Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT

Основные
Тип SOLVER NEXT
Год регистрации 2009
Дата протокола 05 от 28.05.09 п.59
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 35432
Срок действия сертификата 01.06.2014
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск ТУ 4254-004-40349675-2008
Тип сертификата (C - серия/E - партия) С

Назначение

Сканирующие зондовые микроскопы Solver NEXT, предназначены для измерений трехмерной топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.

Сканирующие зондовые микроскопы Solver NEXT применяются в микро-, опто-, наноэлектронике, нанотехнологии, микромеханике, фармацевтике и микробиологии, производстве полимеров и генной инженерии, создании наноструктурных материалов, запоминающих сред, химии и химической технологии, металлургии, в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.

Описание

Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) представляют собой стационарные автоматизированные многофункциональные измерительные системы.

СЗМ обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), так и атомно-силового микроскопа (АСМ) с использованием различных методик зондовой микроскопии.

Принцип действия СТМ основан на квантовом эффекте туннелирования электронов через узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и острием микрозонда. Детектируя туннельный ток, протекающий при постоянном электрическом смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о топографии проводящей поверхности в атомном масштабе. АСМ реализует принцип измерений силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности.

В состав СЗМ входит: электронный блок управления - СЗМ контроллер, базовый блок Solver NEXT (оптическая система регистрации отклонений кантилевера, система сканирования, система автоматической юстировки, модуль СТМ, модуль АСМ, оптическая система видеонаблюдения с моторизованным непрерывным увеличением, фокусировкой и позиционированием рабочей области с разрешением 3 мкм или 1 мкм), USB-кабель для соединения СЗМ контроллера с рабочей станцией, кабель разъема «STEP MOTORS» для управления микроперемещателями, кабель разъема «HEAD», кабель разъема «CONTROLLER 2», программное обеспечение для получения и обработки изображений (NOVA-P9), набор кантилеверов (измерительных зондов), набор кремниевых решеток для калибровки сканера, подложка для крепления образцов, рабочие принадлежности для СЗМ Solver NEXT.

В качестве зонда в АСМ используется чувствительный элемент - кантилевер, который представляет собой кремниевый монокристалл, на котором сформирована балочная структура с острием в виде микроиглы. В СТМ в качестве зонда используется металлическая игла из платиновых сплавов.

Сканирование в различных диапазонах обеспечивается с помощью подачи на пьезотрубку сканера напряжения соответствующего значения. Использование в СЗМ Solver NEXT низкошумящих емкостных датчиков в процессе сканирования позволяет уменьшить влияние нелинейности пьезосканера и обеспечить возможность более точных измерений.

Конструкция СЗМ Solver NEXT обеспечивает автоматический подвод образца к зонду; автоматическую установку АСМ/СТМ головок в рабочее положение без дополнительных приспособлений; простую процедуру замены зондового датчика; простую процедуру замены и установки образца. Приборы позволяют проводить сканирование образцом, комбинированно на воздухе и в жидких средах.

Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и PC совместимого компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от СЗМ-контроллера поступают в измерительный узел Solver NEXT. Управление СЗМ-контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения. При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.

Конструктивно СЗМ Solver NEXT выполнен в виде настольного прибора с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказу прибор оснащается широким набором дополнительных устройств и принадлежностей.

Технические характеристики

Параметры

Значение

1 Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

от 0 до 90

2 Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

от 0 до 10

3 Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY (%)

±1

4 Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z (%)

±5

5 Разрешение в плоскости XY, нм, не более

0,02

6 Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи, нм, не более

0,3

7 Нелинейность сканирования в плоскости XY с датчиками обратной связи, %, не более

0,1

8 Неортогональность сканера по оси Z, градус, не более

5

9 Неортогональность сканера в плоскости XY, градус, не более

2

10 Неплоскостность сканирования в плоскости XY, нм, не более

200

11 Максимальное число точек сканирования по X и Y, Nx х Ny

4000 х 4000

12 Диапазон позиционирования образца в плоскости XY (с минимальным шагом позиционера 0,3 мкм), мм, не менее

