Назначение
Установка Proforma 300iG (далее по тексту - установка) предназначена для измерений толщины пластин из кремния, арсенида галлия, фосфида индия, германия, а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления.
Описание
Принцип работы установки основан на принципе действия емкостных датчиков. Конструктивно установка представляет собой корпус, в котором установлены 2 емкостных датчика, расположенных друг напротив друг друга.
В измеритель загружается пластина, происходит измерение расстояния от верхнего датчика до лицевой стороны пластины и расстояния от нижнего датчика до обратной стороны пластины. Толщина вычисляется как разница суммы измеренных расстояний из известной дистанции между парами датчиков.
Общий вид установки представлен на рисунке 1.
Пломбирование не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Установка данного типа имеет зав. № 310008BB17.
■ОЕ
Ж
Программное обеспечение
Установка имеет встроенное программное обеспечение (ПО), которое записано в энергонезависимую память установки при выпуске из производства и не может быть изменено в процессе эксплуатации. Идентификация ПО не предусмотрена.
Конструкция средства измерений (СИ) исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию.
Уровень защиты программного обеспечения «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 1 - Основные метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений толщины, мкм | от 150 до 1500 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, мкм | ±(0,5+0,005 L), где L, мкм |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон показаний прогиба и коробления пластины, мкм | от 0 до 200 |
| Диаметр контролируемой пластины, мм | от 50 до 200 |
| Параметры электрического питания: - напряжение, В | от 100 до 240 |
| - частота, Гц | 50 |
| Габаритные размеры установки, мм, не более: - длина | 490 |
| - ширина | 330 |
| - высота | 280 |
| Масса установки, кг, не более | 12,3 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С | от +15 до +25 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерения
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Установка | Proforma 300iG | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 203-30-2021 | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
раздел 3 руководства по эксплуатации
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя
84129-21: Методика поверкиСкачать2.0 Мб