Назначение
Система микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX (далее - система) предназначена для измерений линейных размеров в плоскости XY нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.
Описание
Принцип работы системы основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца.
Система состоит из электронной колонны, ионной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов и стола оператора с персональным компьютером. В состав электронной колонны входит источник электронов, отклоняющая система, включающая электромагнитные, электростатические или комбинированные линзы и обеспечивающая фокусировку и перемещение пучка по поверхности образца, а также набор апертур. В состав ионной колонны входит источник ионов, отклоняющая система, обеспечивающая фокусировку и перемещение пучка по поверхности образца, а также набор апертур. Вакуумная система состоит из форвакуумных, турбомолекулярных и ионно-гетерных насосов, а также системы клапанов. Предназначена для формирования и поддержания режимов высокого и низкого вакуума, а также режима естественной среды. Различные детекторы, установленные на системе, обеспечивают формирование изображения в различных типах контрастов (топографический, композиционный, смешанный, в низко-энергетичных электронах), а также предоставляют информацию об элементном, фазовом и кристаллографическом составе поверхности образцов. Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а также получение информации от детекторов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах.
Управление и настройка системы осуществляются с помощью мышки и клавиатуры компьютера, подключаемого к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор или сохранены в компьютере.
Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей.
Заводской (серийный) номер системы имеет цифровое обозначение и нанесен на корпус системы в виде шильды с нанесенным вручную заводским номером (зав. № 9925578). Пломбирование системы от несанкционированного доступа не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке. Общий вид системы приведен на рисунке 1.
Программное обеспечение
Система имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение «xTm Microscope Control» является специализированным ПО системы и предназначено для её управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от системы.
Конструкция системы исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО системы и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является встроенный менеджер лицензий (специальная программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), привязывающая ПО и его модули к аппаратному идентификатору управляющего компьютера и серийному номеру системы, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО. Оператор системы не имеет прав доступа (на уровне операционной системы) для самостоятельной модификации системных файлов, установленного на управляющий компьютер ПО, а также для установки стороннего ПО.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
| Таблица 1 - Идентификационные данные ПО |
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | xTm Microscope Control |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | 12.1.1 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики системы
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | от 0,01 до 500 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений в плоскости XY, мкм: - от 0,01 мкм до 100 мкм включ. - св. 100 мкм до 500 мкм | ±(0,002+3 •L/lOO), где L - измеряемый размер в мкм ±(0,002+5-L/100), где L - измеряемый размер в мкм |
Таблица 3 - Технические характеристики системы
| Наименование характеристики | Значение |
| Максимальное разрешение, нм | 0,8 |
| Давление в камере, Па, не более | 5-10-4 |
| Увеличение, крат | от 150 до 1 500 000 |
| Относительная влажность, %, не более, без конденсата | 80 |
| Габаритные размеры, не более, мм: -длина -ширина -высота | 1300 900 2000 |
| Питающее напряжение, В | от 207 до 253 |
| Частота, Гц | 50 |
| Потребляемая мощность, В-А, не более | 2300 |
| Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % | от +18 до +22 до 90 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Система микроскопической инспекции | FEI Helios G4 CX | 1 шт. |
| Компьютер с ПО | | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе «Порядок работы» руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы - производителя
Правообладатель
FEI Company, США
Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon, 97124, USA Тел./факс: +1 (503) 726-7500 Web-сайт: https://www.fei.com/
E-mail: info@fei.com
86262-22: Методика поверкиСкачать864.0 Кб
