Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ-1000

ООО "АИСТ-НТ", г. Москва, Зеленоград
ГОСРЕЕСТР СИ РФ:39221-08

22.12.24
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ-1000

Основные
Тип	СмартСПМ-1000
Год регистрации	2008
Дата протокола	Приказ 1403 п. 32 от 05.12.201312 от 20.11.08 п.143
Класс СИ	27.01
Номер сертификата	33510
Примечание	05.12.2013 продлен срок свидетельства
Срок действия сертификата	05.12.2018
Страна-производитель	Россия
Технические условия на выпуск	ТУ 1706-001-98300415-08
Тип сертификата (C - серия/E - партия)	С

Назначение

Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000 предназначены для измерений геометрических параметров топографии поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах.

Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000 могут использоваться при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований.

Описание

Действие сканирующих зондовых микроскопов СмартСПМ - 1000 основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин ф1(х,у) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.

Сканирующие зондовые микроскопы СмартСПМ - 1000 состоят из персонального компьютера, электронного блока управления, измерительной головки, набора держателей кантилевера и набора держателей образца. В сканирующих зондовых микроскопах СмартСПМ - 1000 реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии: полуконтактная АСМ; бесконтактная АСМ; контактная АСМ; метод латеральных сил; МСМ и методика зонда Кельвина; сканирующая емкостная микроскопия; электросиловая микроскопия.

Технические характеристики

Диапазон измерений по осям X и Y, мкм	0^90
Диапазон измерений по оси Z, мкм	0^12
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, %	± 0,5
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, %	± 0,5
Тип сканирования	неподвижный зонд
Размеры образца, мм	0=40; h=l 5
Нелинейность по осям X и Y, %	0,03
Нелинейность по оси Z, %	0,03
Резонансная частота по XY (без нагрузки), кГц	7
Резонансная частота по Z (без нагрузки), кГц	15
Масса, кг	25
Напряжение питания, В	220
Частота напряжения питания, Гц	50

Знак утверждения типа

наносится на Руководство по эксплуатации прибора типографским методом, на нижнюю панель процессорного блока методом наклейки.

Комплектность

______Поставляются в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:

НЕ001	Головка СЗМ	1
S001	XYZ пьезосканер с емкостными датчиками обратной связи	1
АР001	Автоматизированная система подвода к образцу	1

Лист № 2

Всего листов 2

Al110	Модульный, расширяемый цифровой контроллер	1
РС001	Персональный компьютер в сборе	1
SW001	Программное обеспечение, совместимое с Windows ХР	1
PS001	Набор кантилеверов	1
	Калибровочная мера малой длины - дифракционная решетка производства "Holograte", 1000 - 3600 штрихов на мм, или аналогичная мера	1
	Калибровочная мера малой высоты ступени - решетка "TGZ03" производства "MikroMash", номинальная высота 500 нм, или аналогичная мера	1

Сведения о методах измерений

приведены в руководстве по эксплуатации на микроскопы сканирующие зондовые

СмартСПМ-1000.

Поверка

осуществляется по документу МП 39221-08 «Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в октябре 2008 г.

Основные средства поверки: эталонные меры шероховатости по ГОСТ 8.296-78.