Тестеры полупроводниковых компонентов SPEA DOT100, SPEA DOT400

Основные
Тип
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год

Назначение

Тестеры полупроводниковых компонентов серии SPEA DOTIOO, SPEA DOT400 (далее по тексту - тестеры) предназначены для воспроизведений и измерений напряжения и силы постоянного тока.

Описание

Принцип действия тестеров основан на сравнении с помощью быстродействующих аналого-цифровых преобразователей выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля (далее по тексту - ФК), формируемым тестером.

Тестеры применяются для комплексной автоматизированной проверки микросхем широкой номенклатуры методами функционального алгоритмического контроля и параметрических измерений, а также для контроля и измерений параметров микросхем на пластинах и в корпусированном виде при разработке, испытаниях, производстве и входном контроле.

Тестеры имеют единую архитектуру построения, позволяют проводить гибкое конфигурирование в зависимости от требований по тестированию.

Тестеры обеспечивают снятие статических и динамических характеристик. Набор модулей позволяет проводить тестирование полупроводниковых компонентов цифрового, аналогового и смешанного типов.

Тестеры обеспечивают формирование входных воздействий на выводы интегральных микросхем (далее по тексту - ИМС) и полупроводниковые кристаллы на каждом канале в режимах:

-    импульсном с возвратом к нулю или единице с поканально-независимым заданием момента начала и окончания импульса;

-    потенциальном с поканально-независимым заданием момента переключения уровней и состояния.

Тестеры изготавливаются в двух исполнениях SPEA D0T100 и SPEA D0T400, отличающихся внешним видом и составом.

В зависимости от конфигурации тестеры состоят из основного измерительного блока, включающего источник питания, и отдельно стоящей управляющей электронновычислительной машиной ЭВМ на базе персонального компьютера. Дополнительно, в зависимости от конфигурации тестер может быть укомплектован дополнительной стойкой с силовыми функциональными модулями.

Измерительный блок построен по модульному принципу, в зависимости от назначения тестеры комплектуются измерительными и функциональными модулями.

Тестеры SPEA D0T400 могут комплектоваться следующими модулями:

-    модули DYPE200 - каждый модуль включает в свой состав 96 независимых аналоговоцифровых измерительных каналов (каналы типов №№ 2, 3, 4, 5, 7) с максимальной тактовой частотой 5 и 50 МГц. Общее количество каналов в тестере может составлять до 1536;

-    модули DYLPS100 - каждый модуль включает в свой состав 16 каналов источников питания низкой мощности (каналы типов №№ 1, 2), в состав каждого источника питания входит измеритель силы и напряжения постоянного тока с возможностью оцифровки сигнала, средства синхронизации, временных измерений и управления. Все источники питания поддерживают работу как по отдельности, так и при параллельном/последовательном включении посредством внутренней/внешней коммутации;

-    модули IPPS - включают в свой состав 4-х канальный источник питания (каналы типа № 1), в состав каждого источника входит измеритель силы (каналы типа № 3) и напряжения (каналы типа № 2) постоянного тока;

-    источник напряжения и силы постоянного тока высоковольтный HVS - включает в свой состав одноканальный источник питания высокого напряжения постоянного тока (каналы типа № 1) с измерителем напряжения (каналы типа № 2 и № 4) и силы постоянного тока (каналы типа № 3).

Тестеры SPEA DOTIOO комплектуются модулями DXPE100 - каждый модуль включает в свой состав 3 секции по 8 независимых аналогово-цифровых измерительных каналов/измерительных источников питания DPS (каналы типов №№ 2, 3, 4, 5, 7) с максимальной тактовой частотой 5 МГц и 3 секции по 8 независимых цифровых каналов с максимальной частотой до 50 МГц и один мультиплексированный аналоговый канал. Общее количество каналов в тестере может составлять до 768. В состав каждого источника питания DPS первой секции входит измеритель силы и напряжения постоянного тока с возможностью оцифровки сигнала, средства синхронизации, временных измерений и управления. Все источники питания поддерживают работу как по отдельности, так и параллельное/последовательное включение посредством внутренней/внешней коммутации.

В зависимости от конфигурации тестеров, измерительный блок может быть размещен как на манипуляторе, так и выполнен в виде настольного исполнения. Измерительный блок имеет принудительное воздушное охлаждение.

Каналы всех функциональных и измерительных модулей выведены на специализированный интерфейс с нулевым усилием. Через загрузочную плату, контактирующую со специализированным интерфейсом производится подключение объекта контроля к тестерам.

Модификация (конфигурация) тестеров определяется установленными типами функциональных модулей и их количеством. Данная информация не отражается в обозначении.

