Назначение
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые G861XX (далее - течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием или смесью газов, содержащих гелий.
Описание
Принцип действия течеискателей основан на измерении электрического сигнала от ионизированных молекул пробного газа (по умолчанию - гелия) в ионном коллекторе течеискателя.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе, высоковакуумный насос. Подключение испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт), расположенного на верхней панели корпуса течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе в качестве пробного газа гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала.
Течеискатель состоит из турбомолекулярного насоса, вспомогательного насоса, трубки спектрометра, клапанного блока, электроники течеискателя и интерфейса оператора (TFT-дисплей сенсорной панели) и дополнительного оборудования (беспроводной пульт дистанционного управления и дополнительная печатная плата ввода/вывода).
Течеискатели выпускают в следующих модификациях: G8610A, G8610B, G8611A, G8611B, G8611C, G8611D, G8612A, G8612B, G8612C, G8612D, отличающихся вариантом исполнения, типом и моделью насоса, массой, габаритными размерами и характеристиками питания. Модификации G8611A, G8611B, G8611C, G8611D выполнены на тележке с встроенным туда насосом. Модификации G8612A, G8612B, G8612C, G8612D выполнены в настольном исполнении и оснащены внешним вспомогательным насосом. В зависимости от характеристик питания на течеискателях указывается код исполнения (приведены в таблицах 3 - 6).
Пломбирование течеискателей не предусмотрено. Общий вид течеискателей масс-спектрометрических гелиевых серии G861XX представлен на рисунках 1-3.
Рисунок 3 - Общий вид течеискателей масс-спектрометрических гелиевых G861XX модификаций G8611A, G8611B, G8611C, G8611D
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием, либо смесью газов, содержащих гелий. ПО выполняет функции приема, обработки и передачи и вывода информации.
ПО течеискателей выполняет следующие функции:
- управление работой вакуумной системой течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов);
- управление работой масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);
- прием, обработка и отображение измерительной информации от масс-спектрометрического анализатора;
- формирование выходных сигналов, передача их на ЖК-дисплей течеискателя и ПК;
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Информация о версии ПО доступна в меню «Главная - Информация о системе».
Влияние ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) | Значение |
Идентификационное наименование ПО | LeakDetector |
Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже LD01.03 120717 |
Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики | Значение |
М | одификация |
G8610A | G8610B | 1A ю 8 G | G8611B | G8611C | 1D ю 8 G | G8612A | G8612B | C 2 ю 8 G | G8612D |
Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя, Пам3/с | от 1-10-11 до 1-10-4 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % (где 0нпи -нижний предел измерений -значение измеренного потока, Па м /с) - в режиме «Точный тест» - в режиме «Тест» | ±(0,30 + Qнпи/Qизм)•100 ±50 |
Наименование характеристики | Значение |
Модификация |
G8610A | G8610B |
Код исполнения | G8610- 64000 | G8610- 64001 | G8610- 64002 | G8610- 64003 | G8610- 64004 |
Исполнение | Портативный |
Тип форвакуумного насоса | Внутренний масляный пластинчато-роторный | Внутренний спиральный безмасляный |
Модель форвакуумного насоса | DS40M | IDP-3 |
Скорость форвакуумной откачки, л/мин: - при 50 Гц - при 60 Гц | 30 36 | 50 60 |
Модель высоковакуумного насоса | Contra |
Скорость высоковакуумной откачки, л/сек: - при 50 Гц - при 60 Гц | 0,42 0,5 | 1,0 1,1 |
Модель турбомолекулярного насоса | Navigator |
Время установления сигнала, мин, не более | 7,0 |
Масса, кг, не более | 36 |
