Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 1
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 1

Назначение

Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1 (далее по тексту - установка) предназначена для автоматизированного измерения толщин полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).

Описание

Принцип действия установки основан на эллипсометрическом методе измерения тонких пленок. Установка состоит из измерительного модуля и SMIF-загрузчика для автоматического размещения измеряемых образцов пленок в измерительном модуле.

В установке реализованы методы эллипсометрического исследования тонких пленок

- спектральная эллипсометрия с вращающимся компенсатором в диапазоне длин волн от 633 до 905 нм и многоракурсная поляризационная рефлектометрия в диапазоне длин волн от 190 до 905 нм.

Общий вид установки представлен на рисунке 1.

Место пломбировки представлено на рисунке 2.

КТ-1

Рисунок 2 - Места пломбировки

Программное обеспечение

Управление процессом измерения в установке осуществляется с помощью специального программного обеспечения Rudolph Technologies: Operator. Программное обеспечение служит для настройки эллипсометра, проведения измерений, анализа и обработки полученных данных.

ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.

Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные: Таблица 1

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Rudolph Technologies: Operator

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже 7.8431 S

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

-

Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.

Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия

- изготовителя с помощью специального оборудования.

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» согласно Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений толщины, нм

от 10 до 1000

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, нм

±2

Наименование характеристики

Значение

Диапазон показаний толщины, нм

от 1,5 до 30000

Спектральный диапазон длин волн, нм

от 190 до 905

Напряжение электропитания, В

220 ± 10

Частота сети питания, Гц

50 ± 1

Мощность, В-А

4900

Габаритные размеры, мм, не более

1752x1041x1803

Масса, кг, не более

832

Условия эксплуатации:

-    диапазон рабочих температур, °С

-    относительная влажность воздуха, %, не более

-    атмосферное давление, кПа

от +15 до +25 80

от 84 до 106,7

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 4

Наименование характеристики

Обозначение

Количество

Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ -1

зав.№ 001

1 шт.

SMIF-загрузчик ARM 1150

-

1 шт.

SMIF-контейнер для пластин Asyst 9700-4950-01

-

1 шт.

Кассета для пластин FB15A100H02

-

1 шт.

Устройство открытия-закрытия SMIF-контейнеров Pod Opener

-

1 шт.

Сосуд

ГНДИ.307441.001

1 экз.

Методика поверки

МП 030.М44-20

1 экз.

Руководство по эксплуатации

000.037.МК03 РЭ

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 030.М44-20 «ГСИ. Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 04 сентября 2020 г.

Основные средства поверки:

Рабочий эталон единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий в диапазоне значений от 10 до 1000 нм (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZA.0123.2019).

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы, устанавливающие требования к установке контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоёв КТ-1

Локальная поверочная схема средств измерений толщины покрытий в диапазоне значений от 1 до 1000 нм, утвержденная ФГУП «ВНИИОФИ» 08.08.2019

Развернуть полное описание