Назначение
Микроскопы сканирующие электронные ZEM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).
Описание
Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно-рассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Опционально микроскопы комплектуются энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (ЭДС) для регистрации характеристического рентгеновского излучения, возникающего при столкновении электронов пучка с исследуемым объектом. ЭДС позволяет проводить электронно-зондовый элементный анализ исследуемого объекта путем обработки спектра рентгеновского излучения, который включает в себя набор спектральных линий, специфичных для каждого химического элемента. ЭДС выполнен на основе кремниевого дрейфового детектора, охлаждаемого элементом Пельтье.
Микроскопы выпускается в следующих модификациях: ZEM15, ZEM18, ZEM20, которые различаются между собой в основном значениями ускоряющего напряжения и пространственного разрешения. Микроскопы выполнены в настольном варианте и представляют собой автоматизированные многофункциональные измерительные системы.
Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного мембранного вакуумного насоса, монитора и персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.
Модуль получения изображений включает в себя электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, оснащенной вольфрамовым катодом, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение, блок электроники, турбомолекуляр-ный насос, детекторы вторичных и обратно-рассеянных электронов. Камера образцов оборудована встроенной оптической цифровой навигационной камерой, позволяющей делать снимок загруженного столика с образцом, который в дальнейшем будет использоваться для навигации. Столик образцов имеет моторизованный механизм перемещения объектов по осям X и Y, ручную регулировку по оси Z и наклон образца.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
