Назначение
Тестер HP83000-F330t (далее - тестер) предназначен для воспроизведения и измерения напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов при высокопроизводительном функциональном и параметрическом контроле интегральных микросхем (ИМС) и полупроводниковых кристаллов.
Описание
Принцип действия тестера основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля (ФК), формируемую тестером.
Тестер обеспечивает формирование входных воздействий на выводы ИМС (ЭСЛ и КМОП микросхем) и полупроводниковые кристаллы по 192 каналам (с возможностью расширения до 512) с рабочей частотой последовательности ФК до 120 МГц (с возможностью увеличения до 330 МГц) в режимах:
- импульсном с возвратом к нулю или единице с поканально-независимым заданием момента начала и окончания импульса;
- потенциальном с поканально-независимым заданием момента переключения уровней и состояния.
Тестер обеспечивает контроль ожидаемого состояния на выводах ИМС и полупроводниковых кристаллов на каждом канале с поканально-независимым заданием момента контроля. Переключение режима может производиться в каждом такте контроля поканально-независимо.
Тестер представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого входят основная стойка (размещены каналы источников и измерителей электрических сигналов, источники питания постоянного тока (4 шт.)) с манипулятором и тестовой головой, рабочая станция (ПЭВМ), а также система охлаждения (рис. 1). Конструктивно основная стойка выполнена в виде шкафа с присоединенной тестовой головой (размещаются испытываемые ИМС), перемещаемой манипулятором и управляемой с помощью пульта. Подстыковочные разъемы расположены на панелях основной стойки и тестовой головы. Внешний вид тестера приведен на рисунках 2 - 3.
охлсаивд ения
Рисунок 1 - Состав тестера HP83000 F330t
Рисунок 2 - Общий вид тестера HP83000 F330t с местом для нанесения оттисков клейм или размещения наклеек
*
Рисунок 3 - Вид спереди с местами* пломбировки от несанкционированного доступа Программное обеспечение
Метрологически значимая часть программного обеспечения тестера представляет собой программный продукт в виде управляющей программы пользователя с набором микрокоманд «HPSmarTest».
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование программного обеспечения | Управляющая программа пользователя с набором микрокоманд «HPSmarTest» |
| Идентификационное наименование программного обеспечения | HPSmarTest |
| Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | 5.4.5+5p |
| Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | 700225 |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения | CRC32 |
Программное обеспечение «HPSmarTest» предназначено только для работы с тестером и не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной платформы данного тестера.
Влияние метрологически значимой части программного обеспечения на метрологические характеристики тестера не выходит за пределы согласованного допуска.
Метрологически значимая часть программного обеспечения тестера и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно МИ 3286-2010: А.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики тестера приведены в таблицах 1 - 6.
Тестер обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала ФК с параметрами
в соответствии с таблицей 2. Таблица 2
| Параметр | Значение |
| Диапазоны задаваемых напряжений, В: низкий уровень (V1L) высокий уровень (V1H) | от минус 2,0 до 6,5 от минус 1,5 до 7,0 |
| Дискретность установки напряжений, мВ | 10 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжений, мВ: - в диапазоне от минус 1,5 В до 6,5 В - в диапазонах от минус 2,0 В до минус 1,5 В и от 6,5 до 7,0 | ± 20 ± 30 |
| Максимальный выходной ток на один канал, мА | 35 |
| Диапазон измеряемых напряжений, В | от минус 2,0 до 7,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжений, мВ | ± 20 |
| Частота следования импульсов, МГц | от 1 до 120 (с возможностью увеличения до 330) |
| Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты следования импульсов, % | ± 0,1 |
| Длительность фронта импульса, нс, не более | 1,7 (по уровню 10 ... 90 %) |
Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного
тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 3. Таблица 3
| Параметр | Значение |
| Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока измерителем статических параметров, В | ± 10,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжений постоянного тока (Ub) измерителем статических параметров, мВ: - в диапазоне ± 10 В - в диапазоне ± 2 В | ± (0,005/Ub + 20) ± (0,005/Ub + 5) |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжений постоянного тока (Uu) измерителем статических параметров, мВ: - в диапазоне ± 10 В - в диапазоне ± 2 В | ± (0,003-Uu + 15) ± (0,003-Uu + 5) |
| Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока измерителем статических параметров, мА | ± 200 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока (I) измерителем статических параметров, мА: - в диапазоне ± 200 мА - в диапазоне ± 20 мА - в диапазоне ± 2 мА - в диапазоне ± 0,2 мА - в диапазоне ± 0,02 мА - в диапазоне ± 0,002 мА | ± (0,005-1 + 1) ± (0,005-1 + 0,1) ± (0,005-1 + 0,01) ± (0,005-1 + 0,002) ± (0,005-1 + 0,0002) ± (0,005-1 + 0,00003) |
Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного
тока источниками питания в соответствии с таблицей 4.
