Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC

Основные
Тип
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 2 года

Назначение

Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC (далее - установка) предназначена для измерений электрической емкости и силы постоянного электрического тока, а также определения вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик.

Описание

Принцип действия установки основан на измерении интегратором электрического заряда, прошедшего через измеряемый объект, при генерации последовательных импульсов внешнего напряжения. Контакт с измеряемым объектом обеспечивается ртутным зондом различной конфигурации - точка, точка и кольцо или точка и два кольца.

Установка позволяет проводить последовательные измерения для пластин диаметром до 300 мм, размещенных в кассете. Для обеспечения перемещения пластин из кассеты в кассету, а также их загрузки-выгрузки требуется подключение вакуумной системы и подачи сжатого воздуха.

Установка конструктивно выполнена в виде стойки-моноблока и состоит из системы измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин, роботизированной системы Genmark с устройством предварительного размещения и камеры считывания идентификационного номера пластины. В стойке обеспечена возможность размещения ПК и принтера.

Вольт-фарадные и вольт-амперные характеристики могут определяться с использованием как встроенного зонда, так и при подключении внешнего зонда. Установка обеспечивает возможность измерения электрической емкости при синусоидальном изменении внешнего напряжения частотой 1 МГц с применением внешних СИ - RLC-метров и анализаторов импеданса.

Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1.

1

место нанесения

знака поверки

Пломбы в виде неразрушаемых наклеек клеятся на дверцы корпуса установки, перекрывая зазор между дверцами и корпусом. Места пломбирования указаны на рисунке 2.

место

место

место

пломбирования

пломбирования

пломбирования

14Ub4l    ...................... ......

б    в

а - левая сторона, б - лицевая сторона, в - правая сторона Рисунок 2 - Места пломбирования от несанкционированного доступа

Программное обеспечение

Установка имеет встроенное и автономное программное обеспечение (ПО). Встроенное ПО выполняет функции сбора, обработки, хранения и передачи измеренных данных. Автономное ПО выполняет функции обработки, отображения, хранения и передачи измеренных данных.

Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствие с Р50.2.077-2014.

Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик.

Таблица 1 - Идентификационные данные ПО

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Встроенное ПО

Автономное ПО

Идентификационное наименование ПО

-

CV map 92

Номер версии (идентификационный номер) ПО

-

не ниже 1.42

Цифровой идентификатор ПО

-

-

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений электрической емкости, нФ

от 0,01 до 100

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости, %

±2,0

Диапазон установки электрического напряжения, В

от -100 до +100

Пределы допускаемой относительной погрешности установки электрического напряжения, %

±1,2

Диапазон измерений силы постоянного электрического тока, мА

от 5,0-10-11 до 1

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного электрического тока, %

±1,4

Пределы допускаемых отклонений действительных значений электрической емкости конденсатора калибровочного блока от его номинального значения, %

1000 пФ

±0,5

Пределы допускаемых отклонений действительных значений электрического сопротивления резисторов калибровочного блока от их номинальных значений, %

100 кОм

±0,5

1 МОм

±0,5

1 ГОм

±0,5

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Напряжение питающей сети переменного тока, В

220±22

Частота питающей сети, Гц

50/60

Потребляемая мощность, Вт, не более

1500

Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более

915 х 1168 х 1778

Масса, кг, не более

360

Средний срок службы, лет

10

Средняя наработка на отказ, ч

20000

Условия эксплуатации:

температура окружающей среды, °С

22±2

относительная влажность, %

50±10

атмосферное давление, кПа

101±4

Знак утверждения типа

наносится на боковую панель прибора печатью и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Таблица 4 - Комплектность установки

Наименование

Обозначение

Количество

Установка

CVmap 3093BC

1 шт.

Калибровочный блок (конденсатор 1000 пФ, резисторы 100 кОм, 1 МОм, 1 ГОм)

-

1 шт.

Руководство по эксплуатации (на CD диске)

-

1 экз.

Программное обеспечение (на CD диске)

CV map 92

1 экз.

Методика поверки

МП 2202-0074-2018

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 2202-0074-2018 «ГСИ. Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 10 декабря 2018 г.

Основные средства поверки:

-    измеритель RLC E4980A, диапазон измерений электрической емкости 1 пФ - 10 мФ, диапазон установки частоты тестового сигнала 20 Гц - 2 МГц, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости в необходимом диапазоне измерений ± (0,07 - 0,1) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 62364-15;

-    измеритель малых токов B2987A, диапазон измерений электрического сопротивления 10 Ом - 10 ПОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления в необходимом диапазоне измерений ±(0,135 - 0,285) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 68608-17;

-    мультиметр UTB 171B, диапазон измерений постоянного электрического напряжения (0 - 1000) В, пределы допускаемой относительной погрешности измерений постоянного электрического напряжения в необходимом диапазоне измерений ± (0,05 - 0,08) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 56475-14.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке или на лицевую стенку установки, как указано на рисунке 1.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

Приказ Росстандарта № 146 от 15 февраля 2016 г. «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления»

ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия

Техническая документация фирмы изготовителя

Развернуть полное описание