Назначение
Установка вакуумметрическая 1-го разряда PVS6E (далее по тексту - установка) предназначена для точных измерений и воспроизведения единицы абсолютного давления в диапазоне от 10'3 до 103 Па.
Установка применяется в качестве эталонного (образцового) средства измерений 1-го разряда при поверке, калибровке и градуировке средств измерений низких абсолютных давлений в ОАО «Корпорация ВСМПО-АВИСМА», Верхняя Салда, Свердловская обл.
Описание
Установка представляет собой вакуумную откачную систему с измерительной камерой и датчиками давления мембранно-емкостными Баратрон 690.
Принцип действия установки основан на непосредственном измерении давления датчиками давления мембранно-емкостными Баратрон 690 в камере установки, создаваемого насосом двухступенчатым диафрагменным и насосом турбомолекулярным. Регулирование давления в камере осуществляется при помощи клапанов и натекателя.
Все составные части установки размещены в общем корпусе. Управление работой установки осуществляется с помощью органов управления, расположенных на передней панели ее корпуса. На лицевой панели установки расположено устройство отображения данных, предназначенное для индикации измеренных значений давления и контроля параметров настройки установки.
Технические характеристики
Диапазон измерений, Па
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, %
Предельное остаточное давление, Па, не более
10'3 ...103
±(3...2)
10'5
Электропитание установки:
• напряжение, В
• частота, Гц
220±11
50±1
Потребляемая мощность, В-А, не более
3000
Габаритные размеры, мм, не более:
• высота
• длина
• ширина
Масса, кг, не более
Средний срок службы, лет
Условия эксплуатации:
• температура окружающего воздуха, °C от 15 до 40
• относительная влажность воздуха, % от 30 до 80
• атмосферное давление, кПа от 84 до 106,7
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и методом наклейки или иным методом на корпус установки. Форма и размеры знака определяются в соответствии с ПР 50.2.009-94.
Комплектность
Установка состоит из следующих составных частей и контрольно-измерительных приборов:
• датчики давления мембранно-емкостные Баратрон 690 -Зшт.;
• штуцеры под соединительные для подключения поверяемых вакуумметров - 3 шт.;
• вакуумметр ионизационный с холодным катодом HPS IMAG
в комплекте с контроллером 943 - 1 шт.;
. насос двухступенчатый диафрагменный - 1 шт.;
• насос турбомолекулярный - 1 шт.;
• контролер турбомолекулярного насоса -1шт.;
• преобразователь сигнала 670 - 1 шт.;
• трехканальный мультиплексор 274 - 1 шт.;
• бесперебойный источник питания (UPS) - 1 шт.;
• компьютер Laptop - 1 шт.;
• устройство отображения данных 146 - 1 шт.;
• руководство по эксплуатации - 1 шт.;
• методика поверки МП 231-0007-2008 -1 шт.
Поверка
Установка подлежит поверке в соответствии с методикой поверки, изложенной в МП 231-0007-2008 «Установка вакуумметрическая 1-го разряда PVS6E, заводской номер 01. Методика поверки», утвержденной ГЦИ СИ «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 03.06.2008 г.
В перечень основных средств измерений, применяемых при поверке, входит ГЭТ 49-80 с диапазоном измерений абсолютных давлений от 10'3 до 103 Па, СКО не более 0,3 10'2, ПСП не более 0,3-10’2.
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
1 ГОСТ 8.107-81 «Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-1О'8-11О3 Па».
2 Техническая документация на установку вакуумметрическую 1-го разряда PVS6E, заводской номер 01, изготовленную компанией «MKS Instruments», Германия.
Заключение
Тип установки вакуумметрической 1-го разряда PVS6E, заводской номер 01 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, а также метрологически обеспечен при ввозе и в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