Таблица 4
| Параметр | Значение |
| Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока источниками питания, В | ± 12 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока (Ub) источниками питания, мВ | ± (0,001 •Ub+5) |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока (Uu) источниками питания, мВ | ± (0,001 •ии+З) |
| Диапазон воспроизведения силы постоянного тока источниками питания, мА | от 20 до 8000 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока (Ib) источниками питания, мА | ± (0,005-Ib+10) |
| Диапазон измерений силы постоянного тока источником питания, мА | ± 8000 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока (Iu) источниками питания, мА: - в диапазоне ± 8000 мА - в диапазоне ± 800 мА - в диапазоне ± 80 мА - в диапазоне ± 1 мА | ± (0,0015-Iu+1O) ± (0,0015-Iu+2) ± (0,0015-Iu+O,1) ± (0,005^1и+0,005) |
Таблица 5 - Габаритные размеры и масса составных частей тестера
| Составные части | Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм | Масса, кг |
| Основная стойка | 1600x1000x800 | 570 |
| Тестовая голова | 450x710x710 | 290 |
| Манипулятор | 1600x420x800 | 510 |
| Система охлаждения | 1140x650x1050 | 380 |
| Рабочая станция (ПЭВМ) | 138x539x447 | 17,7 |
Таблица 6 - Характеристики напряжения питания тестера
| Составные части | Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц | Потребляемая мощность, кВ •А, не более |
| Основная стойка | 380 ± 20 В, 3 фазы + нейтраль + защитная земля | 27 |
| Тестовая голова |
| Манипулятор |
| Система охлаждения | 380 ± 20 В, 3 фазы + защитная земля | 6 |
| Рабочая станция (ПЭВМ) | 220± 10 В | 2 |
Таблица 7 - Условия эксплуатации тестера
| Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С | от 15 до 30 |
| Относительная влажность воздуха при температуре 30 °С, % | от 50 до 80 |
| Атмосферное давление, кПа | от 97 до 105 |
| Средний срок службы, лет | 10 |
| Наработка на отказ, ч | 4000 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель тестера в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Комплект поставки включает:
- Тестер HP83000 F330t в составе: основная стойка, рабочая станция (ПЭВМ), система охлаждения - 1 комплект;
- Комплект эксплуатационной документации («Тестер HP83000-F330t. Паспорт. ГАВЛ.441148.001 ПС»; «Тестер HР83000-F330t. Руководство по эксплуатации.
ГАВЛ.441148.001 РЭ») - 1 комплект;
- Методика поверки - 1 шт.
Поверка
Осуществляется по документу «Инструкция. Тестер HР83000-F330t. Методика поверки. ГАВЛ.441148.001 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 15.06.2011 г.
Основные средства поверки:
- вольтметр универсальный В7-46 (регистрационный номер 11204-88), диапазон измерений напряжения постоянного тока от 100 нВ до 1000 В с пределами допускаемой погрешности измерений ± (0,01- 0,03) %, диапазон измерений силы постоянного тока от 100 нА до 10 А с пределами допускаемой погрешности измерений ± (0,1 - 0,15) %;
- частотомер электронно-счетный ЧЗ-63 (регистрационный номер 9084-90), диапазон измеряемых частот импульсных сигналов от 1 Гц до 200 МГц с пределами допускаемой погрешности измерений частоты ± 540-7 ± 1 ед.сч.;
- осциллограф цифровой TDS-2014B (регистрационный номер 24018-06), диапазон измерений (0 - 100) МГц с пределами допускаемой относительной погрешности измерений 1 %.
Сведения о методах измерений
«Тестер HP83000-F330t. Руководство по эксплуатации. ГАВЛ.441148.001 РЭ».
Нормативные документы
- «Тестер HP83000-F330t. Руководство по эксплуатации. ГАВЛ.441148.001 РЭ»;
- «Тестер НР83000-Р3301. Паспорт. ГАВЛ.441148.001 ПС».
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
