Назначение
Установка MicroProf 200 TTV (далее по тексту - установка) предназначена для измерений толщины пластин из полупроводниковых материалов (кремния, арсенида галлия, фосфида индия), а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления.
Описание
Принцип действия установки основан на хроматической аберрации оптических линз. Образец освещается сфокусированным лучом белого света. Пассивная линза с большой хроматической аберрацией рассеивает луч белого свет вертикально в различные цветовые фокусные точки и, соответственно, высоты. Сфокусированный луч света отражается от поверхности измеряемого объекта и попадает в миниатюрный спектрометр через ту же линзу и стекловолоконный кабель. Длина волны отраженного луча света зависит от расстояния между датчиком и измеряемым объектом.
Установка состоит из измерительного датчика, прецизионного стола с встроенными калибровочными образцами с номинальными значениями толщины 500 и 700 мкм, гранитного демпфирующего основания и управляющего компьютера с TFT-монитором.
Общий вид установки представлен на рисунке 1.
Пломбирование не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Установка данного типа имеет зав. № MPR1465, нанесенный на наклейке, расположенной на задней части корпуса.
Рисунок 1 - Общий вид установки MicroProf 200 TTV
Программное обеспечение
Установка имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), с помощью которого осуществляется управление работой установки и сбор данных.
Идентификационные данные ПО измерителя приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Acquire |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 5.1.2.0 и выше |
При работе с установкой пользователь не имеет возможности влиять на процесс расчета и не может изменять полученные в ходе измерений данные.
Защита программного обеспечения установки соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 1 - Основные метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений толщины, мкм | от 150 до 1500 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, мкм | ±(0,5+0,005 L), где L, мкм |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон показаний прогиба и коробления | от 0 до 200 |
| пластины, мкм | |
| Диаметр контролируемой пластины, мм | от 76,2 до 200 |
| Параметры электрического питания: | |
| - напряжение, В | от 198 до 242 |
| - частота, Гц | 50 |
| Габаритные размеры, мм, не более: | |
| - длина | 1100 |
| - ширина | 820 |
| - высота | 1800 |
| Масса, кг, не более | 500 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающей среды °С | от +15 до +25 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерения
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Установка | MicroProf 200 TTV | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 203-31-2021 | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
пункт 3 руководства по эксплуатации
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя
84128-21: Методика поверкиСкачать2.5 Мб