Назначение
Микроскопы конфокальные MarSurf CM (далее по тексту - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности изделий.
Описание средств измерений
Микроскопы конфокальные MarSurf CM относятся к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на смещении конфокальной плоскости освещения.
Метод конфокальной микроскопии основан на размещении в плоскости измерения апертуры, дающей возможность получения максимального контраста изображения при нахождении измеряемого участка поверхности в фокусе.
Конструктивно микроскопы состоят из конфокальной измерительной головки со встроенным регулятором освещенности, состоящей из конфокального микроскопа с источником света, в нижней части находится объектив и пьезо-привод, в верхней части ПЗС-камера, контроллер прецизионного измерительного стола, массивной гранитной плиты, светодиодный источник света, объективов, джойстика, компьютера с операционной системой Windows, соединительных кабелей.
Микроскопы могут оснащаться объективами с увеличениями x5, x10, x20, x50 и x100
крат.
Микроскопы выпускаются в четырёх модификациях: explorer, expert, select, mobile, различающихся техническим характеристиками. Для модификаций explorer и expert характерно наличие гранитной стойки в виброизолированном исполнении, имеющей форму L-образного штатива. Модификация select выполнена в исполнении, имеющем П-образный гранитный штатив. Модификация mobile имеет переносной вид стойки и не оснащается гранитной плитой. Микроскопы оснащаются двумя видами ПЗС-камер: цветной (обозначение - color) и черно-белой (обозначение - b/w).
Результаты сканирования поверхности передаются на внешний компьютер. Управление микроскопом осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением, позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты.
Опломбирование микроскопов от несанкционированного доступа не предусмотрено. Заводской номер нанесен на корпус в виде этикетки (шильдика) и имеет цифровое обозначение. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
(в) (г)
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «MarSurf MSW» и «MarSurf MFM» является специализированным ПО микроскопов и предназначено для управления механическими частями, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, построения трехмерных изображений рельефа поверхности, выделения отдельных профилей поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости .
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО систем и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения.
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | MarSurf MSW | MarSurf MFM |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v. 8.2.2.28469 и выше | v. 9.0 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО |
Описание | - |
Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопов
| Наименование характеристики | Значение |
| Увеличение | 5х | 10х | 20х | 20х | 20х |
| Модель объектива | 3200S | 1600S | 800L | 800S | 800XS |
| Диапазон измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм | от 2,67 до 3200 | от 1,33 до 1600 | от 0,67 до 800 | от 0,67 до 800 | от 0,67 до 800 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм | ±(6+L/50), где L измеряемая величина в мкм | ±(3+L/50), где L измеряемая величина в мкм | ±(2,2+L/50), где L измеряемая величина в мкм |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | - | от 1 до 9000 | от 1 до 9000 | от 0,2 до 3000 | от 0,1 до 900 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм | | ±(0,088+4-L/100), где L - измеряемая величина в мкм | ±(0,05+4-L/100), где L - измеряемая величина в мкм | ±(0,04+3-L/100), где L - измеряемая величина в мкм | ±(0,026+3-L/100), где L - измеряемая величина в мкм |
| Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм | | от 1 до 10 | от 1 до 5 | от 0,2 до 5 | от 0,1 до 5 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм | | ±(0,08+4-L/100), где L измеряемая величина в мкм | ±(0,04+4-L/100), где L измеряемая величина в мкм | ±(0,025+3-L/100), где L измеряемая величина в мкм | ±(0,008+3-L/100), где L измеряемая величина в мкм |
| Наименование характеристики | Значение |
| Увеличение | 5 Ох | 5 Ох | 5 Ох | ЮОх | ЮОх | ЮОх |
| Модель объектива | 320L | 320S | 320XS | 160L | 160S | 160XS |
| Диапазон измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм | от 0,36 до 320 | от 0,36 до 320 | от 0,36 до 320 | от 0,32 до 160 | от 0,32 до 160 | от 0,32 до 160 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм | ±(l,5+L/50), где L - измеряемая величина в мкм | ±(l,l+L/50), где L - измеряемая величина в мкм |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | от 0,1 до 9000 | от 0,05 до 900 | от 0,01 до 250 | от 0,05 до 3000 | от 0,01 до 900 | от 0,01 до 250 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм | ±(0,026+4-L/100) , где L -измеряемая величина в мкм | ±(0,022+3-L/100) , где L -измеряемая величина в мкм | ±(0,022+3-L/100) , где L -измеряемая величина в мкм | ±(0,022+3-L/100) , где L -измеряемая величина в мкм | ±(0,011+3-L/100), где L -измеряемая величина в мкм | ±(0,011+3-L/100), где L -измеряемая величина в мкм |
| Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм | от 0,1 до 2 | от 0,05 до 2 | от 0,01 до 2 | от 0,05 до 1 | от 0,01 до 1 | от 0,01 до 1 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм | ±(0,01+4-L/100), где L -измеряемая величина в мкм | ±(0,002+3 -L/100), где L -измеряемая величина в мкм | ±(0,001+3 -L/100), где L -измеряемая величина в мкм | ±(0,002+3-L/100), где L -измеряемая величина в мкм | ±(0,001 +3-L/100), где L -измеряемая величина в мкм | ±(0,001 +3-L/100), где L -измеряемая величина в мкм |
| Наименование характеристики | Значение характеристики | | | |
| explorer | expert | | select | mobile |
| Габаритные размеры, мм, не более - длина | 383 | 526 | | 900 | 417 |
| - ширина | 290 | 378 | | 750 | 136 |
| - высота | 690 | 799 | | 1614 | 234 |
| Масса, кг, не более | 25 | 50 | | 300 | 9 |
| Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % | | от +18 до +22 до 80 | |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средств измерений
| Наименование | Количество | Обозначение |
| Микроскоп конфокальный | 1 шт. | MarSurf CM |
| Объективы* | - | 3200S, 1600S, 800L, 800S, 800XS, 320L, 320S, 320XS, 160L, 160S, 160XS |
| Персональный компьютер | 1 шт. | - |
| Монитор | 1 шт. | - |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. | - |
| * Количество и модели объективов определяются при заказе микроскопа и указываются в руководстве по эксплуатации. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе «Выполнение измерений» или «Измерение с использованием MarSurf CM» руководств по эксплуатации.
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм»;
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении Г осударственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 110'9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»; Техническая документация изготовителя.
Правообладатель
Mahr GmbH, Г ермания
Адрес: Max-Planck-Ring 48, 46049 Oberhausen, Германия Телефон +49 208 62 000-0, факс +49 208 62 000-99 E-mail: info@mahr.de
87607-22: Методика поверкиСкачать4.7 Мб