Выбор той или иной установки, ее конфигурации и необходимого количества каналов производится пользователем на основе решаемых задач.

Общий вид тестеров, места пломбирования и нанесения знака поверки представлены на рисунках 1 и 2.

Программное обеспечение

Программное обеспечение (далее по тексту - ПО) тестеров включает общее программное обеспечение (ОПО) - операционную систему MS Windows XP/7/8/10 и встроенное специальное программное обеспечение (далее по тексту - СПО) - «ATOS».

СПО «ATOS» является метрологически значимым. Оно позволяет задавать параметры измерений. С помощью СПО проводится управление процессами измерений. Метрологические характеристики тестеров нормированы с учетом влияния СПО «ATOS».

Идентификационные данные СПО приведены в таблице 1:

Таблица 1 - Идентификационные данные СПО

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование СПО

ATOS

Номер версии (идентификационный номер СПО), не ниже

2,7

Цифровой идентификатор СПО

-

Метрологически значимая часть CПО тестеров и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений.

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики тестеров приведены в таблицах 2-4.

Таблица 2 - Общие метрологические характеристики тестеров SPEA D0T400

Наименование характеристики

Значение

Модуль DYPE200

Секция аналогово/цифровых каналов с тактовой частотой до 5 МГц

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до 3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001-^p.v+0,016) ±(0,001-^p.v+0,008) ±(0,001- ap.v.+0,005)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,001/p.v+160+(Vdut-4)-32 В'1] ±[0,001/p.v.+40+(Vdut-4)-8 В'1] ±[0,001/p.v.+10+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,001/p.v.+2,56+(Vdut-4)0,512 В'1] ±[0,001/p.v.+0,64+(Vdut-4)-0,128 В'1] ±[0,001/p.v.+0,16+(Vdut-4)-0,032 В'1] ±[0,001/p.v.+0,04+(Vdut-4)-0,008 В'1] ±[0,001/p.v.+0,01+(Vdut-4)-0,002 В-1]

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001 •'^изм +0,004) ±(0,001 •иизм +0,003) ±(0,001 •Цизм +0,0015)

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,001/p.v.+80+(Fdut-4)-32 В'1] ±[0,001/p.v.+20+(Fdut-4)-8 В'1] ±[0,001/p.v.+5+(Fdut-4)-2 В-1] ±[0,001/p.v.+1,28+(Fdut-4)0,512 В'1] ±[0,001/p.v.+0,32+(Fdut-4)-0,128 В'1] ±[0,001/p.v.+0,08+(Fdut-4)-0,032 В'1] ±[0,001/p.v.+0,02+(Fdut-4)-0,008 В-1] ±[0,001/p.v.+0,006+(Fdut-4) 0,002 В-1]

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от -1,5 до +10 от -1 до + 6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001-Up.v.+0,016) ±(0,001-Up.v.+0,008) ±(0,001-Up.v.+0,005)

Наименование характеристики

Значение

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001 •'^изм +0,015)

±(0,001 •^изм +0,012) ±(0,001 •'^изм +0,010)

Секция аналогово/цифровых каналов с тактовой частотой до 50 МГц

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до 3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001 •-Up.v+0,02) ±(0,001Up.v.+0,012) ±(0,001Up.v.+ 0,008)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,001'/p.v.+160+(Vdut-4)-32 В'1] ±[0,001'/p.v.+40+(Vdut-4)-8 В-1] ±[0,001/p.v.+10+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,00Mp.v.+2,56+(Vdut-4)0,512 В'1] ±[0,001 -/p.v.+0,64+(Vdut-4) 0,128 В'1] ±[0,001 -/p.v.+0,16+(Vdut-4)- 0,032 В'1] ±[0,001 -7p.v.+0,04+(Vdut-4) 0,008 В'1] ±[0,001'/p.v.+0,01+(Vdut-4)-0,002 В-1]

от -1,5 до +10

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного

тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6.5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001'Цизм+ 0,012) ±(0,001 •иизм+0,006)

±(0,001-^+0,004)

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,001-/p.v.+ 80+(Vdut-4)-32 В-1] ±[0,00Mp.v.+20+(Vdut-4)-8 В'1] ±[0,00Mp.v+5+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,00Mp.v.+1,28+(Vdut-4)0,512 В'1] ±[0,001 -7p.v.+0,32+(Vdut-4)- 0,128 В'1] ±[0,001 Tp.v.+0,08+(Vdut-4)- 0,032 В'1] ±[0,001 •/p.v.+0,02+(Vdut-4)-0,008 В-1] ±[0,001 •7p.v.+0,006+(Vdut-4) 0,002 В-1]

