMR 364, CMR 374

CMR 365, CMR 375

Диапазон показаний, Па

от 10-2 до 1102

от 10-3 до 10

Диапазон измерений, Па

от 10-1 до 1102

от 10-2 до 10

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины

-    от НПИ* до 0,01 ВПИ** вкл.

-    свыше 0,01 ВПИ до ВПИ

+Т -л

Предельное допускаемое давление (перегрузка), кПа

200

130

Наименование характеристики

Значение характеристики

CCR 361, CCR 371

CCR 362, CCR 372

CCR 363, CCR 373

Диапазон показаний, Па

от 13,3 до 1,33105

от 1,33 до 1,33104

от 1,33 • 10-1 до 1,33103

Диапазон измерений, Па

от 1,33 • 10^ до 1,33105

от 13,3 до 1,33104

от 1,33-до 1,33103

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины

-    от НПИ1 до 0,01 ВПИ2 вкл.

-    свыше 0,01 ВПИ до ВПИ

±(30...5) ±(5 — 2)

Предельное допускаемое давление (перегрузка), кПа

300

200

200

Таблица 5

Наименование характеристики

Значение характеристики

CCR 364, CCR 374

CCR 365, CCR 375

Диапазон показаний, Па

от 1,33 10-2 до 1,33 102

от 1,33-10"J до 13,3

Диапазон измерений, Па

от 1,3310-1 до 1,33102

от 1,33 10-2 до 13,3

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины

-    от НПИ* до 0,01 ВПИ** вкл.

-    свыше 0,01 ВПИ до ВПИ

+Т -л

Предельное допускаемое давление (перегрузка), кПа

200

130

Масса, кг, не более

-    датчик

•    CMR 36х, CCR 36х

0,37

0,90

2,10

1,10

1,10

2,40

ISO-KF DN16; CF-R DN 16 трубка гладкая 1/2"; 8 VCR

15000

5

•    CMR 37х, CCR 37х

-    контроллер

•    TPG 256

•    TPG 361

•    TPG 362

•    PR4000B

Присоединительные фланцы

Средняя наработка до метрологического отказа, ч Средний срок службы, лет Условия эксплуатации:

•    диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С

вакуумметров CMR 36х, CCR 36х вакуумметров CMR 37х, CCR 37х

от 5 до 50 от 10 до 40

80 50 2000 от 75 до 106,7

•    относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более

при температуре до 31 °С при температуре свыше 31 °С

•    высота над уровнем моря, м, не более

•    атмосферное давление, кПа

Знак утверждения типа

наносится фотохимическим или другим способом на корпус датчика вакуумметра и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации вакуумметра.

Комплектность

Датчик    - 1 шт.

Контроллер    - 1 шт.

Кабель соединительный    - 1 шт.

Руководство по эксплуатации вакуумметра    - 1 экз.

Руководство по эксплуатации контроллера    - 1 экз.

Поверка

осуществляется по документам МИ 140-89 «Рекомендация ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки» (для диапазонов измерений до 103 Па) и МИ 1997-89 «Рекомендация ГСИ. Преобразователи давления измерительные. Методика поверки» (для диапазонов измерений свыше 103 Па).

Основные средства поверки:

-    Государственный рабочий эталон 1-го разряда единицы абсолютного давления в диапазоне 5...1300 гПа (3.1.ZZB.0084.2015), пределы допускаемой абсолютной погрешности ±10 Па;

-    установка эталонная вакуумметрическая редукционная ВОУ-1, диапазон измерений

7 3

10 - 10 Па, относительная погрешность ±(7.. .3) %.

Сведения о методах измерений

приведены в документе «Вакуумметры мембранно-емкостные CMR и CCR. Руководство по эксплуатации».

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к вакуумметрам мембранно-емкостным CMR и CCR

1    ГОСТ 27758-88 «Вакуумметры. Общие технические требования»

2    ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная

8 3

поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10 -1-10 Па».

3    ГОСТ Р 8.840-2013 «ГСИ. Государственная поверочная схема для СИ абсолютного давления в диапазоне 1-10-1-1-106 Па».

4    Техническая документация компании Pfeiffer Vacuum GmbH, Германия.

Развернуть полное описание