Габаритные размеры течеискателя, мм, не более: - длина - ширина - высота | 625 403 517 |
Питание: - напряжение переменного тока, В - частота, Гц - сила тока, А - потребляемая мощность, Вт, не более | от 103,5 до 126,5 50/60 2,0/2,3 300 | от 207 до 253 50/60 1,0/1,3 350 | от 90 до 110 50/60 2,2/2,4 300 | от 103,5 до 126,5 50/60 2,4/2,2 320 | от 207 до 253 50/60 1,2/1,2 320 |
Наименование характеристики | Значение |
Модификация |
G8610A | G8610B |
Код исполнения | G8610- G8610-64000 64001 | G8610- G8610- G8610-64002 64003 64004 |
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность, %, не более - атмосферное давление, кПа | от +15 до +30 80 от 75 до 106,7 |
Средний срок службы, лет | 10 |
Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
Таблица 4 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики | Значение |
Модификация |
G8611A | G8611B |
Код исполнения | G8611-64000 G8611-64001 | G8611-64002 G8611-64003 |
Исполнение | Передвижной |
Тип форвакуумного насоса | Внешний масляный пластинчато-роторный | Внешний безмасляный спиральный |
Модель форвакуумного насоса | DS302 | TS620 |
Скорость форвакуумной откачки, л/мин: - при 50 Гц - при 60 Гц | 237 285 | 420 500 |
Модель высоковакуумного насоса | Contra |
Скорость высоковакуумной откачки, л/сек: - при 50 Гц - при 60 Гц | 2,5 3,0 | 5.0 6.0 |
Модель турбомолекулярного насоса | Navigator |
Время установления сигнала, мин, не более | 7,0 |
Масса течеискателя (с тележкой), кг, не более | 79 88 |
Наименование характеристики | Значение |
Модификация |
G8611A | G8611B |
Код исполнения | G8611-64000 | G8611-64001 | G8611-64002 | G8611-64003 |
Габаритные размеры течеискателя (с тележкой), мм, не более: - длина - ширина - высота | | 764 508 [153 |
Масса внешнего насоса, кг, не более | 25 | 32 |
Габаритные размеры внешнего насоса, мм, не более: - длина - ширина - высота | 467 132 212 | 472 300 355 |
Питание: - напряжение переменного тока, В - частота, Гц - сила тока, А - потребляемая мощность насоса, Вт, не более | от 103,5 до 126,5 50/60 9,0/5,4 1150 | от 207 до 253 50/60 4,4/2,5 1150 | от 103,5 до 126,5 50/60 7,7/6,8 1000 | от 207 до 253 50/60 3,8/3,4 1000 |
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность, %, не более - атмосферное давление, кПа | от +15 до +30 80 от 75 до 106,7 |
Средний срок службы, лет | 10 |
Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
Таблица 5 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики | Значение |
Модификация |
G8611C | G8611D | G8612A |
Код исполнения | G8611- 64004 | G8611- 64005 | G8611-64006 | G8612- 64000 | G8612- 64001 |
Исполнение | Передвижной | Настольный |
Наименование характеристики | Значение |
G8611C | G8611D | G8612A |
Код исполнения | G8611- G8611-64004 64005 | G8611-64006 | G8612- G8612-64000 64001 |
Тип форвакуумного насоса | Внешний безмасляный спиральный | Внешний масляный пластинчато-роторный |
Модель форвакуумного насоса | IDP-15 | DS602 | DS302 |
Скорость форвакуумной откачки, л/мин: - при 50 Гц - при 60 Гц | 210 250 | 420 500 | 237 285 |
Модель высоковакуумного насоса | Contra |
Скорость высоковакуумной откачки, л/сек: - при 50 Гц - при 60 Гц | 3,5 4,3 | 6,9 8,3 | 2,5 3,0 |
Модель турбомолекулярного насоса | Navigator |
Время установления сигнала, мин, не более | 7,0 |
Масса течеискателя (с тележкой), кг, не более | 89 | - |
Габаритные размеры течеискателя (с тележкой), мм, не более: - длина - ширина - высота | 764 508 1153 | - |
Масса течеискателя, кг, не более | - | - | 36 |
Габаритные размеры течеискателя, мм, не более: - длина - ширина - высота | - | - | 625 403 517 |
Масса внешнего насоса, кг, не более | 34 | 35 | 25 |
Наименование характеристики | Значение |
Модификация |
G8611C | G8611D | G8612A |
Код исполнения | G8611- 64004 | G8611- 64005 | G8611-64006 | G8612- 64000 | G8612- 64001 |
Габаритные размеры внешнего насоса, мм, не более: - длина - ширина - высота | 485 333 364 | 541 164 242 | 4( 1 21 | 7 2 2 АГЧ _1 |
