Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла Nanometrics HL5500PC

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 2
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 1

Назначение

Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла Nanometrics HL5500PC (далее - установка) предназначена для измерений силы постоянного тока и постоянного напряжения, а так же для расчета удельного электрического сопротивления, концентрации и подвижности носителей заряда в полупроводниках по эффекту Холла в постоянном магнитном поле в соответствии с аттестованными методиками (методами) измерений (при использовании в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений).

Описание

Принцип действия установки основан на измерении напряжения постоянного тока в направлениях: параллельном и перпендикулярном пропускаемому току, между контактами образца, без воздействия и при воздействии на образец магнитного поля. Смена направления подачи постоянного тока и направления измерения напряжения производится автоматически. По результатам полученных значений напряжения постоянного тока, вычисляется значение удельного сопротивления, проводимости, концентрации и подвижности основных носителей заряда, магнитного сопротивления, коэффициента Холла в соответствии с методикой измерений по ГОСТ 25948 - 83 «Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические в микроэлектронной промышленности. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла».

Установка применяется при исследовании электрофизических свойств широкого спектра материалов (проводников и полупроводников с поверхностным сопротивлением до 100 ГОм/см2): кремний, германий, многокомпонентные полупроводники (GaAs, InAs, InP, ZnO, SiC, InAlGaAs, InAlGaN, и т. п.).

Конструктивно установка состоит из приборного блока, измерительного блока и персонального компьютера (ПК).

Приборный блок выполнен в металлическом корпусе, на лицевой панели расположен индикатор питания, на задней панели расположены разъёмы для подключения к измерительному блоку, источнику питания и ПК, так же на задней панели имеется кнопка сброса. Взаимодействие с ПК осуществляется посредством универсальной интерфейсной шины GPIB (IEEE 488).

Измерительный блок выполнен в прямоугольном корпусе с откидной крышкой, внутри которого помещен магнит. На задней панели расположены разъёмы для подключения к приборному блоку и ПК. Установочное место для образцов рассчитано на два типа, а именно: ван дер Пау и образцы в виде бруска или моста. Размер образца следует выбирать с таким расчетом, чтобы его активная зона (без учета зон контакта) помещалась на равномерной зоне магнитного поля диаметром 24 мм.

Удельное электрическое сопротивление определяется расчётным методом.

К установке данного типа относиться установка с зав. № HL5500-1117-0178.

На торцевой части установки имеется табличка, предназначенная для идентификации. Заводской номер и основные данные об установке нанесены на табличку методом термотрансферной печати.

Знак поверки наносится на корпус измерительного блока.

Общий вид установки, схема пломбировки от несанкционированного доступа и обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 1.

Рисунок 1 - Общий вид установки, схема пломбировки от несанкционированного доступа и

обозначение места нанесения знака поверки

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) установки на базе Windows обеспечивает сервисные функции: стандартный либо по усмотрению пользователя выбор измеряемых параметров, управление установкой, создание и хранение отчетов.

Идентификационные данные метрологически значимого программного обеспечения приведены в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

HL55WIN

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже 2.35

Цифровой идентификатор ПО

-

Уровень защиты метрологически значимой части программного обеспечения установки от непреднамеренных и преднамеренных изменений «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Влияние ПО на метрологические характеристики установки учтено при их нормировании.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон воспроизведений силы постоянного тока, мкА

от 10 до 4000

Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведений силы постоянного тока, %

± 2

Диапазон измерений постоянного напряжения, мВ

от 20 до 200

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений постоянного напряжения, %

± 2

Номинальное значение магнитной индукции в рабочей зоне, Тл

0,500

Допускаемое отклонение от номинального значения магнитной индукции в рабочей зоне, Тл

± 0,015

Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения магнитной индукции в рабочей зоне, %

± 2

Диапазон показаний удельного электрического сопротивления, Омсм

от 1-10-4 до 1-109

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Входное электрическое сопротивление, Ом, не менее

2 • 107

Продолжительность непрерывной работы, ч, не более

8

Параметры электрического питания:

- напряжение переменного тока, В

220 ± 4,4

- частота переменного тока, Г ц

50 ± 0,5

Сопротивление изоляции, МОм, не менее

100

Габаритные размеры, мм, не более: Измерительный блок:

- высота

295

- ширина

535

- длина

700

Приборный блок:

- высота

150

- ширина

280

- длина

400

Масса, кг, не более:

Измерительный блок

47,8

Приборный блок

9

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °С

от + 15 до +25

- относительная влажность воздуха, %

от 20 до 80

Знак утверждения типа

наносится на корпус установки методом термотрансферной печати.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла

Nanometrics HL5500PC

1 шт.

Руководство пользователя (eng/rus)

Выпуск 5.0

1 экз.

CD - диск (прикладное ПО)

HL55WIN

1 шт.

Методика поверки

МП 15-26-2021

1 экз.

Сведения о методах измерений

приведены в Главе 6 Руководства пользователя

Нормативные документы, устанавливающие требования к установке для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла Nanometrics HL5500PC

ГОСТ 22261-94 «Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия»

Приказ Росстандарта от 30.12.2019 № 3457 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы»

Приказ Росстандарта от 01.10.2018 № 2091 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений силы постоянного тока в диапазоне от 110-16 до 100 А»

Приказ Росстандарта от 24.02.2012 № 105 «Об утверждении Государственного первичного эталона единиц магнитной индукции, магнитного потока, магнитного момента и градиента магнитной индукции»

ГОСТ 24392-80 «Кремний и германий монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом»

ГОСТ 25948-83 «Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла»

Техническая документация изготовителя

Развернуть полное описание