Преобразователи вибрации переменной емкости микроэлектромеханические одноосевые 7500, 7521, 7600, 7700

Основные
Тип 7500, 7521, 7600, 7700
Год регистрации 2013
Дата протокола Приказ 18 п. 64 от 17.01.2013
Срок действия сертификата 17.01.2018
Страна-производитель  США 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) C

Назначение

Преобразователи вибрации переменной ёмкости микроэлектромеханические одноосевые серий 7500, 7521, 7600, 7700 предназначены для преобразования механических колебаний различных машин и агрегатов в электрические сигналы с целью измерений характеристик вибрационных процессов (виброускорения, ударных импульсов подшипников, кавитации в насосах, и т.п.)

Описание

Принцип действия преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлектроме-ханических одноосевых основан на использовании МЭМС-технологии (микроэлектромехани-ческие системы) - это устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханиче-ские компоненты. МЭМС-преобразователи изготовлены на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки, аналогично технологии изготовления интегральных микросхем. Преобразователи вибрации переменной ёмкости микроэлектромеханические одноосевые представляет собой функционально законченный модуль, объединяющий в своей конструкции жёсткий корпус с заключённым внутри него чувствительным элементом и электронной схемой. Чувствительный элемент является составной частью конденсатора переменной ёмкости, который под воздействием измеряемого ускорения изменяет своё положение в пространстве, изменяя тем самым ёмкость конденсатора и частоту связанного с ним генератора. Эти изменения демодулируются в выходной сигнал, пропорциональный измеряемому ускорению. Данные преобразователи относятся к преобразователям параметрического типа, т.е. имеют нижнюю граничную частоту, равную нулю. На корпусе преобразователя установлен электрический разъём для передачи по кабелю сигнала на внешний контроллер.

Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлектромехани-ческих одноосевых показан на рисунках 1 - 5.

Рисунок 1 - Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-тромеханических одноосевых серии 7500.

Рисунок 2 - Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-

тромеханических одноосевых серии 7521.

Рисунок 3 - Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-тромеханических одноосевых серии 7600.

Рисунок 4 - Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-тромеханических одноосевых серии 7700.

Технические характеристики

Таблица 1

Наименование характеристики

Модели

7500А1 | 7500А2 | 7500А3 | 7500А4 | 7500А5 | 7500А6

Значения

Диапазон измерений ускорения, м/с2

± 20

± 49

± 98

± 245

± 490

± 981

Диапазон частот, Г ц

от 0 до 400 включ.

от 0 до 600

включ.

от 0 до 1000

включ.

от 0 до 1500

включ.

от 0 до 2000

включ.

от 0 до 2500

включ.

Неравномерность АЧХ, дБ, не более

± 3

Номинальный коэффициент преобразования, мВ/(м/с2)

102

41

20

8

4

2

Отклонение от номинального коэффициента преобразования, %, не более

10

Нелинейность, %, не более

0,5

1

Отклонение коэффициента преобразования в диапазоне температур, % /°C

от - 0,025 до 0,015 включ.

± 0,015

Г абаритные размеры (длина х ширина ^высота), мм

33,3 х 25,4 х 8,38

Масса, г

13

Условия эксплуатации: диапазон рабочих температур, °С

от - 55 до 125 включ.

Таблица 2

Наименование характеристики

М

одели

7500А7

7500А8

7500М10

7500М11

Значения

Диапазон измерений ускорения, м/с2

± 1096

± 3900

± 490

± 4806

Диапазон частот,Гц

от 0 до 2500 включ.

от 0 до 300 включ.

Неравномерность АЧХ, дБ, не более

± 3

Номинальный коэффициент преобразования, мВ/(м/с2)

1

0,5

4,1

0,5

Отклонение от номинального коэффициента преобразования, %, не более

10

Нелинейность, %, не более

1

1

0,5

2

Отклонение коэффициента преобразования в диапазоне температур, %/°C

± 0,015

Габаритные размеры (длина х ширина хвысота), мм

33,3 х 25,4 х 8,38

37,3х25,4 х14,2

Масса, г

13

45

Условия эксплуатации: диапазон рабочих температур, °С

от - 55 до 125 включ.

