Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 3
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 1

Назначение

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту -установка) предназначена для воспроизведения и точных измерений абсолютного давления негорючих и неагрессивных газов с целью поверки и калибровки средств измерений низких абсолютных давлений и вакуума.

Описание

Установка представляет собой вакуумную откачную систему с измерительной камерой, на которой установлены два эталонных вакуумметра - ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДТО-3.

Принцип действия установки основан на непосредственном измерении эталонными вакуумметрами, входящими в состав установки, абсолютного давления, создаваемого форвакуумным и турбомолекулярным насосами в измерительной камере. Регулирование давления в камере установки осуществляется при помощи вакуумных клапанов и натекателя.

Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. На передней панели корпуса расположены органы управления установкой и лицевые панели электронного блока вакуумметра ВДТО-3 и контроллера TIC, который предназначен для управления турбомолекулярным насосом и отображения значений давления, измеряемого вакуумметром AIGX. К измерительной камере, кроме эталонных вакуумметров, подключен вакуумметр сопротивления APG, предназначенный для индикации давления в форвакуумной линии турбомолекулярного насоса, и вакуумметр тепловой CVM211 для контроля давления в измерительной камере установки. При поверке (калибровке) на установке рабочих средств измерений низких абсолютных давлений (вакуумметров) их измерительные преобразователи подключают к соответствующим клапанам измерительной камеры установки. Поверка (калибровка) вакуумметров осуществляется непосредственным сличением их показаний с

5    2

показаниями эталонных вакуумметров установки: в диапазоне от 1-10 до 1-10 Па с

2    5

вакуумметром AIGX, в диапазоне свыше 1-10 до 1,06 -10 Па с вакуумметром ВДТО-3. Пломбировка корпуса установки не предусмотрена.

Общий вид установки приведен на рисунке 1.

f f

Рисунок 1 - Общий вид установки вакуумметрической эталонной 2-го разряда УВЭ-3

На рисунке 2 изображена шильда маркировки установки.

Программное обеспечение

отсутствует.

Технические характеристики

Таблица 1 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений давления, Па

от 1-10-5 до 1,06- 105 Па

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, %

5 2

в диапазоне от 1-10 до 1- 10 Па включ.

2 3

в диапазоне свыше 1-10 до 6,65- 10 Па включ.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений, Па

3 5

в диапазоне свыше 6,65-10 до 1,06 -10 Па

±15

±10

±665

Остаточное давление, Па, не более

1-10-6

Наименование характеристики

Значение

Параметры электрического питания:

- напряжение переменного тока, В

220±22

- частота переменного тока, Гц

50±1

Потребляемая мощность, кВ-А, не более

2,5

Габаритные размеры, мм, не более

- длина

1300

- ширина

780

- высота

1400

Масса, кг, не более

200

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

от +15 до +30

- относительная влажность, %, не более

80

- атмосферное давление, кПа

от 84 до 106,7

Средняя наработка на отказ, ч

10000

Средний срок службы, лет

10

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации, фотохимическим или иным методом на корпус установки.

Комплектность

Таблица 3 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Кол-во

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда

УВЭ-3

1 шт.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Комплект запасных частей и принадлежностей

-

1 компл.

Методика поверки

МП 231-0078-2020

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 231-0078-2020 «ГСИ. Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 29 апреля 2020 г.

Основные средства поверки:

Вакуумметр ионизационный AIGX-S, диапазон измерений абсолютного давления в диапазоне от 6,6-10" до 6,6 Па, допускаемая относительная погрешность ±15 % (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 44388-10).

Рабочий эталон 1 разряда единицы абсолютного давления по ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств

8 3

измерений абсолютного давления в диапазоне 1 10 -1 10 Па», в диапазоне измерений абсолютного давления от 1,040-7 до 1,0^ 103 Па, пределы допускаемой относительной погрешности ±(7^3) % (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZB.0050.2015).

Рабочий эталон 1 разряда единицы абсолютного давления по Государственной

1    7

поверочной схеме для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 110 -110», утвержденной Приказом Росстандарта № 2900 от 06.12.2019 г., диапазон абсолютного давления от 5 до 1300 гПа, пределы допускаемой абсолютной погрешности 10 Па (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZB.0084.2015).

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке и (или) корпус.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная

8 3

поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 10 -1 10 Па

Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 110-1 - 1107, утвержденная Приказом Росстандарта № 2900 от 06.12.2019 г. Техническая документация изготовителя

Развернуть полное описание