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В:

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001-^p.v.+0,012) ±(0,001 • £/p.v.+0,008)

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В:

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001-tfp.v.+ 0,025) ±(0,001-tfp.v.+ 0,015)

Модуль DYLPS

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -10 до +10 от -5 до +5 от -2,5 до +2,5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -10 до +10 В

-    для диапазона от -5 до +5 В

-    для диапазона от -2,5 до +2,5 В

±(0,005^p.v.+0,002)

±(0,005^p.v.+0,001)

±(0,01^p.v.+0,0005)

Наименование характеристики

Значение

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -500 до +500 от -20 до +20 от -2 до +2 от -0,2 до +0,2 от -0,02 до +0,02

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -500 до +500 мА

-    для диапазона от -20 до +20 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,2 до +0,2 мА

-    для диапазона от -0,02 до +0,02 мА

±[0,0003-/p.v.+250+(Fdut-10)-15 В-1] ±[0,0002-/p.v.+10+(Fdut-10)-0,5 В-1] ±[0,0002-/p.v.+1+(Fdut-10)-0,05 В-1] ±[0,0002-/p.v.+0,1+(Fdut-10)-0,005 В-1] ±[0,0002-/p.v.+0,01+(Fdut-10)-0,001 В-1]

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3, В

от -10 до +10 от -5 до +5 от -2,5 до +2,5 от -1,25 до +1,25 от -0,625 до +0,625

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3*, В:

-    для диапазона от -10 до +10 В

-    для диапазона от -5 до +5 В

-    для диапазона от -2,5 до +2,5 В

-    для диапазона от -1,25 до +1,25 В

-    для диапазона от -0,625 до +0,625 В

±(0,001 •Цизм +0,002) ±(0,001 •Цизм +0,001)

±(0,001 •Цизм +0,0005) ±(0,001 •Цизм +0,0003)

±(0,01 •Цизм +0,0002)

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, мА

от -500 до +500 от -20 до +20 от -2 до +2 от -0,2 до +0,2 от -0,02 до +0,02

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений постоянного тока по каналам типа № 3*, мкА:

-    для диапазона от -500 до +500 мА

-    для диапазона от -20 до +20 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,2 до +0,2 мА

-    для диапазона от -0,02 до +0,02 мА

±[0,0003-/p.v.+250+(Vdut-10)15 В-1] ±[0,0002-/p.v.+10+(Vdut-10)0,5 В-1] ±[0,0002-/p.v.+1+(Vdut-10)0,05 В-1] ±[0,0002-Ip.v.+0,1+ (Vdut-10) 0,005 В-1] ±[0,0002-/p.v.+0,01+(Vdut-10)0,001 В-1]

Модуль IPPS

Диапазон воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от 0 до 20

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В

±(0,001-^+0,01)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, А

от 0 до 128 от 0 до 64

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, А:

-    для диапазона от 0 до 128 А

-    для диапазона от 0 до 64 А

±(0,002-/в + 0,128)

±(0,002-/в + 0,064)

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от 0 до 5 от 0 до 10 от 0 до 20

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В:

-    для диапазона от 0 до 5 В

-    для диапазона от 0 до 10 В

-    для диапазона от 0 до 20 В

±(0,005-Цизм + 0,001) ±(0,005-Цизм + 0,002) ±(0,005-Цизм + 0,004)

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, А

от 0 до 16 от 0 до 32 от 0 до 64 от 0 до 128

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3*, А:

-    для диапазона от 0 до 16 А

-    для диапазона от 0 до 32 А

-    для диапазона от 0 до 64 А

-    для диапазона от 0 до 128 А

±(0,005-/изм +0,016) ±(0,005-/Шм +0,032) ±(0,005-/изм +0,064) ±(0,005-/Шм +0,128)

Источник напряжения и тока высоковольтный HVS

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от 0 до 2500 от 0 до 1000 от 0 до 500 от 0 до 200

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В

±(0,005 •Ц +0,001 •Цпред)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от 0 до 50 от 0 до 5 от 0 до 1 от 0 до 0,1

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мА

±(0,01 / +0,001 •/пред )

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В

от 0 до 2500 от 0 до 1250 от 0 до 500 от 0 до 250

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2*, В

±(0,005 • Цизм +0,001 • Цпред)

Наименование характеристики

Значение

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, мА

от 0 до 50 от 0 до 25 от 0 до 10 от 0 до 5 от 0 до 2,5 от 0 до 1 от 0 до 0,5 от 0 до 0,2 от 0 до 0,1 от 0 до 0,05 от 0 до 0,02 от 0 до 0,01

