Назначение
Тестеры полупроводниковых компонентов серий SPEA C430, SPEA С600 (далее -тестеры) предназначены для воспроизведений и измерений напряжения и силы постоянного тока.
Описание
Принцип действия тестеров основан на сравнении с помощью быстродействующих аналого-цифровых преобразователей выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля (далее по тексту - ФК), формируемым тестером.
Тестеры применяются для комплексной автоматизированной проверки микросхем широкой номенклатуры методами функционального, алгоритмического контроля и параметрических измерений, а также для контроля и измерений параметров микросхем на пластинах и в корпусированном виде на стадиях разработки, испытаниях, производстве, входном контроле.
Тестеры C430 и C600 имеют одинаковую архитектуру построения, но имеют отличия в максимально возможном количестве аналогово/цифровых каналов. Тестер C430 позволяет использовать до 368 каналов, C600 - до 1024 каналов.
Тестеры обеспечивают снятие статических и динамических характеристик. Набор модулей позволяет проводить тестирование полупроводниковых компонентов цифрового, аналогового и смешанного типов.
Тестеры обеспечивают формирование входных воздействий на выводы интегральных микросхем (далее по тексту - ИМС) и полупроводниковые кристаллы на каждом канале в режимах:
- импульсном с возвратом к нулю или единице с поканально-независимым заданием момента начала и окончания импульса;
- потенциальном с поканально-независимым заданием момента переключения уровней и состояния.
Тестеры состоят из измерительного блока, стойки питания и управления, манипулятора измерительного блока. Измерительный блок построен по модульному принципу, в зависимости от назначения тестеры комплектуются следующими измерительными и функциональными модулями:
- модули PE400D - каждый модуль включает в свой состав 16 независимых аналогово-цифровых измерительных каналов (каналы типов №№ 2, 3, 4, 5, 7). Общее количество каналов может составлять до 1024. Так же каждый модуль имеет по два измерительных источника питания (каналы типов № 1 и № 6) и 8-ми канальный модуль измерения временных параметров;
- модули SAU688 - каждый модуль включает в свой состав 8 каналов источников питания средней мощности (каналы типов № 1 и № 2), в состав каждого источника питания входит измеритель силы и напряжения постоянного тока, 8 аналоговых каналов измерения напряжения постоянного тока DVM (каналы типа № 3), средства синхронизации и управления;
- модули IPPS - включают в свой состав 4-х канальный источник питания (каналы типа № 1), в состав каждого источника входит измеритель силы (каналы типа № 3) и напряжения (каналы типа № 2) постоянного тока;
- источник напряжения и силы постоянного тока высоковольтный HVS - включает в свой состав одноканальный источник питания высокого напряжения постоянно тока (каналы типа № 1) с измерителем напряжения (каналы типа № 2 и № 4) и силы постоянного тока (каналы типа № 3).
В зависимости от конфигурации тестеров, измерительный блок может быть размещен как на манипуляторе, на отдельной стойке напольного исполнения, также измерительный блок может быть совмещен со стойкой питания и управления. Измерительный блок имеет принудительное охлаждение.
Каналы всех функциональных и измерительных модулей выведены на специализированный интерфейс с нулевым усилием. Через загрузочную плату, контактирующую со специализированным интерфейсом производится подключение объекта контроля с тестерами.
Стойка питания и управления выполнена в виде шкафа и включает в свой состав:
- систему вторичного электропитания, осуществляющую питание собственных модулей тестеров и объектов контроля;
- вычислительную систему, содержащую специализированное программное обеспечение, которое осуществляет управление всеми модулями тестера;
- параметрический измеритель общего назначения, осуществляющий выполнение задач контроля и диагностики.
Модификация (конфигурация) тестеров определяется установленными типами функциональных модулей и их количеством. Данная информация не отражается в обозначении.
Выбор той или иной установки производится пользователем на основе решаемых задач и необходимого количества каналов.
Общий вид тестеров, места пломбирования и нанесения знака поверки представлены на рисунках 1-3.
Программное обеспечение
!!*
к
ц ш
п
Программное обеспечение (далее по тексту - ПО) тестеров включает общее программное обеспечение (ОПО) - операционную систему MS Windows XP/7 и встроенное специальное программное обеспечение (далее по тексту - СПО) - «ATOS».
СПО «ATOS» является метрологически значимым. Оно позволяет задавать параметры измерений. С помощью СПО проводится управление процессами измерений. Метрологические характеристики тестеров нормированы с учетом влияния СПО «ATOS».
