Назначение
Вакуумметр мембранно-емкостной Baratron 627F (далее-вакуумметр) предназначен для измерений абсолютного давления газов.
Описание
К данному типу средств измерений относится вакуумметр мембранно-емкостной Baratron 627F зав. № 01 в составе с датчиками Baratron 627F01TDC1B сер. № 111179788, Baratron 627F11TDC1B сер.№ 111227523, Baratron 627F13TDC1B сер. № 110898180 и контроллером MKS 946 сер. № 023087177.
Конструктивно вакуумметр состоит из датчиков Baratron 627F01TDC1B, Baratron 627F11TDC1B, Baratron 627F13TDC1B и контроллера MKS 946 , предназначенного для преобразования аналогового выходного сигнала датчиков в измеренное значение абсолютного давления.
Принцип действия вакуумметра основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией чувствительного элемента - тонкой радиально напряженной мембраны.
На корпусе датчика размещена впускная рубка давления, подсоединенная к измерительной камере в корпусе преобразователя. Одна из стенок измерительной камеры представляет собой эластичную металлическую мембрану. Передняя сторона мембраны подвергается воздействию газа, давление которого необходимо измерить. Задняя сторона мембраны обращена к жестко установленному керамическому диску, содержащему два электрода. Задняя сторона мембраны изгибается при изменении абсолютного давления. Изгиб мембраны приводит к нарушению баланса емкости электродов. Дисбаланс емкости электродов преобразуется в напряжение постоянного тока, формируемое в аналоговый выходной сигнал датчика. Результат измерений абсолютного давления в единице величины давления отображается на дисплее контроллера MKS 946.
Пломбировка корпуса вакуумметра не предусмотрена.
Заводской номер вакуумметра наносится в формате цифровой печати в паспорте вакуумметра. Серийный номер датчиков наносится на корпус датчиков методом наклейки в формате цифрового обозначения. Серийный номер контроллера наносится на корпус контроллера методом наклейки в формате цифрового обозначения.
Нанесение знака поверки на корпус вакуумметра не предусмотрено.
Общий вид датчиков Baratron 627F01TDC1B, Baratron 627F11TDC1B, Baratron 627F13TDC1B, представлен на рисунке 1. Общий вид контроллера MKS 946 представлен на рисунке 2. Место нанесения серийного номера на датчик представлено на рисунке 3. Место нанесения серийного номера на контроллер представлено на рисунке 4.
Рисунок 1 - Общий вид датчиков Baratron 627F01TDC1B, Baratron 627F11TDC1B, Baratron 627F13TDC1B
Рисунок 2 - Общий вид контроллера MKS 946
Рисунок 3 - Место нанесения серийного номера на датчик
Место нанесения серийного номера
KlllllllllllllllllllllllllllllllllllWIIIII
Место нанесения серийного номера
946-EU-CMCMNA-NA
|П11Ш111111111ЯИ111Й___—-------
023087177 * ' Dale Code APR21
Рисунок 4 - Место нанесения серийного номера на контроллер
Программное обеспечение
Вакуумметр имеет встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач управления работой вакуумметра. ПО выполняет следующие функции:
- выбор единицы измерений давления;
- прием, обработка и отображение измерительной информации;
- передача данных;
- включение/выключение реле блокировок при превышении установленного значения давления.
Идентификационные данные ПО представлены в Таблице 1.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений «низкий» в соответствии с Рекомендацией Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) ПО | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | CM | Main |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 2.12 | 2.02 |
| Цифровой идентификатор ПО | - | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| 627F01TDC1B, сер. № 111179788 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па1) | от 1 до 133,32 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % в поддиапазоне от 1 до 30 Па включ. в поддиапазоне св.30 до 133,32 Па | ± 10 ± 3 |
| 1) Допускается выбор других единиц измерений давления, с учетом соотношения 1 Торр = 133,322 Па в соответствии с ГОСТ 8.417-2002 |
Таблица 3 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| 627F11TDC1B, сер.№ 111227523 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па1) | от 10 до 1,33-103 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % в поддиапазоне от 10 до 30 Па включ. в поддиапазоне св. 30 до 1,33-103 Па | ± 10 ± 3 |
| 1) Допускается выбор других единиц измерений давления, с учетом соотношения 1 Торр = 133,322 Па в соответствии с ГОСТ 8.417-2002 |
Таблица 4 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| 627F13TDC1B, сер. № 110898180 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па1) | от 1403 до 1,33405 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % в поддиапазоне от 1 • 103 до 3 • 103 Па включ. в поддиапазоне св. 3403 до 1,33 • 105 Па | ± 5 ± 0,5 |
1) Допускается выбор других единиц измерений давления, с учетом соотношения 1 Торр = 133,322 Па в соответствии с ГОСТ 8.417-2002
Таблица 5 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц | от 100 до 240 от 50 до 60 |
| Габаритные размеры, мм, не более: - датчика (высота х диаметр) - контроллера (высота х ширина х глубина) | 140х82 90x245x315 |
| Масса, кг, не более: - датчика - контроллера | 0,7 3,6 |
| Присоединительный фланец | NW16-KF |
| Температура термостабилизации датчика, °С | 45 |
| Срок службы, лет | 10 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, %, не более - атмосферное давление, кПа | от +15 до +35 80 от 84 до 106,7 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист паспорта вакуумметра.
Комплектность
Таблица 6 - Комплектность средства измерений_________________________
| Наименование | Обозначение | Кол-во |
| Вакуумметр мембранно-емкостной Baratron 627F в составе: | - | 1 шт. |
| - датчик Baratron 627F01TDC1B | - | 1 шт. |
| - датчик Baratron 627F11TDC1B | - | 1 шт. |
| - датчик Baratron 627F13TDC1B | - | 1 шт. |
| - контроллер MKS 946 | - | 1 шт |
| Руководство по эксплуатации на датчики | - | 1 экз. |
| Руководство по эксплуатации на контроллер | - | 1 экз. |
| Паспорт | - | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в главе 4 «Эксплуатация» документа «Baratron 627F. Датчик абсолютного давления. Руководство по эксплуатации»
Нормативные документы
Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10’1 - 1-107 Па, утвержденная приказом Росстандарта от 6 декабря 2019 г. № 2900.