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3*, мА

±(0,002•/изм+0,001 •/пред)

от 0 до 2500

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4, В

от 0 до 1250 от 0 до 500 от 0 до 250

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4*, В

±(0,005 • Ццзм+0,004- Цпред)

Примечания - * - в формулах расчета пределов допускаемой абсолютной погрешности:

/изм - значения силы постоянного тока, измеренные при помощи тестера, мА (А);

иизм - значения напряжения постоянного тока, измеренные при помощи тестера, В;

/в - значения силы постоянного тока, воспроизведенные при помощи тестера, мА (А);

ив - значения напряжения постоянного тока, воспроизведенные при помощи тестера, В;

/пред - верхний предел измерений (или воспроизведений) силы постоянного тока, мА (А); ипред - верхний предел измерений (или воспроизведений) напряжения постоянного тока, В;

/p.v. - запрограммированное (установленное пользователем) значение силы постоянного тока, мА (А);

Up.v. - запрограммированное (установленное пользователем) значение напряжения постоянного тока, В;

Vdut -значение измеренного напряжения на объекте измерения (с учетом влияния всех факторов (падения напряжения, потери)), В.

Таблица 3 - Общие метрологические характеристики SPEA D0T100

Наименование характеристики

Значение

Модуль DXPE100

Секция аналогово/цифровых каналов и источников питания (8 источников питания DPS и 8 цифровых каналов) с тактовой частотой до 5 МГц

(3 секции)

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,0001 £/p.v.+0,016) ±(0,0001 f/p.v.+0,008) ±(0,0001 f/p.v.+0,005)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,0017p.v.+160+(Fdut-4)-32 В'1] ±[0,0017p.v.+40+(Fdut-4)-8 В'1] ±[0,0017p.v.+10+(Fdut-4)-2 В-1] ±[0,0017p.v.+2,56+(Fdut-4)-0,512 В'1] ±[0,0017p.v.+0,64+(Fdut-4)-0,128 В'1] ±[0,0017p.v.+0,16+(Fdut-4)-0,032 В'1] ±[0,0017p.v.+0,04+(Fdut-4)-0,008 В'1] ±[0,0017p.v.+0,01+(Fdut-4)-0,002 В-1]

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Наименование характеристики

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

Значение

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

±(0.0001 • Up.v.+0,004) ±(0.0001-Up.v.+0,003) ±(0.0001-Up.v+0,0015)

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В_

Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,0017p.v+80+(Vdut-4)-32 В'1] ±[0,0017p.v.+20+(Vdut-4)-8 В'1] ±[0,0017p.v.+5+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,0017p.v.+1,28+(Vdut-4) 0,512 В-1]

±[0,0017p.v.+0,32+(Vdut-4) 0,128 В-1]

±[0,0017p.v.+0,08+(Vdut-4)-0,032 В-1] ±[0,0017p.v.+0,002+(Vdut-4) 0,008 В'1] ±[0,0017p.v+0,006+(ydut-4)-0,002 В-1]

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция), В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция)*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

±(0,0001-Up.v.+0,016) ±(0,0001 • Up.v.+0,008) ±(0,0001-Up.v+0,005)

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В_

Наименование характеристики

Значение

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция), В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция)*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,0001 Up.v.+0,015) ±(0,0001 • Up.v.+0,012) ±(0,0001 Up.v.+0,010)

Секция цифровых каналов и мультиплексированного аналогового канала (8 цифровых каналов и 1 мультиплексированный аналоговый канал) с

тактовой частотой до 50 МГц (3 секции)

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до 3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1*, В:

-    для диапазона от -1,5 до +10 В

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,001 Up.v+0,020) ±(0,001 Up.v.+0,012) ±(0,001 Up.v+0,008)

Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА

от -32 до +32 от -8 до +8 от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1*, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,0017p.v.+160+(Vdut-4)-32 В'1] ±[0,0017p.v.+40+(Vdut-4)-8 В'1] ±[0,0017p.v+10+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,001 •/p.v.+2,56+(Vdut-4)0,512 В'1] ±[0,0017p.v.+0,64+(Vdut-4)-0,128 В'1] ±[0,0017p.v.+0,16+(Vdut-4)-0,032 В'1] ±[0,0017p.v.+0,04+(Vdut-4)-0,008 В'1] ±[0,0017p.v.+0,01+(Vdut-4)-0,002 В-1]

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока мультиплексированного аналогового канала, В

от -1,5 до +10 от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока мультиплексированного аналогового канала*, В:

- для диапазона от -1,5 до +10 В

±(0,0001 -^.+0,012)

