Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168

Основные
Тип ResMap 168
Год регистрации 2009
Дата протокола 13д от 24.12.09 п.207
Класс СИ 34.02
Номер сертификата 38330В
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  США 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Установка для измерения поверхностного сопротивления четырех зондовым методом ResMap 168 (далее по тексту - установка) предназначена для измерений электрического сопротивления материалов и применяется при разработке, испытаниях, техническом обслуживании и ремонте образцов радиоэлектронной аппаратуры на объектах сферы обороны и безопасности.

Описание

Принцип действия установки основан на определении электрического сопротивления исходных пластин и на косвенном определении концентрации легирующей примеси полупроводниковых слоев.

Конструктивно установка выполнена в виде моноблока.

Для измерения поверхностного сопротивления установка имеет четырех точечный зонд. Он представляет собой точный инструмент для измерения поверхностного сопротивления в проводящих элементах (обычно тонкий слой плёнки в полупроводниках), называемый сопротивлением квадрата пленки, «Rs».

Установка управляется через интерфейс SECS-II с ПЭВМ.

Технические характеристики

Основные технические характеристики установки приведены в таблице. Таблица

Наименование характеристики

Значения характеристики

Диапазон измерений электрического сопротивления постоянному току, Ом

от 5-10'3 до 5106

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления постоянному току, %

±0,5

Пределы допускаемой погрешности воспроизведения электрического сопротивления постоянному току калибровочными резисторами, %

±0,15

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 0,5) Гц, В

220 ± 22

Потребляемая мощность, Вт, не более

500

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более

710 х 300 х 280

Масса, кг, не более

10

Рабочие условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °C..............................................................................от 0 до 50;

- относительная влажность воздуха при температуре 25 °C, % .................................................до 80;

- атмосферное давление, мм рт.ст....................................................................................от 630 до 800.

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на лицевую панель установки в виде наклейки и на техническую документацию фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят: установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168, набор калибровочных резисторов номинальными значениями электрического сопротивления постоянному току 0,10115, 1,00739, 10,01765, 100,353 Ом, 1,006354, 10,03022 кОм, ПЭВМ, техническая документация фирмы-изготовителя, методика поверки.

Поверка

Поверка установки проводится в соответствии с документом «Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168 фирмы «Creative Design Engineering Inc.», США. Методика поверки», утвержденным начальником ГЦИ СИ «Воен-тест» 32 ГНИИИ МО РФ в сентябре 2009 года и входящим в комплект поставки.

Средства поверки: нановольтметр/микроомметр 34420А фирмы "Agilent Technologies", Малайзия (диапазон измерений электрического сопротивления от 1 мкОм до 1 МОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления ± (0,006 - 0,007) %).

Межповерочный интервал - 1 год.

Нормативные документы

ГОСТ 8.028-86 «ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений электрического сопротивления».

Заключение

Тип установки для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.

Развернуть полное описание