Назначение
Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP (далее по тексту - установка) предназначена для бесконтактных измерений толщины любого твердого объекта, в том числе полупроводниковых пластин из различных материалов, включая кремний, арсенид галлия, фосфид индия, германий и сапфир.
Описание
Принцип действия установки основан на двойном зондировании поверхности объекта с верхней и нижней стороны с помощью бесконтактных оптических зондов. Зонды располагаются на подвижном двухкоординатном столе, позиционирование которого осуществляется с помощью встроенного оптического датчика и контролируется линейным сервомотором с контуром обратной связи от датчика. Позиционирование зондов осуществляется с помощью компьютера. Измерения проводится как с нижней, так и с верхней стороны исследуемой пластины, толщина которой вычисляется автоматически в программе «UltraMap». Принцип действия оптических зондов основан на технологии хроматического кодирования глубины вдоль оптической оси зонда, разработанной SigmaTech.
Конструктивно установка состоит из измерительного модуля с оптическим датчиком, верхнего и нижнего оптических зондов, робототехнической системы, воздуховода, переходной платформы со сменными держателями, гранитной платформы, баллона с чистым азотом, компьютера с операционной системой не ниже Windows98, соединительных кабелей.
Результаты измерения передаются на внешний компьютер. Управление установкой осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением «UltraMap», позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты.
Программное обеспечение
Управление процессом измерения осуществляется с помощью специального программного обеспечения «UltraMap». Программное обеспечение (ПО) служит для калибровки средства измерения, настройки параметров и проведения измерений, визуализации, анализа, обработки и сохранения полученных данных.
ПО на системном компьютере имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши.
ПО устанавливается в определенную директорию жесткого диска системного компьютера.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | UltraMap |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 1.12.0 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерения толщины, мкм | от 20 до 2000 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения толщины, мкм | ± 3 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диаметр измеряемых образцов, мм | 60, 76, 100 |
| Г абаритные размеры установки, мм, не более | |
| - высота | 720 |
| - ширина | 520 |
| - длина | 620 |
| Масса, кг, не более | 100 |
| Электропитание осуществляется от сети | |
| переменного тока | |
| напряжением, В | от 200 до 250 |
| частотой, Гц | 50/60 |
| Потребляемая мощность, кВт, не более | 2,2 |
| Условия эксплуатации: | |
| Температура окружающей среды, °С | От +18 до +35 |
| Относительная влажность, %, не более | 80 |
Знак утверждения типа
наносится типографским методом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Таблица 4 - Комплектность средства измерения
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Установка для измерения толщины «UltraMap S100-FP» в составе: измерительный модуль с оптическим сенсором, верхний и нижний зонды, робототехническая система, гранитная и переходная платформа, воздуховод, комплект соединительных кабелей | - | 1 шт. |
| Баллон с чистым азотом | - | 1 шт. |
| Компьютер | - | 1 шт. |
| CD-диск с программным обеспечением | - | 1 шт. |
| Методика поверки | МП 045. М44-17 | 1 экз. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 045. М44-17 «ГСИ. Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «26» июня 2017 г. Основные средства поверки:
Меры длины концевые плоскопараллельные 3 разряда по ГОСТ Р 8.763-2011 (рег.№ 62321-15)
Основные метрологические характеристики:
Номинальные значения длины мер от 0,5 до 100 мм Допускаемые отклонения длины от номинального значения ±0,20 мкм Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на поверхность корпуса установки (место нанесения указано на рисунке 2).
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «MicrsoSense LLC-SigmaTech Division», США;
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
70239-18: Методика поверки МП 045.М44-17Скачать2.8 Мб