Назначение
Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F (далее по тексту -установка) предназначена для измерения и воспроизведения параметров (сила постоянного тока, напряжение постоянного тока) на полупроводниковых пластинах.
Описание
Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F состоит из измерительной стойки и тестового блока (test head), который контактируется к зондовой станции Accretech UF2000. Измерительная стойка состоит из анализатора спектра Agilent E4411B, г.р. № 23670-08, измерителя LCR мод. E4980A, г.р. № 40676-09, цифрового мультиметра 3458A, г.р. № 25900-03, и имеет восемь контрольных блоков питания: 6 блоков со средней мощностью и 2 блока с высокой мощностью (MPSMU или HPSMU). Каждый блок является самокалибрующимся и имеет возможность программной настройки как на воспроизведение силы и напряжения постоянного тока, так и на одновременное измерение силы и напряжения постоянного тока.
Внешний вид установки, места пломбирования и нанесения знака поверки представлены на рисунке 1.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (далее - ПО) выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств установки, а также обработку и документирование измерительной информации.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Характеристики ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Agilent SPECS for Linux |
| Номер версии (идентификационный номер ПО), не ниже | 3.x |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с рекомендациями Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики установки приведены в таблицах 2-3.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение |
| Воспроизведение и измерение напряжения постоянного тока при использовании блоков MPSMU или HPSMU |
| Диапазоны измерений/воспроизведений напряжения постоянного тока, В | от -2 до +2 от -20 до +20 от -40 до +40 от -100 до +100 от -200 до +2001) |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения/воспроизведения напряжения постоянного тока, В: - для диапазона от -2 до +2 В - для диапазона от -20 до +20 В - для диапазона от -40 до +40 В - для диапазона от -100 до +100 В - для диапазона от -200 до +200 В | ±0,0005- U ±0,002 ±0,0005- U ±0,02 ±0,0005- U ±0,04 ±0,0005- U ±0,8 ±0,0005- U ±0,2 |
| Воспроизведение и измерение силы постоянного тока при использовании MPSMU, подключенного к портам SMU1 и SMU2 |
| Диапазоны измерения силы постоянного тока, мА | от -100 до +100 от -10 до +10 от -1 до +1 от -0,1 до +0,1 от -0,01 до +0,01 от -0,001 до +0,001 от -0,0001 до +0,0001 от -0,00001 до +0,00001 от -0,000001 до +0,000001 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазоны воспроизведения силы постоянного тока, мА | от -100 до +100 от -10 до +10 от -1 до +1 от -0,1 до +0,1 от -0,01 до +0,01 от -0,001 до +0,001 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока, мА: для диапазона от -100 до +100 мА для диапазона от -10 до +10 мА для диапазона от -1 до +1 мА для диапазона от -0,1 до +0,1 мА для диапазона от -0,01 до +0,01 мА для диапазона от -0,001 до +0,001 мА для диапазона от -0,0001 до +0,0001 мА для диапазона от -0,00001 до +0,00001 мА для диапазона от -0,000001 до +0,000001 мА | ±0,0017изм ±0,3 ±0,0017им ±0,03 ±0,0017изм ±0,003 ±0,0017изм ±0,0003 ±0,0017изм ±0,00003 ±0,0027изм ±0,000003 ±0,0027изм ±0,0000003 ±0,01/изм ±0,00000005 ±0,01-4™ ±0,000000005 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: для диапазона от -100 до +100 мА для диапазона от -10 до +10 мА для диапазона от -1 до +1 мА для диапазона от -0,1 до +0,1 мА для диапазона от -0,01 до +0,01 мА для диапазона от -0,001 до +0,001 мА | ±0,0015- 1воспр ±0,3 ±0,0015-1воспр ±0,03 ±0,00157воспр ±0,003 ±0,0015-1воспр ±0,0003 ±0,0015'IвосПр ±0,00003 ±0,003-1воспр ±0,000003 |
| Примечания 1) при использовании блоков HPSMU; U - измеренное/воспроизводимое значение напряжения постоянного тока; 1изм - измеренное значение силы постоянного тока; 1воспр - воспроизводимое значение силы постоянного тока. |
Таблица 3 - Технические характеристики установки
| Наименование характеристики | Значение |
| Г абаритные размеры, (длинахширинахвысота), мм, не более: - измерительная стойка | 600x905x1800 |
| - зондовая станция Accretech UF2000 | 1142x1229x933 |
| Масса, кг, не более: - измерительная стойка | 274 |
| - зондовая станция Accretech UF2000 | 800 |
| Параметры сети питания переменного тока: - напряжение переменного тока, В | от 180 до 252 |
| - частота переменного тока, Гц | от 48 до 63 |
| Сила потребляемого переменного тока, А, не более | 30 |
| Рабочие условия измерений: - температура окружающего воздуха, °С | от 15 до 30 |
| - относительная влажность воздуха без конденсации % | от 15 до 70 |
| Средняя наработка на отказ, ч | 150000 |
Знак утверждения типа
наносится на панель корпуса установки в виде наклейки и на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
Комплектность установки представлена в таблице 4.
Таблица 4
| Наименование | Количество | Примечание |
| Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F, зав. № JP53450165 | 1 шт. | - |
| Паспорт | 1 экз. | - |
| Методика поверки | 1 экз. | - |
Поверка
осуществляется по документу МП 68812-17 «Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F. Методика поверки», утвержденному ООО «ИЦРМ» 23.06.2017 г.
Таблица 5 - Основные средства поверки
| Наименование СИ | Регистрационный номер в Федеральном информационном фонде |
| Мультиметр 3458А | 25900-03 |
| Калибратор универсальный 9100 | 25985-09 |
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится в свидетельство о поверке или в паспорт.
Сведения о методах измерений
отсутствуют.
Нормативные документы, устанавливающие требования к установке контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия
ГОСТ 20398.0-83 Транзисторы полевые. Общие требования при измерении электрических параметров
68812-17: Методика поверкиСкачать4.5 Мб