Назначение
Установка для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления полупроводниковых материалов 1510E В SA (далее - установка 1510E В SA) предназначена для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления (УПЭС) полупроводниковых материалов вихретоковым методом.
Описание
Принцип действия установки 1510E В SA основан на вихретоковом методе неразрушающего контроля, основанным на регистрации изменений электромагнитного поля вихревых токов, наводимых с помощью вихретокового преобразователя в образце полупроводникового материала. Электромагнитное поле вихревых токов воздействует на катушки вихретокового преобразователя и в измерительной обмотке возникает электродвижущая сила (ЭДС), которая является сигналом, передающим информацию об образце в систему обработки данных.
Установка 1510E В SA состоит из электронного блока и манипулятора, объединенных в единой моноблочной конструкции.
Обработка результатов измерений осуществляется с помощью внешнего ПО, устанавливаемого на персональный компьютер. Имеется возможность построения карты распределения величины УПЭС в пределах заданной области поверхности образца путем перемещения образца по заданной программе и выдачи результатов измерений в графическом виде.
Пломбирование установки 1510E В SA не предусмотрено. Конструкция установки 1510E В SA обеспечивает ограничение доступа к частям, несущим первичную измерительную информацию, и местам настройки (регулировки).
Буквенно-цифровое обозначение и серийный номер установки 1510E В SA выполнены способом лакокрасочного нанесения в виде шильдика. Шильдик расположен на левой боковой панели электронного блока установки 1510E В SA.
Нанесение знака поверки не предусмотрено.
Общий вид установки 1510E В SA представлен на рисунке 1.
Место нанесения серийного номера
Рисунок 1 - Общий вид установки 1510E В SA
К установкам данного типа относится установка 1510E В SA, сер. № 398.
Программное обеспечение
Идентификационные данные метрологически значимой части внешнего программного обеспечения (ПО) установки 1510E В SA приведены в таблице 1.
Уровень защиты ПО установки 1510E В SA «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Конструкция установки 1510E В SA обеспечивает полное ограничение доступа к метрологически значимой части ПО и исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию.
Влияние метрологически значимой части ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | - |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже 5.0.1 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики установки 1510E В SA
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон показаний удельного поверхностного (слоевого) электрического) сопротивления на квадрат поверхности, Ом | От 15 до 3300 |
| Диапазон измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического) сопротивления на квадрат поверхности, Ом | От 150 до 2200 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % | ±8 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Габаритные размеры, мм, не более | |
| - высота | 330 |
| - ширина | 370 |
| - длина | 600 |
| Масса, кг, не более | 31,8 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающего воздуха, °С | 23±5 |
| - относительная влажность, %, не более | 50 |
| - напряжение питания, В | 220 ±22 |
| - частота питающей сети, Г ц | 50±1 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист «Руководства по эксплуатации» типографским способом или в виде наклейки.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование изделия и его обозначение | Обозначение | Количество |
| Установка для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления полупроводниковых материалов | 1510E В SA | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Диск с ПО | - | 1 шт. |
Сведения о методах измерений
приведены в Руководстве по эксплуатации, раздел 4 «Выполнение измерений».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока».
