Микроскопы сканирующие электронные CX-200 PLUS

Назначение

Микроскопы сканирующие электронные CX-200 PLUS (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).

Описание

Принцип действия микроскопа основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратнорассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Функция локального электронно-зондового элементного анализа реализуется посредством регистрации характеристического рентгеновского излучения, возникающего при столкновении электронов пучка с исследуемым объектом. Характеристическое рентгеновское излучение, включающее в себя набор спектральных линий, специфичных для каждого химического элемента, детектируется энергодисперсионным рентгеновским спектрометром, выполненным на основе кремниевого дрейфового детектора, охлаждаемого элементом Пельтье.

Микроскоп представляет собой напольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.

Микроскоп состоит из основной консоли, отдельно расположенного форвакуумного насоса и персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.

Основная консоль микроскопа включает в себя электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, оснащенной вольфрамовым катодом, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение в диапазоне от 1 до 30 кВ, блок электроники, турбомолекулярный насос, детекторы вторичных и обратнорассеянных электронов.

Камера образцов оснащена 5-осевым моторизированным столиком, реализующим перемещение по осям X, Y, Z, а также вращение и наклон образца.

Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.