Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 3
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 1

Назначение

Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP (далее по тексту - установка) предназначена для бесконтактных измерений толщины любого твердого объекта, в том числе полупроводниковых пластин из различных материалов, включая кремний, арсенид галлия, фосфид индия, германий и сапфир.

Описание

Принцип действия установки основан на двойном зондировании поверхности объекта с верхней и нижней стороны с помощью бесконтактных оптических зондов. Зонды располагаются на подвижном двухкоординатном столе, позиционирование которого осуществляется с помощью встроенного оптического датчика и контролируется линейным сервомотором с контуром обратной связи от датчика. Позиционирование зондов осуществляется с помощью компьютера. Измерения проводится как с нижней, так и с верхней стороны исследуемой пластины, толщина которой вычисляется автоматически в программе «UltraMap». Принцип действия оптических зондов основан на технологии хроматического кодирования глубины вдоль оптической оси зонда, разработанной SigmaTech.

Конструктивно установка состоит из измерительного модуля с оптическим датчиком, верхнего и нижнего оптических зондов, робототехнической системы, воздуховода, переходной платформы со сменными держателями, гранитной платформы, баллона с чистым азотом, компьютера с операционной системой не ниже Windows98, соединительных кабелей.

Результаты измерения передаются на внешний компьютер. Управление установкой осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением «UltraMap», позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты.

Программное обеспечение

Управление процессом измерения осуществляется с помощью специального программного обеспечения «UltraMap». Программное обеспечение (ПО) служит для калибровки средства измерения, настройки параметров и проведения измерений, визуализации, анализа, обработки и сохранения полученных данных.

ПО на системном компьютере имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши.

ПО устанавливается в определенную директорию жесткого диска системного компьютера.

Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

UltraMap

Номер версии (идентификационный номер) ПО

1.12.0

Цифровой идентификатор ПО

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диапазон измерения толщины, мкм

от 20 до 2000

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения толщины, мкм

± 3

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диаметр измеряемых образцов, мм

60, 76, 100

Г абаритные размеры установки, мм, не более

- высота

720

- ширина

520

- длина

620

Масса, кг, не более

100

Электропитание осуществляется от сети

переменного тока

напряжением, В

от 200 до 250

частотой, Гц

50/60

Потребляемая мощность, кВт, не более

2,2

Условия эксплуатации:

Температура окружающей среды, °С

От +18 до +35

Относительная влажность, %, не более

80

Знак утверждения типа

наносится типографским методом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.

Таблица 4 - Комплектность средства измерения

Наименование

Обозначение

Количество

Установка для измерения толщины «UltraMap S100-FP» в составе:

измерительный модуль с оптическим сенсором, верхний и нижний зонды, робототехническая система, гранитная и переходная платформа, воздуховод,

комплект соединительных кабелей

-

1 шт.

Баллон с чистым азотом

-

1 шт.

Компьютер

-

1 шт.

CD-диск с программным обеспечением

-

1 шт.

Методика поверки

МП 045. М44-17

1 экз.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 045. М44-17 «ГСИ. Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «26» июня 2017 г. Основные средства поверки:

Меры длины концевые плоскопараллельные 3 разряда по ГОСТ Р 8.763-2011 (рег.№ 62321-15)

Основные метрологические характеристики:

Номинальные значения длины мер от 0,5 до 100 мм Допускаемые отклонения длины от номинального значения ±0,20 мкм Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на поверхность корпуса установки (место нанесения указано на рисунке 2).

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя «MicrsoSense LLC-SigmaTech Division», США;

ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»

Развернуть полное описание