- для диапазона от -1 до +6,5 В

±(0,0001 -^.+0,006)

- для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,0001 -^.+0,004)

Диапазоны измерений силы постоянного тока мультиплексированного аналогового

от -32 до +32

канала, мА

от -8 до +8

от -2 до +2 от -0,512 до +0,512 от -0,128 до +0,128 от -0,032 до +0,032 от -0,008 до +0,008 от -0,002 до +0,002

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока мультиплексированного аналогового канала *, мкА:

-    для диапазона от -32 до +32 мА

-    для диапазона от -8 до +8 мА

-    для диапазона от -2 до +2 мА

-    для диапазона от -0,512 до +0,512 мА

-    для диапазона от -0,128 до +0,128 мА

-    для диапазона от -0,032 до +0,032 мА

-    для диапазона от -0,008 до +0,008 мА

-    для диапазона от -0,002 до +0,002 мА

±[0,0017p.v+80+(Vdut-4)-32 В'1] ±[0,0017p.v+20+(Vdut-4)-8 В'1] ±[0,0017p.v+5+(Vdut-4)-2 В-1] ±[0,0017p.v.+1,28+(Vdut-4)0,512 В'1] ±[0,0017p.v.+0,32+(Vdut-4)-0,128 В'1] ±[0,001 • /p.v.+0,08+(Vdut-4)-0,032 В-1] ±[0,001 • /p.v.+0,002+(Vdut-4) 0,008 В ] ±[0,001 • /p.v.+0,006+(Vdut-4) 0,002 В-1]

Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция), В

от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция)*, В:

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3 В

±(0,0001 • Up.v.+0,012) ±(0,0001 • Up.v.+0,008)

Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция), В

от -1 до +6,5 от -0,5 до +3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1 (Цифровая секция)*, В:

-    для диапазона от -1 до +6,5 В

-    для диапазона от -0,5 до +3В

±(0,0001 • Up.v.+0,025) ±(0,0001-Up.v.+0,015)

Примечания - * - в формулах расчета пределов допускаемой абсолютной погрешности:

1изм - значения силы постоянного тока, измеренные при помощи тестера, мА (А); иизм - значения напряжения постоянного тока, измеренные при помощи тестера, В;

1в - значения силы постоянного тока, воспроизведенные при помощи тестера, мА (А); ив - значения напряжения постоянного тока, воспроизведенные при помощи тестера, В;

1пред - верхний предел измерений (или воспроизведений) силы постоянного тока, мА (А); ипред - верхний предел измерений (или воспроизведений) напряжения постоянного тока, В;

Ip.v. - запрограммированное (установленное пользователем) значение силы постоянного тока, мА (А);

Up.v. - запрограммированное (установленное пользователем) значение напряжения постоянного тока, В;

Vdut -значение измеренного напряжения на объекте измерения (с учетом влияния всех факторов (падения напряжения, потери)), В.

Таблица 4 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Рабочие условия измерений:

-    температура окружающего воздуха, °С

-    относительная влажность воздуха, %

-    атмосферное давление, мм рт.ст.

от +15 до +25 65±15 от 720 до 780

Габаритные размеры (высотахдлинахширина), мм, не более

600x400x400

Масса, кг, не более

50

Средний срок службы, лет

10

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель тестера методом гравирования и на титульный лист паспорта типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки тестеров представлен в таблице 5.

Таблица 5 - Комплектность тестеров

Наименование

Количество

Тестер полупроводниковых компонентов серии SPEA D0T100 (SPEA D0T400)

1 шт.

Методика поверки ИЦРМ-МП-112-18

1 экз.

Паспорт

1 экз.

Руководство по эксплуатации

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу ИЦРМ-МП-112-18 «Тестеры полупроводниковых компонентов серий SPEA D0T100, SPEA D0T400. Методика поверки», утвержденному

ООО «ИЦРМ» 19.03.2018 г.

Основные средства поверки:

-    калибратор универсальный 9100 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 25985-09);

-    мультиметр цифровой прецизионный Fluke 8508A (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 25984-14);

-    шунт токовый АКИП-7501 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 49121-12);

-    делитель напряжений ДН-200э (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 54883-13).

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки на корпус тестеров и (или) в виде наклейки или оттиска поверительного клейма в паспорт.

Сведения о методах измерений

отсутствуют.

Нормативные документы

ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия

ГОСТ 14014-91 Приборы и преобразователи измерительные цифровые напряжения, тока, сопротивления. Общие технические требования и методы испытаний Техническая документация фирмы-изготовителя

Развернуть полное описание