Назначение
Система оптической метрологии FRT Microprof 200 TTV (далее по тексту - система) предназначена для измерений толщины пластин из полупроводниковых материалов (кремния, арсенида галлия, фосфида индия), а также контроля разнотолщинности, прогиба, коробления и шероховатости поверхности.
Описание
Принцип работы системы основан на методе хроматической аберрации.
Измеряемая пластина освещается сфокусированным лучом белого света. Пассивная линза с большой хроматической аберрацией рассеивает луч белого свет вертикально в различные цветовые фокусные точки и, соответственно, высоты. Сфокусированный луч света отражается от поверхности измеряемого объекта и попадает в миниатюрный спектрометр через ту же линзу и стекловолоконный кабель. Длина волны отраженного луча света зависит от расстояния между датчиком и измеряемым объектом.
Конструктивно система состоит модуля двустороннего контроля, состоящего их двух оптических датчиков, прецизионного стола с встроенными калибровочными образцами, гранитного демпфирующего основания и управляющего компьютера с монитором.
Внешний вид системы представлен на рисунке 1.
Пломбирование системы не предусмотрено.
Серийный номер MPR1405 системы в виде буквенно-цифрового обозначения, состоящего из букв латинского алфавита и арабских цифр, наносится методом лазерной печати на маркировочную табличку, расположенную на боковой части корпуса системы. Место нанесения серийного номера системы представлено на рисунках 1 и 2. Нанесение знака поверки на систему не предусмотрено.
Рисунок 1 - Общий вид системы оптической метрологии FRT Microprof 200 TTV с указанием места нанесения серийного номера
Рисунок 2 - Общий вид маркировочной таблички с указанием места нанесения серийного номера
Программное обеспечение
Система имеет в своем составе прикладное программное обеспечение (далее по тексту - ПО), выполняющее функции сбора, обработки, передачи и хранения измерительной информации, а также функции визуализации, управления и настройки системы.
ПО Acquire Automation XT разделено на метрологически значимую и незначимую части. За метрологически значимую часть принимают мажорную версию ПО.
Защита метрологически значимой части ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные метрологически значимого ПО приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Acquire Automation XT |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже 4.8.4 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений толщины, мкм | от 575 до 2360 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, мкм | ±(0,5+0,005-L) |
| Примечание - L - измеренное значение толщины, мкм |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон показаний разнотолщинности, прогиба, коробления и параметра шероховатости Ra, мкм | от 0,006 до 600 |
| Продольное разрешение, мкм | 2 |
| Вертикальное разрешение, мкм | 6 |
| Габаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота | 1100 820 1800 |
| Масса, кг, не более | 500 |
| Условия эксплуатации: - рабочий диапазон температур окружающей среды, °С - относительная влажность, %, не более | от +15 до +25 80 |
| Параметры электрического питания: - напряжение питания, В - частота, Гц | 220±22 50±1 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Система оптической метрологии | FRT Microprof 200 TTV | 1 шт. |
| ПО на электронном носителе | - | 1 компл. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в главе 7 «Принципы измерений» руководства по эксплуатации «Руководство по эксплуатации MicroProf».
Нормативные документы
Локальная поверочная схема.
