Назначение
Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА) (далее C3M) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдых тел.
Описание
СЗМ работают в режиме атомно-силового микроскопа (ACM). Принцип действия в СЗМ реализуется посредством детектирования силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности. Поддерживая с помощью системы обратной связи в процессе сканирования постоянную силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности по которому можно определить линейные размеры измеряемых элементов.
В качестве микрозонда в режиме ACM используется чувствительный элемент, представляющий собой кремниевое микромеханическое изделие, на котором сформирован кантилевер с острием в виде микроиглы.
СЗМ состоят из следующих основных элементов: СЗМ-контроллер, базовый блок, персональный компьютер. Базовый блок представляет собой отдельно стоящую установку, которая обеспечивает защиту от воздействий окружающей среды: защиту от виброакустических воздействий, от изменений температуры и влажности. В базовом блоке расположен держатель образца, который обеспечивает его перемещение в заданном диапазоне и устройство, которое производит сканирование исследуемого объекта. СЗМ-контроллер предназначен для управления базовым блоком и обработки сигналов, полученных в результате проводимых измерений исследуемого образца. Персональный компьютер требуется для обеспечения управления пользователем данным программно-аппаратным комплексом и анализом результатов измерений.
Конструктивно СЗМ выполнены в виде отдельно стоящего базового блока с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказу СЗМ могут оснащаться рядом дополнительных устройств и принадлежностей. Внешний вид микроскопов сканирующих зондовых VEGA (ВЕГА) представлен на рисунке 1.
Пломбирование микроскопов сканирующих зондовых VEGA (ВЕГА) от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Программное обеспечение
Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА) имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение «Nova Рх» является специализированным ПО СЗМ и предназначено для их управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Nova Рх» не может быть использовано отдельно от СЗМ.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО СЗМ и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Nova Рх |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже 3.5.0.x |
| Цифровой идентификатор ПО | 039acc50cc451aa329d2c7feafd52dc0 (SXYCalibration.dll); 065a740c438d7e39d816edf37fe03a8e -(SZCalibration.dll); eafcb01229f0ea7928492fad37dbb738 -(SNonlinearity.dll); 1ad4447861d157a0f6e42098d20b302d -SInterferometerAngle.dll. |
Технические характеристики
Т аблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | от 0,01 до 90 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, нм* | ± (3+0,01 xL), где L - измеряемое значение длины в нм |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | от 0,0005 до 9 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси сканирования Z, нм* | ± (4+0,05 xL), где L - измеряемое значение длины в нм |
Примечание: * - при температуре воздуха от плюс 18 °С до плюс 22 °С.
Таблица 3 - Технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи не более, нм | 0,3 |
| Разрешение по оси Z не более, нм | 0,1 |
| Максимальное число точек сканирования по X и Y, не менее | 4000 x 4000 |
| Размеры исследуемых образцов (длина x ширина x толщина), не более, мм | 200 x 200 x 40 |
| Диапазон позиционирования образца в плоскости XY, не менее, мм | 200 x 200 |
| Потребляемая мощность, не более, ВА | 400 |
| Габаритные размеры СЗМ контроллера, не более, мм | 600 x 550 x 600 |
| Габаритные размеры базового блока, не более, мм | 810 x 610 x 1450 |
| Масса СЗМ контроллера, не более, кг | 45 |
| Масса базового блока, не более, кг | 350 |
Таблица 4 - Условия эксплуатации
| Температура окружающей среды, °C | от +15 до +25 |
| Относительная влажность воздуха, % | от 50 до 80 |
| Напряжение переменного тока, В | от 95 до 121/ от 187 до 242 |
| Частота, Гц | 50/60 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом Комплектность средства измерений
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| СЗМ контроллер | - | 1 шт. |
| Базовый блок | VEGA | 1 шт. |
| Персональный компьютер | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА) | 1 экз. |
| Программное обеспечение на цифровом носителе | Nova Pх | 1 шт. |
| Методика поверки | МП № 203-46-2019 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП № 203-46-2019 «Микроскопы сканирующие зондовые VEGA (ВЕГА). Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 19 августа 2019 г.
Основные средства поверки:
- мера периода и высоты линейная TGZ1, рег № 41678-09;
- мера периода и высоты линейная TGZ3, рег. № 41678-09.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные документы
ТУ 26.51.61-005-17510633-2019 Микроскопы сканирующие зондовые ВЕГА (VEGA). Технические условия
76902-19: Методика поверки МП №203-46-2019Скачать2.8 Мб