Таблица 3

Наименование характеристики

Модели

7521А1 | 7521А2 | 7521А3 | 7521А4 | 7521А5 | 7521А6

7521А7

Значения

Диапазон измерений ускорения, м/с2

± 20

± 49

± 147

± 324

±491

± 981

± 2207

Диапазон частот, Г ц

от 0 до 1500

включ.

от 0 до 1500 включ.

от 0 до 1500 включ.

от 0 до 400 включ.

от 0 до 400 включ.

от 0 до 400 включ.

от 0 до 400 включ.

Неравномерность АЧХ, дБ, не более

±3

Номинальный коэффициент преобразования, мВ/(м/с2)

56

29

9,4

5,6

3,7

1,8

0,8

Отклонение от номинального коэффициента преобразования в диапазоне температур, %, не более

20

Нелинейность, %, не более

0,3

Коэффициент поперечного преобразования, %, не более

2

Г абаритные размеры (длина х ширина ^высота), мм

27 х 15 х8

Масса, г

3,7

Условия эксплуатации: диапазон рабочих температур, °С

от - 55 до 125 включ.

Таблица 4

Наименование характеристики

Модели

7600В1

7600В2

7600В3

7600В4

7600В5

7600В6

Значения

Диапазон измерений ускорения, м/с2

± 49

± 98

± 245

± 490

± 490

± 1962

Диапазон частот, Г ц

от 0 до 600

включ.

от 0 до 1000

включ.

от 0 до 1500

включ.

от 0 до 2000 включ.

от 0 до 2500 включ.

от 0 до 3000 включ.

Неравномерность АЧХ, дБ, не более

±3

Номинальный коэффициент преобразования, мВ/(м/с2)

10,2

5

2

1

0,5

0,3

Отклонение от номинального коэффициента преобразования, %, не более

± 5

Нелинейность, %, не более

0,5

1

1,5

Отклонение коэффициента преобразования в диапазоне температур, % /°C

± 0,025

Коэффициент поперечного преобразования, %, не более

3

Г абаритные размеры (длина х ширина хвысота), мм

30,3 х 14,2 х 5,8

Масса, г

3,6

Условия эксплуатации: диапазон рабочих температур, °С

от - 40 до 80 включ.

Таблица 5

Наименование характеристики

Модели

7700А1

7700А2

7700А3

7700А4

7700А5

7700А6

Значения

Диапазон измерений ускорения, м/с2

± 49

± 98

± 245

± 490

± 981

± 1962

Диапазон частот, Г ц

от 0 до 600

включ.

от 0 до 1000 включ.

от 0 до 1500

включ.

от 0 до 2000 включ.

от 0 до 2500 включ.

от 0 до 3000 включ.

Неравномерность АЧХ, дБ, не более

±3

Номинальный коэффициент преобразования, мВ/(м/с2)

10,2

5

2             1

0,5

0,25

Отклонение от номинального коэффициента преобразования, %, не более

± 5

Нелинейность, %, не более

0,5

1

1,5

Отклонение коэффициента преобразования в диапазоне температур, % /°C

± 0,025

Коэффициент поперечного преобразования, %, не более

3

Г абаритные размеры (диаметр х длина), мм

17,8 х14,6

Масса, г

8

Условия эксплуатации: диапазон рабочих температур, °С

от - 40 до 80 включ.

Комплектность

Наименование

Количество

Датчик вибрации

1 шт.

Соединительный кабель

1 шт.

Сертификат калибровки

1 экз.

Методика поверки

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 52430-13 «Преобразователи вибрации переменной ёмкости микроэлектромеханические одноосевые серий 7500, 7521, 7600, 7700. Методика поверки», разработанному и утверждённому ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» 20.11.2012 г.

Основные средства поверки: поверочная виброустановка второго разряда по МИ 207090.

Сведения о методах измерений

Руководство по эксплуатации

Нормативные документы

Техническая документация фирмы «Dytran Instruments, Inc.».

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.

Развернуть полное описание