Назначение
Набор мер толщины кремния монокристаллического «ЛАССАРД» (далее по тексту - набор) предназначен для воспроизведения и передачи значений толщины приборам для измерений толщины пластин из кремния.
Описание
Принцип действия мер основан на воспроизведении заданных значений толщины. Набор состоит пяти мер, которые отличаются друг от друга воспроизводимыми значениями толщины.
Конструктивно меры представляют собой шлифованные с обоих сторон пластины круглой формы, изготовленные из монокристаллического кремния.
Каждая мера помещена в индивидуальный пластиковый контейнер, на который методом наклейки нанесена этикетка с надписью: СНРД.294985.ХХХ.УУУ SI, где ХХХ -диаметр меры, YYY- толщина меры, SI - материал из которого изготовлена мера.
Общий вид мер представлен на рисунке 1.
Пломбирование не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке
Программное обеспечение
отсутствует.
Таблица 1 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Номинальные значения толщин, мкм | 150 300 450 600 1500 |
| Допускаемое отклонение от номинального значения толщины, мкм | ±10 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения толщины, мкм | ±(0,25+0,0025 •L), где L, мкм |
| Стандартное отклонение среднего арифметического значения толщины, мкм | 0,2 |
| Разнотолщинность, мкм, не более | 3 |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Габаритные размеры, мм, диаметр, не более | 100,5 |
| Масса, кг, не более | 0,4 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С | от +15 до +25 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Набор мер толщины кремния монокристаллического | «ЛАССАРД» | 1 шт.* |
| Паспорт | СНРД.294285.001 ПС | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 203-13-2021 | 1 экз. |
| *количество и номинальные размеры мер в наборе определяются при заказе |
Сведения о методах измерений
пункт 7 паспорта СНРД.294285.001 ПС.
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя
82953-21: Методика поверки МП 203-13-2021Скачать2.5 Мб