Система измерений геометрических параметров оптоэлектронная ОЭСИ

Основные
Тип ОЭСИ
Год регистрации 2010
Дата протокола 03д2 от 29.07.10 п.407
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 41009
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск тех.документация ОАО
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Система измерений геометрических параметров оптоэлектронная ОЭСИ (далее -ОЭСИ) предназначена для измерений линейных размеров по 3-м координатам и параметров микрогеометрии поверхностей деталей (отклонения от плоскостности поверхности, шероховатости поверхности).

ОЭСИ применяется при производстве элементов микромеханики, робототехники, точного машиностроения и приборостроения в различных областях науки и техники.

Описание

Принцип действия ОЭСИ основан на интерферометрии лазерного излучения с использованием метода цифровой микроскопии, заключающегося в вводе в компьютер пространственного распределения амплитуд и фаз в интерфереционной картине микрообьекта, последующей цифровой обработке и построении изображения с помощью специального алгоритма обработки интерференционного сигнала.

Измерение линейных размеров и параметров микрогеометрии (отклонения от плоскостности поверхности, шероховатости поверхности) исследуемого объекта производится с использованием лазерных интерферометрических измерителей перемещений по координатам X, Y, Z.

Конструктивно ОЭСИ выполнена в виде настольного прибора с комплектом вспомогательных блоков, соединенного с ПЭВМ.

Для автоматизации процесса измерений в состав ОЭСИ входит автоматизированный двухкоординатный измерительный стол, обеспечивающий перемещение объекта по координатам X, Y. Измерительный стол оснащен приводом, обеспечивающий перемещение лазерного интерферометрического измерителя перемещений по координате Z, а также его фокусировку в режимах «грубый/точный/пошаговый» с разрешением 100 нм.

Управление ОЭСИ, обработка и отображение результатов измерений осуществляется с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения МКНД.1.Ю0.ПО.

Технические характеристики

Основные технические характеристики приведены в Таблице.

Таблица.

Наименование характеристики

Значение

Диапазоны измерений линейных размеров, мм: по координатам X, Y по координате Z

от 2 до 200

от 2 до 50

Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров, мкм

± 1

Диапазон измерений параметров шероховатости, мкм

от 5 до 20

Пределы допускаемой погрешности измерений параметров шероховатости, мкм

± 1

Диапазон измерений отклонения от плоскостности поверхности, мкм

от 0 до 500

Пределы допускаемой погрешности измерений отклонения от плоскостности поверхности, мкм

±0,1

Программное обеспечение (по МИ 2891-2004):

- версия

- степень соответствия (идентификация)

- степень защиты

МКНД.1.Ю0.ПО высокая средняя

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 5) Гц, В

+1U%

220    -15%

Потребляемая мощность, Вт, не более

500

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм

-оптико-механического блока

-системы индикации и измерения

440x280x536

450x200x400

Масса, кг

- оптико-механический блок

- система измерений и индикации

100 5

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °C

- относительная влажность воздуха, %

- атмосферное давление, кПа

- амплитуда вибрации на основании измерительного стола в диапазоне

частот от 1 до 104 Гц, мкм

20 ±5

65 ±15

100 ± 4

1

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на оптико-механический блок и титульный лист паспорта ОЭСИ.

Комплектность

В комплект поставки входят: система измерений геометрических параметров оптоэлектронная ОЭСИ, техническая документация изготовителя, методика поверки.

Поверка

Поверка ОЭСИ проводится в соответствии с документом «Система измерений геометрических параметров оптоэлектронная ОЭСИ. Методика поверки», утвержденным руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в августе 2010 г. и входящим в комплект поставки.

Основные средства поверки: мера длины штриховая 2 разряда, набор мер длины концевых плоскопараллельных, образцы шероховатость поверхности (сравнения), пластина плоская стеклянная 2 класса ПИ 100

Межповерочный интервал - 1 год.

Нормативные документы

МИ 2060-90 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от Г10'6 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм.

Техническая документация изготовителя.

Заключение

Тип системы измерений геометрических параметров оптоэлектронной ОЭСИ утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание