Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3

Назначение

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту установка) предназначена для воспроизведения и точных измерений абсолютного давления негорючих газов.

Описание

Установка представляет собой вакуумную откачную систему с измерительной камерой, на которой установлены два эталонных вакуумметра - ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДТО-3.

Принцип действия установки основан на непосредственном измерении эталонными вакуумметрами, входящими в состав установки, абсолютного давления, создаваемого форвакуумным и турбомолекулярным насосами в измерительной камере. Регулирование давления в камере установки осуществляется при помощи вакуумных клапанов и натекателя.

Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. На передней панели корпуса расположены органы управления установкой и лицевые панели электронного блока вакуумметра ВДТО-3 и контроллера TIC, который предназначен для управления турбомолекулярным насосом и отображения значений давления, измеряемого вакуумметром AIGX. К измерительной камере кроме эталонных вакуумметров подключен вакуумметр сопротивления APG, предназначенный для индикации давления в форвакуумной линии турбомолекулярного насоса, и вакуумметр тепловой CVM211 для контроля давления в измерительной камере установки. При поверке (калибровке) на установке рабочих средств измерений низких абсолютных давлений (вакуумметров) их измерительные преобразователи подключают к соответствующим клапанам измерительной камеры установки. Поверка (калибровка) вакуумметров осуществляется непосредственным сличением их показаний с показаниями эталонных вакуумметров установки: в диапазоне от 1-10 до 1-10 Па с вакуумметром AIGX, в диапазоне свыше 1-10 до 1-10 Па с вакуумметром ВДТО-3.

Технические характеристики

Диапазон измерений давления, Па    от 1-10 до 1-10

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, %

в диапазоне от 1-10 до 1-10 Па включ.    ±15

в диапазоне свыше 1-10 до 1-10 Па    ±10

Остаточное давление, Па, не более    1 -10-6

Электропитание установки:

•    напряжение, В    220±22

•    частота, Гц    50±1

Потребляемая мощность, кВ-А, не более    2,5

Габаритные размеры, мм, не более:

•    длина    1300

•    ширина    780

•    высота    1400

Масса, кг, не более    200

Средняя наработка до метрологического отказа, ч    10000

Средний срок службы, лет    10

Условия эксплуатации:

-    температура окружающего воздуха, °С    20±5

-    относительная влажность окружающего воздуха, %    60±15

-    атмосферное давление, кПа    от 84 до 106,7

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации, фотохимическим или иным методом на корпус установки.

Комплектность

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 - 1 шт.

Комплект запасных частей и принадлежностей - 1 шт.

Руководство по эксплуатации - 1 экз.

Методика поверки МП 231-0033-2016 «Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Методика поверки» - 1 экз.

Поверка

осуществляется по методике поверки МП 231-0033-2016 «Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Методика поверки», утвержденной ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 14.03.2016 г.

Основные средства поверки:

Государственный первичный специальный эталон единицы давления для области абсолютных давлений в диапазоне от 110 до 110 Па (ГЭТ 49-80), СКО не более 0,3 10 , НСП не более 0,3 • 10-2 (согласно государственной поверочной схеме ГОСТ 8.107-81).

Государственный рабочий эталон 1 разряда единицы абсолютного давления в диапазоне от 1,0-10" до 1,0-10 Па, пределы допускаемой относительной погрешности от ±3 до ±7 %.

Государственный рабочий эталон 2 разряда единицы абсолютного давления в диапазоне от 6,6-10" до 6,6 Па, допускаемая относительная погрешность ±15 %.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

Сведения о методе измерений приведены в документе «Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

ГОСТ 8.107-81 Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10 -1-10 Па Техническая документация изготовителя.