Назначение
Вакуумметры ионизационные IONIVAC (далее по тексту - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления (вакуума) негорючих газов.
Описание
Принцип действия вакуумметров основан на зависимости теплопроводности разряженного газа от давления (датчик Пирани) и на зависимости тока положительных ионов, образованных в результате ионизации молекул разреженного газа, от измеряемого давления (датчик Байард-Альперт).
Вакуумметры состоят из измерительного преобразователя, преобразовывающего измеряемое давление в аналоговый сигнал, и измерительного электронного блока. Измерительный электронный блок может быть встроенным или внешним. Измерительный электронный блок осуществляет управление вакуумметром и преобразование унифицированного аналогового сигнала в цифровой с последующим отображением измеряемого давления на дисплее. Для вакуумметров в качестве внешнего измерительного электронного блока могут быть использованы контроллеры Display (моделей One, Two, Three) и Graphix (моделей One, Two, Three) фирмы «Leybold GmbH». Вакуумметры так же оснащены настраиваемым реле для автоматического переключения между датчиками. Измерительный преобразователь оснащён датчиком Пирани и датчиком Байард-Альперт для измерения абсолютного давления в широком диапазоне. Измерительный
преобразователь использует датчик Пирани для измерения давления в диапазоне от 5,5-10"
8 2
до 1000 мбар, а датчик Байард-Альперт в диапазоне от 1-10 до 2,0-10' мбар. В диапазоне
3 2
от 5,5-10" до 2,0-10" мбар учитываются показания обоих датчиков.
Вакуумметры ионизационные IONIVAC имеют шесть основных модификации: ITR 90, ITR 90 P, ITR 200 S, ITR 200 SL, ITR 200 SP, ITR 200 SD. Вакуумметр ITR 90 - стандартная версия вакуумметра без точек уставки, ITR 90 P имеет интерфейс Profibus и две точки уставки. ITR 200 S имеет одну точку уставки, ITR 200 SL имеет удлиненный присоединительный фланец и одну точку уставки, ITR 200 SP имеет интерфейс Profibus и две точки уставки, ITR 200 SD имеет интерфейс DeviceNet и две точки уставки. Вакуумметры модификации ITR 90 (S) и ITR 200 (S/SP/SD) имеют идентичный размер корпуса, а ITR 200 SL оснащается удлиненной соединительной трубкой. Модификации вакуумметров могут изготавливаться как со встроенным, так и с внешним измерительным электронным блоком.
Результаты измерений вакуумметров могут быть зафиксированы с помощью цифрового вольтметра. Для снятия показаний аналогового сигнала и подключения к вспомогательной аппаратуре вакуумметры оснащаются интерфейсом RS485 или RS232.
Общий вид вакуумметров, с указанием мест нанесения знака поверки и пломбировки представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид вакуумметров
Программное обеспечение
Метрологически значимая часть программного обеспечения (ПО) вакуумметров представляет собой специализированное ПО установленное в измерительном электронном блоке и выполняющее функции приема, обработки и отображения измерительной информации.
Во встроенном измерительном электронном блоке используется ПО разработанное изготовителем для выполнения его функций. Конструкция вакуумметров со встроенным измерительным электронным блоком исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию.
В контроллерах Display и Graphix используется специальное встроенное программное обеспечение. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО контроллеров указаны в таблице 1.
Влияние встроенного ПО вакуумметров учтено при нормировании метрологических характеристик.
Уровень защиты ПО «Высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные (признаки) ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | GRAPHIX controller |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 1.10.00 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | 0x39 (“9” в ASCII) |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО | СRC |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон показаний абсолютного давления, мбар | от 5-10-10 до 1000 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, мбар | от 110-8 до 1000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, %: 8 2 - в диапазоне от 1-10 до 1-10 мбар включ. - в диапазоне св. 1-10 до 1000 мбар | ±15 ±25 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Выходной аналоговый сигнал, В | от 0 до 10 |
| Напряжение питания постоянного тока, В | от 20 до 28 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 20 |
| Тип фланца вакуумного присоединения | DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R |
| Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более | 67x58x159 |
| Масса, кг, не более | 0,75 |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха при температуре +25 °С, % - атмосферное давление, кПа (мм рт. ст.) | от +10 до +40 от 30 до 85 от 96 до 104,7 (от 720 до 780) |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Кол-во, шт. |
| Вакуумметр одной из модификаций ITR 90, ITR 90 P, ITR 200 S, ITR 200 SL, ITR 200 SP, ITR 200 SD (по заказу) | 1 |
| Комплект эксплуатационной документации | 1 |
| Пылезащитный колпачок | 1 |
Поверка
осуществляется по документу МИ 140-89 «Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки».
Основные средства поверки:
Рабочие эталоны 1-го разряда по ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления
8 3
в диапазоне от Г10" до 110 Па.
Рабочие эталоны 3-го разряда по ГОСТ Р 8.840-2013 Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 - 1 • 106 Па.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус вакуумметра и (или) в свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная
8 3
поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне от 110 до 110 Па ГОСТ Р 8.840-2013 Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 - 1 • 106 Па
Техническая документация фирмы «Leybold GmbH», Германия
67723-17: Описание типа СИСкачать92.9 Кб