Идентификационные данные СПО приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные СПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | ATOS |
| Номер версии (идентификационный номер ПО), не ниже | 2,7 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Метрологически значимая часть ПО тестеров и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от непреднамеренных и преднамеренных измерений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в
соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики тестеров приведены в таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Общие метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Модуль PE400AD |
| Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | от -2,5 до +14 от -2 до +6,5 от 0 до +5 от -0,5 до 2,5 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В: - для диапазона от -2,5 до +14 В - для диапазона от -2 до +6,5 В - для диапазона от 0 до +5 В - для диапазона от -0,5 до +2,5 В | ±0,0005-Ц ± 0,008 ±0,0002-Цв ± 0,004 ±0,0002-Ц ± 0,003 ±0,0002-Ц ± 0,0015 |
| Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА | от -28 до +28 от -2 до +2 от -0,2 до +0,2 от -0,02 до +0,02 от -0,002 до +0,002 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА: - для диапазона от -28 до +28 мА - для диапазона от -2 до +2 мА - для диапазона от -0,2 до +0,2 мА - для диапазона от -0,02 до +0,02 мА - для диапазона от 0,002 до +0,002 мА | ±0,005 •/в ± 0,1 ±0,001-/в ± 0,005 ±0,001 / ± 0,0005 ±0,001 •/в ± 0,00005 ±0,001 / ± 0,000005 |
| Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В | от -2 до +6,5 от -2 до +14 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В: - для диапазона от -2 до +6,5 В - для диапазона от -2 до +14 В | ±0,0005 •Цизм ± 0,01 ±0,0005-иШм ± 0,015 |
| Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3, В | от -2 до +6,5 от 0 до +5 от -0,5 до +2,5 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3, В: - для диапазона от -2 до +6,5 В - для диапазона от 0 до +5 В - для диапазона от -2 до +14 В | ±0,0005-Цизм ± 0,01 ±0,0004-Цизм ± 0,01 ±0,0002-Цизм ± 0,01 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4, В | от -3 до +14 от -1,5 до +7 от -0,75 до +3,5 -0,35 до +1,75 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4, В: - для диапазона от -3 до +14 В - для диапазона от -1,5 до +7 В - для диапазона от -0,75 до +3,5 В - для диапазона от -0,35 до +1,75 | ±0,001 •^изм ± 0,008 ±0,001 •Цизм ± 0,004 ±0,001 •Цизм ± 0,003 ±0,001 •Цизм ± 0,003 |
| Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 4, мА | от -28 до +28 от -2 до +2 от -0,2 до +0,2 от -0,02 до +0,02 от -0,002 до +0,002 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 4, мА: - для диапазона от -28 до +28 мА - для диапазона от -2 до +2 мА - для диапазона от -0,2 до +0,2 мА - для диапазона от -0,02 до +0,02 мА - для диапазона от -0,002 до +0,002 мА | ±0,001 •/изм ± 0,2 ±0,001 •/изм ± 0,01 ±0,001 •/изм ± 0,001 ±0,001 ^/изм ± 0,0001 ±0,001 ^/изм ± 0,00001 |
| Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 5, В | от -3 до +14 от -1,5 до +7 от -0,75 до +3,5 -0,35 до +1,75 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 5, В: - для диапазона от -3 до +14 В - для диапазона от -1,5 до +7 В - для диапазона от -0,75 до +3,5 В - для диапазона от -0,35 до +1,75 В | ±0,001 •Цизм ± 0,008 ±0,001 •Цизм ± 0,004 ±0,001 •Цизм ± 0,003 ±0,001 •Цизм ± 0,003 |
| Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 5, мА | от -28 до +28 от -2 до +2 от -0,2 до +0,2 от -0,02 до +0,02 от -0,002 до +0,002 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 5, мА: - для диапазона от -28 до +28 мА - для диапазона от -2 до +2 мА - для диапазона от -0,2 до +0,2 мА - для диапазона от -0,02 до +0,02 мА - для диапазона от -0,002 до +0,002 мА | ±0,001 •/изм ± 0,2 ±0,001 •/изм ± 0,01 ±0,001 •/изм ± 0,001 ±0,001 ^/изм ± 0,0001 ±0,001 ^/изм ± 0,00001 |
| Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 6, В | от -2 до +20 от 0 до +25 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 6, В:
- для диапазона от -2 до +20 В
±0,0005-б'в ± 0,002 ±0,0005^ ± 0,003
