Назначение
Установка измерения геометрических параметров пластин CorningTropel UltraSort 200 (далее - установка) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Описание
Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Установка представляет собой автоматизированную систему анализа плоскостности пластин, которая включает в себя передачу пластин из кассеты в кассету с возможностью конфигурировать параметры сортировки пользователем. Установка объединяет в себе интерферометр для измерения скользящего падения с роботизированной системой перемещения пластин промышленного стандарта. Установка может быть сконфигурирована для измерения пластин диаметром от 2 до 8 дюймов из различных материалов, в том числе арсенида галлия, кварцевого сапфира, германия и кремния.
В установке используется конструкция интерферометра с наклонным падением луча. В качестве источника света интерферометр использует лазерный диод. Во время бесконтактного измерения пластина находится ниже призмы интерферометра в нижней части прибора. Компьютерная система собирает данные измерения по мере того, как лазер сканируется на поверхности пластины.
Внешний вид установки приведен на рисунке 1.
Пломбирование установки измерения геометрических параметров пластин CorningTropel UltraSort 200 от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на установку не предусмотрено. Заводской номер нанесен на заднюю часть корпуса установки в виде этикетки (шильдика) и имеет буквенно-цифровое обозначение (рисунок 2).
К установкам, относящимся к данному типу средств измерений, относится установка измерения геометрических параметров пластин CorningTropel UltraSort 200 зав. № 9500294521.
Рисунок 1 - Внешний вид установки измерения геометрических параметров пластин
CorningTropel UltraSort 200
CORNING TROPEL CORPORATION
60 O’Connor Rd. Fairport, NY 14450-USA
C€
MODEL 128892-6310
SERIAL it 9500294521
DATE MANUFACTURED August 2014
| VOLTS 120/220 Sing | е Phase |
| Hz 50/60 | VA 600 |
This laser product complies with FDA Radiation Performance ^ Standards 21 CFRT Chapter I, Sub-Chapter J._
Рисунок 2 - Внешний вид этикетки (шильдика)
Программное обеспечение
Установка оснащена программным обеспечением (ПО) TMS. Програмное обеспечение позволяет вычислять отклонения формы контролируемой поверхности от эталонной плоскости.
Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО установки
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | TMS |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 4.6.53p13 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Для защиты ПО от несанкционированного доступа используют USB-ключ.
Защита программного обеспечения установки соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики установки
| Наименование | Значение |
| Диапазон диаметров измеряемых оптических поверхностей, мм | от 50 до 200 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм | 0,15 |
Таблица 3 - Технические характеристики установки
| Наименование | Значение |
| Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм | 200 |
| Параметры электропитания Напряжение переменного тока, В Частота, Г ц | от 200 до 240 от 49 до 51 |
| Масса, кг | 1750 |
| Габаритные размеры, мм - длина - ширина - высота | 1102 1422 1733 |
| Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % | От +18 до +22 От 35 до 75 |
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографс | ким способом |
Комплектность | |
| Таблица 4 - Комплектность средства измерений | |
| Наименование | Количество |
| Установка измерения геометрических параметров пластин CorningTropel UltraSort 200 | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2022 г. № 3189 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей».
88518-23: Методика поверкиСкачать2.0 Мб