Назначение
Системы рентгеновского энерго дисперсионного микроанализа QUANT АХ предназначены для химического анализа состава твердых образцов, тонких слоев или частиц на электронных микроскопах и микрозондах.
Применяются в научных исследованиях, в системе высшего образования и промышленности для решения прикладных задач в области рентгеновской спектрометрии.
Описание
Используя рентгеновскую систему энергодисперсионного (ЭДС) микроанализа QUANTAX, можно определять одновременно все элементы от бериллия (4) до америция (95) и получать информацию об элементном составе с пространственным разрешением в 1 микрон.
Системы микроанализа QUANTAX могут устанавливаться на растровые электронные микроскопы, просвечивающие электронные микроскопы, электроннозондовые микроанализаторы, приборы с двумя пучками, а также использоваться для других прикладных задач в области рентгеновской спектрометрии.
Принцип работы спектрометра основан на энергодисперсионной регистрации флуоресцентного излучения, испускаемого атомами, входящими в состав анализируемой пробы, при облучении последней сфокусированным пучком электронов. Энергии рентгеновского излучения измеряются с помощью полупроводникового детектора и обрабатываются электроникой.
ЭДС система QUANTAX включает в себя следующие компоненты:
- Безазотный SDD кремниевый дрейфовый детектор XFlash со стабильным разрешением в 133 эВ (или 129, 127, 125 эВ) при скорости счета в 100 000 имп/с, размер чипа - 10, 30
или 40 мм2
- Блок электроники - гибридный (аналого-цифровой) процессор импульсов
- Плату для управления электронным пучком и передачи данных с электронного микроскопа на компьютер
- Компьютер
- Программное обеспечение ESPRIT
Этапы общего анализа спектра:
- Накопление спектра
- Коррекция эффектов детектора (Escape, Shelf, Tail, Shift)
- Идентификация элементов и выбор серий спектральных линий для каждого элемента
- Расчет фонового тормозного излучения (т.е. тормозного излучения)
- Деконволюция налагающихся пиков и расчет чистых интенсивностей
- Расчет концентраций с применением эталонов и с помощью безэталонного метода
- Форматирование и представление результатов
Технические характеристики
| Диапазон определяемых элементов | от Be (4) до Ат (95) |
| Энергетическое разрешение (приведенное к K-alpha линии Мп (5,9 КэВ), эВ, при скорости счета 1000 имп/с, эВ. не более | 125 127 129 133 |
| Предел допускаемого относительного СКО выходного сигнала, % | 0,5 |
| Максимальная скорость счета, имп/с | 100 000 |
| Напряжение питания переменного тока частотой (50±1) Гц, В | 220 (+10/-15) % |
| Время подготовки к работе, ч | 1 |
| Потребляемая мощность, ВА | 60 |
| Средний срок службы, лет | 10 |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм | |
| Детектора | 500x90x90 |
| Электронного блока | 165x270x495 |
| Масса, кг | |
| Детектора | 2,5 |
| Электронного блока | 7,0 |
| Условия эксплуатации: | |
| О/~ч - диапазон температуры окружающего воздуха, С | 5-35 |
| - диапазон относительной влажности окружающего воздуха, %, при t=25 °C | 20-80 |
| - диапазон атмосферного давления. кПа | 84-106,7 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель прибора и на титульный лист руководства по эксплуатации методом штемпелевания или типографским способом.
Комплектность
Система QUANT АХ, включающая в себя:
- SDD детектор с коллиматором;
- электронный блок;
- соединительные кабели
Пакет программного обеспечения
Компьютер
- системный блок
- монитор
по отдельному заказу по отдельному заказу по отдельному заказу по отдельному заказу по отдельному заказу
по отдельному заказу
по отдельному заказу
Компьютерный стол
Комплект стандартных образцов
Стальной вакуумный шланг
Заслонка детектора
Магнитная ловушка
Устройство для позиционирования детектора по углу
Устройство для позиционирования детектора по расстоянию
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Поверка
Поверка осуществляется в соответствии с документом «Системы энергодисперсионной спектроскопии для микроанализа QUANTAX фирмы "Bruker AXS Microanalysis GmbH", Германия. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ОАО ФНТЦ «Инверсия» в июне 2008 г.
Основные средства поверки - ГСО из ряда: СО состава меди 3200-85...3205-85, 3514-86...3519-86, 4561-89...4565-89, 7284-96, 7833-2000, 7966-2001, 8957-2008, 8096-2002; СО состава бронз 8169-2002, 6569-93...6573-93, СО состава латуни 8347-2003; СО состава медно-никелевого сплава 8051-94, марганец металлический по ГОСТ 6008-90 и другие стандартные образцы, зарегистрированные в Реестре стандартных образцов Российской Федерации и допущенные к применению в соответствии с ГОСТ 8.315.
Примечание - Поверку проводят только по одному виду материала ГСО состава. Допускается проводить периодическую поверку в соответствии с разделами «контроль точности» аттестованных или стандартизованных МВИ, используемых при применении прибора.
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
1. ГОСТ Р 52931 «Приборы контроля и регулирования технологических процессов».
2. Техническая документы фирмы-изготовителя.
Заключение
Тип систем рентгеновского энергодисперсионного микроанализа QUANTAX утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации.
