Назначение
Вакуумметры ионизационные IONIVAC (далее - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления (вакуума) негорючих газов.
Описание
Принцип действия вакуумметров основан на зависимости теплопроводности разряженного газа (датчик Пирани) и тока положительных ионов, образованных в результате ионизации молекул разреженного газа (датчик Байард-Альперт), от измеряемого давления.
Конструктивно вакуумметры состоят из измерительного преобразователя и встроенного или внешнего измерительного электронного блока. Измерительный преобразователь выполняет функцию преобразования абсолютного давления в унифицированный аналоговый сигнал. В измерительный преобразователь встроен датчик Байард-Альперт (измерение абсолютного давления в диапазоне от 1 -10-6 до 2 Па) и датчик Пирани (измерение абсолютного давления в диапазоне от 5,5-10-1 до 1105 Па). Вакуумметры также оснащены настраиваемым реле для автоматического переключения между встроенными датчиками. При измерении абсолютного давления в диапазоне от 5,5-10-1 до 2 Па учитывается информация от обоих встроенных датчиков. Измерительный электронный блок выполняет функции управления вакуумметром и преобразования унифицированного аналогового сигнала в цифровой с последующим отображением значения измеряемого абсолютного давления на дисплее. В качестве внешнего измерительного электронного блока могут быть использованы контроллеры Display One/Two/Three и Graphix One/Two/Three (далее - контроллеры) компании «Leybold GmbH».
Вакуумметры имеют шесть основных модификаций ITR 90, ITR 90 P, ITR 200 S, ITR 200 SL, ITR 200 SP, ITR 200 SD и два типа фланца вакуумного соединения DN 25 ISO - KF, DN 40 CF - R. В зависимости от присоединительного фланца вакуумметра отличается диапазон измерений абсолютного давления. Вакуумметр ITR 90 - стандартная модификация вакуумметра без уставки, ITR 90 P имеет интерфейс Profibus и две уставки, ITR 200 S имеет одну уставку, ITR 200 SL имеет удлиненный присоединительный фланец и одну уставку, ITR 200 SP имеет интерфейс Profibus и две уставки, ITR 200 SD имеет интерфейс DeviceNet и две уставки. Модификации вакуумметров могут изготавливаться, как со встроенным, так и с внешним измерительным электронным блоком.
Пломбировка вакуумметров не предусмотрена.
Заводской номер наносится в формате цифровой печати на корпус вакуумметров методом наклейки.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке (в случае его оформления).
Общий вид вакуумметров представлен на рисунке 1. Место нанесения заводского номера и кода заказа представлено на рисунке 2.
Программное обеспечение
Метрологически значимая часть ПО вакуумметров представляет собой специализированное ПО установленное в измерительном электронном блоке и выполняющее функции приема, обработки и отображения измерительной информации.
Во встроенном измерительном электронном блоке используется ПО разработанное изготовителем для выполнения его функций. Конструкция вакуумметров со встроенным измерительным электронным блоком исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию.
В контроллерах Display и Graphix используется специальное встроенное программное обеспечение. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО контроллеров указаны в таблице 1.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | GRAPHIX controller |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 1.10.00 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| ITR ITR ITR ITR ITR 90 90 P 200 S 200 SP 200 SD | ITR 200 SL |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па (мбар): с фланцем DN 25 ISO - KF(1) с фланцем DN 40 CF-R(1) | от 1 • 10"5 до 1 • 105 (от 1Т0"7 до 1 • 103) | - |
| от 1Т0"6 до 1 • 105 (от 1Т0"8 до 1 • 103) |
| Диапазон показаний абсолютного давления, Па (мбар) | от 1 • 10"8 до 1 105 (от 5 10-10 до 1 • 103) |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений давления, %: в поддиапазоне измерений от 1 • 10-6 до 1 10'5 включ. в поддиапазоне измерений св. 1 • 10-5 до 1 Па включ. в поддиапазоне измерений св. 1 до 1105 Па | ±20 ±15 ±25 |
| (1) Диапазон измерений в зависимости от типа фланца (коды заказа вакуумметра в зависимости от типа вакуумного соединения приведены в таблице 3). |
| | Значение |
| Наименование характеристики | ITR 90 | ITR 90 P | ITR 200 S | ITR 200 SP | ITR 200 SD | ITR 200 SL |
| Код заказа: | 120 90 120 91 | | 230 250 230 251 | | | |
| с фланцем DN 25 ISO - KF | 230 030 | 230 252 | 230 253 | - |
| с фланцем DN 40 CF-R | 120 92 120 94 | 230 031 | 230 254 230 255 | 230 256 | 230 257 | 230 258 |
| Цифровой интерфейс | - | Profibus | - | Profibus | DeviceNet | - |
| Выходной аналоговый сигнал, В | от 0 до 10 |
| Напряжение питания постоянного тока, В | 24 ± 4 |
| Потребляемая мощность, В А, не более | 20 |
| Г абаритные размеры (длинахширинахвысота), мм, не более | 67х58х159 |
| Масса, кг, не более | 0,75 |
| Условия эксплуатации: | | | | | | |
| - температура окружающей среды, °С | | | от +10 до +30 | | |
| - относительная влажность воздуха (при температуре плюс 25 °С), %, | | | от 30 до 85 | | |
| - атмосферное давление, кПа | | | от 96 до 104,7 | | |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Средняя наработка до отказа, ч, не менее | 15000 |
Знак утверждения типа наносится
на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность вакуумметров
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Вакуумметр | в соответствии с заказом | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | в соответствии с заказом | 1 экз. |
| Пылезащитный колпачок | - | 1 шт. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе 4 руководства по эксплуатации «Вакуумметры ионизационные IONIVAC мод. ITR 90, ITR 90 P. Руководство по эксплуатации», в разделе 4 руководства по эксплуатации «Вакуумметры ионизационные IONIVAC мод. ITR 200 S, ITR 200 SL, ITR 200 SP, ITR 200 SD. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне от 1 • 10"8до 1103 Па;
Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 110-1 - 1-107 Па, утвержденная приказом Росстандарта от 6 декабря 2019 г. № 2900; Стандарт предприятия. Вакуумметры ионизационные IONIVAC.
88345-23: Методика поверкиСкачать49.6 Кб