Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 2
Найдено поверителей 1

Назначение

Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ (далее по тексту - установка) предназначена для измерения потока газа в вакууме, а также для поверки (калибровки) мер потока (гелиевых течей).

Описание

Установка представляет собой вакуумную систему с измерительным и сравнительным объемом, к которым присоединены два эталонных вакуумметра, масс-спектрометрический компаратор, эталонные меры потока газа в вакууме, являющиеся основными метрологическими узлами установки и обеспечивающие диапазон ее измерений.

Установка реализует два принципа измерений. Принцип накопления, основанный на измерении эталонными вакуумметрами изменений абсолютного давления во времени в измерительном объеме установки. Принцип компарирования, основанный на сравнении при помощи масс-спектрометрического компаратора измеряемого потока газа (гелия) от поверяемой (калибруемой) течи с известным потоком газа (гелия) от эталонной меры потока газа в вакууме.

Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. Управление установкой осуществляется с помощью органов управления, расположенных на панели ее корпуса.

Пломбировка корпуса установки не предусмотрена.

Программное обеспечение

отсутствует.

Технические характеристики

Таблица 1 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диапазон измерений потока газа в вакууме, Па м /с

от 110-11 до 110-5

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины

-    в диапазоне от 1-10" до 1-10" Па м/с включ.

9 5 3

-    в диапазоне свыше 1-10 до 1-10 Па м /с

±(15-5109Qu3m)* ±(10-5 105Qu3m)*

3

* где Qusm - значение измеренного потока, Па м /с

Таблица 2 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение характеристики

Параметры электрического питания:

- напряжение переменного тока, В

220±22

- частота переменного тока, Гц

50±1

Потребляемая мощность, кВ-А, не более

2,5

Г абаритные размеры, мм, не более

- длина

800

- ширина

1400

- высота

1400

Масса, кг, не более

300

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

от +15 до +25

- относительная влажность, %

от 40 до 80

- атмосферное давление, кПа

от 84 до 106,7

Средняя наработка на отказ, ч

10000

Средний срок службы, лет

10

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации, фотохимическим или иным методом на корпус установки.

Комплектность

Таблица 3 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Кол-во

Установка вакуумная потокометрическая эталонная

УВПЭ

1 шт.

Компрессор

-

1 шт.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Комплект запасных частей и принадлежностей

-

1 компл.

Методика поверки

МП 231-0045-2017

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 231-0045-2017 «Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 28.03.2017 г.

Основные средства поверки:

Г осударственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10-12 - 1 Па-м3/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне от 10-12 до 10-9 Пам3/с не более

9    3

(0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10 до 1 Па м /с не более 0,015.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования

ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности Техническая документация изготовителя

Развернуть полное описание