Назначение
Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин Surfscan SP1TBI (далее по тексту - установка) предназначена для измерений размеров частиц на поверхности пластин без топологического рисунка.
Описание
Принцип действия установки основан на методе измерений размеров частиц. Метод измерения размеров частиц основан на сканировании поверхности исследуемой пластины лазерным излучением, сборе излучения, рассеянного поверхностью, для различных наборов углов рассеяния (каналов) и сравнению измеренной в каналах интенсивности с интенсивностью рассеянного излучения от калибровочных частиц полистирольного латекса известного размера.
Основными компонентами установки являются:
- приборный шкаф, в котором расположены электронные, оптические и механические элементы прибора, включая аргоновый лазер, предназначенный для возбуждения светорассеяния;
- консоль оператора, содержащая панель включения и выключения питания, две клавиатуры и устройство ввода информации, аналогичное мыши;
- область загрузки и выгрузки пластин содержит автоматическое устройство (робот), который осуществляет загрузку и выгрузку пластин, а также кассеты для хранения пластин, как подготовленных для измерения, так и уже его прошедших;
- видеодисплей, на котором отображаются процесс измерений и его результаты;
- персональный встроенный компьютер, размещенный в приборном шкафу под консолью оператора.
Нанесения знака поверки на установку не предусмотрено. Знак поверки наносится на паспорт и/или свидетельство о поверке в соответствии с действующим законодательством. Общий вид установки представлен на рисунке 1.
Заводской номер имеет буквенно-цифровое обозначение 0207-1122-R, нанесен в виде штампованной бирки на корпусе установки в месте, указанном на рисунке 2. Знак утверждения типа нанесен на лицевую сторону установки в месте, указанном на рисунке 2. Место пломбировки установки находится за защитной крышкой приборного шкафа и приведено на рисунке 3.
Программное обеспечение
Управление установкой, прием и обработка данных осуществляются с помощью персонального компьютера (ПК) со специализированным программным обеспечением.
Программное обеспечение осуществляет управление работой установки, в том числе сбор и анализ данных о распределении частиц по размерам, обработку и хранение данных.
Программное обеспечение установки и результаты измерений защищены от случайных изменений, а также от изменений в результате несанкционированного доступа.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части программного обеспечения указаны в таблице 1.
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | SURFSCAN SP1 MX |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | MX 4.20.7199 |
| Цифровой идентификатор программного обеспечения | Данные являются собственностью производителя и являются защищенными для доступа дилера и пользователей |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений размеров частиц, мкм | от 0,1 до 1,00 |
| Пределы допускаемого относительного среднеквадратического отклонения (ОСКО) случайной составляющей погрешности измерения размеров частиц, %: - в диапазоне размеров от 0,1 до 0,3 мкм включ. - в диапазоне размеров св. 0,3 до 1,0 мкм включ. | ± 2 ± 5 |
| Пределы допускаемой относительной систематической составляющей погрешности измерений размеров частиц в диапазоне размеров от 0,1 до 1,0 мкм включ, % | ± 10 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Г абаритные размеры, мм, не более | 1850x1300x1260 |
| Масса, кг, не более | 760 |
| Условия эксплуатации: - температура воздуха, оС - относительная влажность воздуха, % - атмосферное давление, кПа - пределы допускаемого отклонения температуры окружающей среды за 1 час, °С | от +20 до +24 от 30 до 50 от 94 до 106 ±1 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом и в виде наклейки на корпус установки.
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин Surfscan SP1TBI | заводской номер 0207-1122-R | 1 шт. |
| Кремниевые пластины диаметром 200 мм | - | 3 шт. |
| SMIF-контейнер М200-Е011 | - | 1 шт. |
| Кассета КА198-80МВ-47С02 | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | - | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в руководстве по эксплуатации «Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин SURFSCAN SP1TBI» (Раздел 4 «Проведение измерений»); при использовании в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений установка применяется в соответствии с аттестованными методиками (методами) измерений.
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений
Локальная поверочная схема средств измерений размеров дефектов на кремниевых пластинах в диапазоне значений от 0,1 до 1,0 мкм, утвержденная ФГУП «ВНИИОФИ» (2 февраля 2022 г.).
Правообладатель
Фирма «KLA-Tencor», США
Адрес: 3 Technology Dr, Milpitas, California, 95035, USA Телефон: +1-408-875-3000 Факс: +1-408-875-4875 Web-сайт: www.kla-tencor.com
87711-22: Методика поверкиСкачать6.7 Мб