Системы измерения параметров пластин ИУС-7Р

Основные
Тип ИУС-7Р
Срок свидетельства (Или заводской номер) 11.01.2029

Назначение

Системы измерения параметров пластин ИУС-7Р (далее - системы ИУС-7Р) предназначены для измерений удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.

Описание

Принцип действия систем ИУС-7Р основан на измерении разности потенциалов, возникающей между двумя зондами четырёхзондовой измерительной головки, установленной на поверхности образца полупроводникового (диэлектрического) материала, при пропускании электрического тока определённой величины и переменной полярности через два других точечных зонда, расположенных на той же поверхности. Для расчетов УПЭС образца используют усредненное значение сопротивления образца при прямом и обратном токе.

Конструктивно системы ИУС-7Р состоят из следующих блоков:

- измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К;

- микроомметра Е6-42 (зарегистрирован в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений под № 88789-23).

Удельное поверхностное электрическое сопротивление вычисляется автоматически с помощью программного обеспечения (далее - ПО), исходя из измеренных значений электрического сопротивления и межзондового расстояния четырехзондовой головки с учетом размеров измеряемого образца. Персональный компьютер с установленным ПО подключается к микроомметру Е6-42 USB-кабелем. ПО систем ИУС-7Р на основе измеренных параметров позволяет рассчитать также удельное электрическое сопротивление пластины и сопротивление растекания.

Четырёхзондовая измерительная головка имеет номинальные значения межзондовых расстояний 1,59 мм. В комплект поставки входят два типа четырехзондовых измерительных головок: ТС с зондами, изготовленными из карбида вольфрама с остриями конусообразной формы (предназначены для измерений УПЭС пластин полупроводниковых материалов) и BeCu с зондами, изготовленными из бериллиевой бронзы с остриями шарообразной формы (предназначены для измерений УПЭС пластин диэлектрических материалов).

Конструкция систем ИУС-7Р обеспечивает ограничение доступа к частям, несущим первичную измерительную информацию, и местам настройки (регулировки).

Маркировочные таблички блоков системы ИУС-7Р с заводским номером, выполненным типографским методом в виде цифрового кода, наклеены на задние панели измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К и микроомметра Е6-42.

Заводской номер системы ИУС-7Р присваивается по заводскому номеру измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К. Информация о заводских номерах системы ИУС-7Р и входящих в ее состав блоков приведена в формуляре.

Пломбирование систем ИУС-7Р не предусмотрено.

Нанесение знака поверки на системы ИУС-7Р не предусмотрено.

Общий вид систем ИУС-7Р представлен на рисунке 1.

Места нанесения заводского номера и знака утверждения типа

Рисунок 1 - Общий вид систем ИУС-7Р

Программное обеспечение

Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) систем ИУС-7Р приведены в таблице 1.

Уровень защиты ПО систем  ИУС-7Р   «средний» в соответствии с

Р 50.2.077-2014.

Влияние метрологически значимой части ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Кристалл

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже КР-0823-01

Цифровой идентификатор ПО

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики систем ИУС-7Р

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) на квадрат поверхности, Ом

от 4'10-3 до 9'108

Пределы допускаемой неисключенной составляющей относительной погрешности измерений УПЭС, %

±1,0*

Пределы допускаемого отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номинальных значений (1,59 мм), мм:

- для головки ТС

- для головки ВеСи

±0,01

±0,05

* - Пределы допускаемой неисключенной составляющей относительной погрешности измерений УПЭС установлены без учета влияния материала полупроводниковой (диэлектрической) пластины. Погрешность измерений УПЭС пластин конкретных полупроводниковых (диэлектрических) материалов устанавливается в методиках измерений, аттестованных в установленном порядке.

Таблица 3 - Технические характеристики систем ИУС-7Р

Наименование характеристики

Значение

Габаритные размеры (ВхШхД), мм, не более:

- измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К

- микроомметр Е6-42

285x470x230

134x281x320

Масса, кг, не более:

- измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К

- микроомметр Е6-42

18

4

Параметры электрического питания: - напряжение сетевого питания, В - частота питающей сети, Гц

230±23 50±0,5

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха °С

- относительная влажность воздуха, %, не более

20±5 80

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации и на маркировочные таблички измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К и микроомметра Е6-42 типографским методом или в виде наклейки.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Система измерения параметров пластин

ИУС-7Р в составе:

ЛДПА.411-04.00.000

1 шт.

Измеритель поверхностного сопротивления

Семизонд 4К

ЛДПА.411-09.00.000

1 шт.

Наименование

Обозначение

Количество

Микроомметр Е6-42

ЛДПА.411 -08.00.000

1 шт.

Четырехзондовые измерительные головки

ВеСи_05_07_62.5

ТС_01_10_62.5

2 шт.

Программное обеспечение (на флеш-карте)

Кристалл

1 шт.

Кабель

BNC-BNC

4 шт.

Кабель

DSUB

1 шт.

Руководство по эксплуатации системы измерения параметров пластин ИУС-7Р

ЛДПА.411-04.00.000РЭ

1 экз.

Руководство по эксплуатации микроомметра Е6-42

ЛДПА.411-08.00.000РЭ

1 экз.

Переходное устройство

ЛДПА.411-09.00.999

1 шт.

Формуляр

ЛДПА.411 -04.00.000ФО

1 экз.

Сведения о методах измерений

приведены в Руководстве по эксплуатации ЛДПА.411-04.00.000РЭ, раздел 10 «Порядок работы».

Нормативные документы

ЛДПА.411-04.00.000ТУ  «Система измерения параметров пластин  ИУС-7Р.

Технические условия»;

Приказ Росстандарта от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»;

Приказ Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1Л0-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».

Развернуть полное описание