Питание: - напряжение переменного тока, В - частота, Гц - сила тока, А - потребляемая мощность насоса, Вт, не более | от 103,5 до 126,5 50/60 6,0/4,2 800 | от 207 до 253 50/60 2,8/3,0 800 | от 207 до 253 50/60 4,4/2,8 1150 | от 103,5 до 126,5 50/60 9,0/5,4 1150 | от 207 до 253 50/60 4,4/2,5 1150 |
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность, %, не более - атмосферное давление, кПа | от +15 до +30 80 от 75 до 106,7 |
Средний срок службы, лет | 10 |
Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
Таблица 6 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики | Значение |
Модификация |
G8612B | G8612C | G8612D |
Код исполнения | G8612- G8612-64002 64003 | G8612- G8612-64004 64005 | G8612-64006 |
Исполнение | Настольный |
Тип форвакуумного насоса | Внешний безмасляный спиральный | Внешний безмасляный спиральный | Внешний масляный пластинчато роторный |
Модель форвакуумного насоса | TS620 | IDP-15 | DS602 |
Наименование характеристики | Значение |
Модификация |
G8612B | G8612C | G8612D |
Код исполнения | G8612- 64002 | G8612- 64003 | G8612- 64004 | G8612- 64005 | G8612-64006 |
Скорость форвакуумной откачки, л/мин: - при 50 Гц - при 60 Гц | 420 500 | 210 250 | 420 500 |
Модель высоковакуумного насоса | Contra |
Скорость высоковакуумной откачки, л/сек: - при 50 Гц - при 60 Гц | 5.0 6.0 | 3,5 4,3 | 6,9 8,3 |
Модель турбомолекулярного насоса | Navigator |
Время установления сигнала, мин, не более | 7,0 |
Масса течеискателя, кг, не более | 36 |
Габаритные размеры течеискателя, мм, не более: - длина - ширина - высота | 625 403 517 |
Масса внешнего насоса, кг, не более | 32 | 34 | 35 |
Габаритные размеры внешнего насоса, мм, не более: - длина - ширина - высота | 472 300 355 | 485 333 364 | 541 164 242 |
Питание: - напряжение переменного тока, В - частота, Гц - сила тока, А - потребляемая мощность насоса, Вт, не более | от 103,5 до 126,5 50/60 7,7/6,8 1000 | от 207 до 253 50/60 3,8/3,4 1000 | от 103,5 до 126,5 50/60 6,0/4,2 800 | от 207 до 253 2,8 3,0 800 | от 207 до 253 4,4 2,8 1150 |
Наименование характеристики | Значение |
Модификация |
G8612B | G8612C | G8612D |
Код исполнения | G8612- G8612-64002 64003 | G8612- G8612-64004 64005 | G8612-64006 |
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность, %, не более - атмосферное давление, кПа | от +15 до +30 80 от 75 до 106,7 |
Средний срок службы, лет | 10 |
Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
Знак утверждения типа
наносится способом наклейки или иным способом на корпус течеискателя, типографским способом на титульные листы руководства по эксплуатации и паспорта.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
Наименование | Обозначение | Количество |
Течеискатель | - | 1 шт. |
Тележка (только для модификаций передвижного исполнения) | - | 1 шт. |
Печатная плата ввода/вывода 1) | | |
Руководство по эксплуатации | Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые G861XX. Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
Методика поверки | МП 231-0066-2019 | 1 экз. |
1) Данная позиция может быть включена в комплектацию по требованию Заказчика. |
Поверка
осуществляется по документу МП 231-0066-2019 «ГСИ. Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые G861XX. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»
30.05.2019 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне от 10-12 до 1 Па-м3/с ГВЭТ 49-2-2006, (2.122В.0032.2014), СКО: в диапазоне от 10-12
9 3 9 3
до 10 Па м /с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10 до 1 Па м /с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методиках (методах) измерений отсутствуют. Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям масс-спектрометрическим гелиевым G861XX
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности
Техническая документация фирмы «Agilent Technologies LDA Sdn», Малайзия