от -500 до +500 от -250 до +250 от -25 до +25 от -2,5 до +2,5 от -0,25 до +0,25 от -0,025 до +0,025 от -0,005 до +0,005
±0,0005 •/в ± 5 ±0,0005/ ± 2,5 ±0,0005•/в ± 0,25 ±0,0005/ ± 0,025 ±0,0005•/в ± 0,0025 ±0,0005/ ± 0,00025 ±0,0005/ ± 0,00005
от -2 до +20 от 0 до +25
- для диапазона от 0 до +25 В
Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 6, мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 6, мА:
- для диапазона от -500 до +500 мА
- для диапазона от -250 до +250 мА
- для диапазона от -25 до +25 мА
- для диапазона от -2,5 до +2,5 мА
- для диапазона от -0,25 до +0,25 мА
- для диапазона от -0,025 до +0,025 мА
- для диапазона от -0,005 до +0,005 мА
Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 7, В
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 7, В:
- для диапазона от -2 до +20 В
±0,0005^^изм ±0,0005-б^зм
± 0,004 ± 0,004
- для диапазона от 0 до +25 В
Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 7, мА
от -500 до от -250 до от -25 до от -2,5 до от -0,25 до от -0,025 до от -0,005 до
+500
+250
+25
+2,5
+0,25
+0,025
+0,005
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 7, мА:
- для диапазона от -500 до +500 мА
±0,0005-/изм ± 1,5 ±0,0005-/изм ± 0,75 ±0,0005-/изм ± 0,075 ±0,0005-/изм ± 0,0075 ±0,0005-/изм ± 0,00075 ±0,0005-/изм ± 0,000075 ±0,002-/изм ± 0,000015
от -100 до +100 от -50 до +50 от -20 до +20 от -10 до +10 от -5 до +5 от -2 до +2 от -1 до +1
- для диапазона от -250 до +250 мА
- для диапазона от -25 до +25 мА
- для диапазона от -2,5 до +2,5 мА
- для диапазона от -0,25 до +0,25 мА
- для диапазона от -0,025 до +0,025 мА
- для диапазона от -0,005 до +0,005 мА_
Модуль SAU688
Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В
| Наименование характеристики | Значение |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В: - для диапазона от -100 до 100 В - для диапазона от -50 до 50 В - для диапазона от -20 до 20 В - для диапазона от -10 до 10 В - для диапазона от -5 до 5 В - для диапазона от -2 до 2 В - для диапазона от -1 до 1 В | ±0,0005-Ц ± 0,01 ±0,0005-Цв ± 0,005 ±0,0005-Ц ± 0,003 ±0,0005-ив ± 0,002 ±0,0005-Ц ± 0,0015 ±0,0005-Цв ± 0,001 ±0,0005-Ц ± 0,0005 |
| Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА | от -2000 до +2000 от -100 до +100 от -10 до +10 от -1 до +1 от -0,1 до +0,1 от -0,01 до +0,01 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА: - для диапазона от -2000 до +2000 мА - для диапазона от -100 до +100 мА - для диапазона от -10до +10 мА - для диапазона от -1 до +1 мА - для диапазона от -0,1 до +0,1 мА - для диапазона от 0,01 до + 0,01 мА | ±0,001-/в ± 0,5 ±0,0005-/в ± 0,025 ±0,0005-/в ± 0,0025 ±0,0005-/в ± 0,00025 ±0,0005-/в ± 0,000025 ±0,0005-/в ± 0,00001 |
| Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 2, мА | от -2000 до +2000 от -100 до +100 от -10 до +10 от -1 до +1 от -0,1 до +0,1 от -0,01 до +0,01 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 2, мА: - для диапазона от -2000 до +2000 мА - для диапазона от -100 до +100 мА - для диапазона от -10до +10 мА - для диапазона от -1 до +1 мА - для диапазона от -0,1 до +0,1 мА - для диапазона от 0,01 до + 0,01 мА | ±0,001- /в ± 0,5 ±0,0005-/в ± 0,025 ±0,0005-/в ± 0,0025 ±0,0005-/в ± 0,00025 ±0,0005-/в ± 0,000025 ±0,0005-/в ± 0,00001 |
| Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3, В | от -100 до +100 от -50 до +50 от -20 до +20 от -5 до +5 от -2 до +2 от -1 до +1 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3, мА: - для диапазона от -100 до +100 В - для диапазона от -50 до +50 В - для диапазона от -20 до +20 В - для диапазона от -5 до +5 В - для диапазона от -2 до +2 В - для диапазона от -1 до +1 В | ±0,0005-Цизм ± 0,01 ±0,0005-иизм ± 0,005 ±0,0005-Цизм ± 0,003 ±0,0005-Цизм ± 0,0015 ±0,0005-Цизм ± 0,001 ±0,0005-Цизм ± 0,0005 |
| Продолжение таблицы 2 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Модуль IPPS |
| Диапазон воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | от 0 до 20 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | ±0,001 •Цв ± 0,01 |
| Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, А | от 0 до 128 от 0 до 64 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, А - для диапазона от 0 до 128 А - для диапазона от 0 до 64 А | ±0,002/ ± 0,128 ±0,002/ ± 0,064 |
| Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В | от 0 до 5 от 0 до 10 от 0 до 20 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В: - для диапазона от 0 до 5 В - для диапазона от 0 до 10 В - для диапазона от 0 до 20 В | ±0,0005 •Цизм ± 0,001 ±0,0005 •Цизм ± 0,002 ±0,0005 •Цизм ± 0,004 |
| Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, А | от 0 до 16 от 0 до 32 от 0 до 64 от 0 до 128 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, А - для диапазона от 0 до 16 А - для диапазона от 0 до 32 А - для диапазона от 0 до 64 А - для диапазона от 0 до 128 А | ±0,005-/Шм ± 0,016 ±0,005-/изм ± 0,032 ±0,005-/Шм ± 0,064 ±0,005-/изм ± 0,128 |
| Источник напряжения и тока высоковольтный HVS |
| Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | от 0 до 2500 от 0 до 1000 от 0 до 500 от 0 до 200 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | ±0,005Ц ± 0,001 •Цпред |
| Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА | от 0 до 50 от 0 до 5 от 0 до 1 от 0 до 0,1 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА | ±0,01 •/в ± 0,001 •/пред |
| Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В | от 0 до 2500 от 0 до 1250 от 0 до 500 от 0 до 250 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В | ±0,005-Цизм ± 0,001 •Цпред |
| Продолжение таблицы 2 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, мА | от 0 до 50 от 0 до 25 от 0 до 10 от 0 до 5 от 0 до 2,5 от 0 до 1 от 0 до 0,5 от 0 до 0,2 от 0 до 0,1 от 0 до 0,05 от 0 до 0,02 от 0 до 0,01 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, мА | ±0,002- /изм ± 0,001-/пред |
| Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4, В | от 0 до 2500 от 0 до 1250 от 0 до 500 от 0 до 250 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4, В | ±0,005-иизм ± 0,004-ипред |
| Примечания /изм и иизм - значение силы и напряжения постоянного тока измеренное при помощи тестера; /в и ив - значение силы и напряжения постоянного тока воспроизведенное при помощи тестера; /пред и ипред - верхний предел измерений (или воспроизведений) силы (или напряжения) постоянного тока |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Максимальная нагрузка, нФ: - предел воспроизведения силы постоянного тока 0,1 мА - предел воспроизведения силы постоянного тока 1 мА - предел воспроизведения силы постоянного тока 5 мА - предел воспроизведения силы постоянного тока 50 мА | 33 47 47 47 |
| Рабочие условия: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха, % | от +15 до +25 65±15 |
| Г абаритные размеры (высота х длина х ширина), мм, не более | 2000 х 1500 х 1500 |
| Масса, кг, не более | 1500 |
| Средний срок службы, лет, не менее | 10 |
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель тестера методом гравирования и на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
Комплект поставки тестеров представлен в таблице 3.
| Наименование | Количество |
| Тестер | 1 шт. |
| Методика поверки | 1 экз. |
| Паспорт | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 68066-17 «Тестеры полупроводниковых компонентов серий SPEA C430, SPEA С600. Методика поверки», утвержденному ООО «ИЦРМ» 18.04.2017 г. Основные средства поверки:
- калибратор универсальный 9100 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 25985-09);
- мультиметр цифровой прецизионный Fluke 8508A (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 25984-14);
- шунт токовый АКИП-7501 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 49121-12);
- делитель напряжений ДН-400 (диапазон измерений от 1 до 2,5 кВ, пределы допускаемой относительная погрешности ±0,1 %).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки в виде наклейки или оттиска поверительного клейма наносится в паспорт.
Сведения о методах измерений
отсутствуют.
Нормативные документы
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия
ГОСТ 14014-91 Приборы и преобразователи измерительные цифровые напряжения, тока, сопротивления. Общие технические требования и методы испытаний Техническая документация фирмы-изготовителя
68066-17: Методика поверкиСкачать4.4 Мб