5x5

13 Разрешающая способность оптической системы видеонаблюдения, мкм, не более

2

Параметры

Значение

14 Разрешение в плоскости XY, нм, не более

0,24

15 Дрейф в плоскости XY, А/с, не более

2

16 Дрейф по оси Z, А/с, не более

1,5

17 Габаритные размеры электронного блока (ДхЩхВ), мм, не более

445x160x500

18 Габаритные размеры базового блока Solver NEXT (ДхЩхВ), мм, не более

320x215x470

19 Длина кабеля, м, не менее:

- интерфейсного USB-кабеля

- кабеля разъема «STEP MOTORS»

- кабеля разъема «HEAD»

- кабеля разъема «CONTROLLER 2»

- кабеля сетевого

2,0

1,5

1,5

1,5

1,8

20 Масса, кг, не более:

- СЗМ контроллера (электронного блока)

- базового блока Solver NEXT

14

30

21 Номинальное напряжение электропитания (переменного тока), В

(110 / 220)±10

22 Потребляемая мощность, Вт, не более

400

23 Время выхода прибора на рабочий режим после включения в сеть, мин, не более

5

24 Время непрерывной работы прибора, ч, не менее

8

25 Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), мм, не более

20 х 7

26 Масса исследуемых образцов, г, не более

20

28 Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °C

- относительная влажность, %, не более

- атмосферное давление, мм рт. ст.

- дрейф температуры, °C в час, не более

- амплитуда вибраций в полосе частот 1-4000, мкм, Гц не более

20 ±5

65 ±15

760 ± 30

1

0,5

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на заднюю панель контроллера и на заднюю панель измерительного блока, а также на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

Комплект поставки определяется заказом и отражается в спецификации. Основной комплект включает:

Описание

Кол-во

1

Электронный блок управления - СЗМ контроллер.

1 шт.

2

Базовый блок Solver NEXT (оптическая система регистрации отклонений кантилевера, система сканирования, система автоматической юстировки, модуль СТМ, модуль АСМ, оптическая система видеонаблюдения с моторизованным непрерывным увеличением, фокусировкой и позиционированием рабочей области с разрешением 3 мкм или 1 мкм).

1 шт.

3

USB-кабель для соединения СЗМ контроллера с рабочей станцией.

1 шт.

4

Кабель разъема «STEP MOTORS» для управления микроперемещателями.

1 шт.

5

Кабель разъема «HEAD».

1 шт.

6

Кабель разъема «CONTROLLER 2».

1 шт.

7

Программное обеспечение для получения и обработки изображений (NOVA-P9).

1 шт.

8

Набор кантилеверов (измерительных зондов).

50 шт.

9

Набор кремниевых решеток для калибровки сканера.

3 шт.

10

Подложка для крепления образцов.

5 шт.

11

Рабочие принадлежности для СЗМ Solver NEXT.

1 шт.

12

Паспорт «Микроскоп сканирующий зондовый SOLVER NEXT»

1 шт.

Поверка

Поверка микроскопов проводится в соответствии с ГОСТ Р 8.630-2007. При поверке применяются: Рельефная мера МШПС 2.ОК, изготовленная по ГОСТ Р 8.628-2007 и поверенная по ГОСТ Р 8.629-2007.

Межповерочный интервал - 1 год.

Нормативные документы

ГОСТ Р 8.628-2007 «ГСП. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»

ГОСТ Р 8.629-2007 «ГСП. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем. Методика поверки»

ГОСТ Р 8.630-2007 «ГСП. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки»

Технические условия «Микроскоп сканирующий зондовый SOLVER NEXT» (ТУ 4254-00440349675-2008)

Заключение

Тип микроскопов сканирующих зондовых SOLVER NEXT утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации.

Развернуть полное описание