Назначение
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д (далее - микроскопы) предназначены для измерений высоты профиля поверхности отражающего динамического объекта в микро- и нанодиапазоне.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой скоростной видеокамеры, оцифровываются и передаются в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, на основе которой получаются данные о высоте профиля поверхности. Микроскоп позволяет измерять параметры высоты профиля поверхности изменяющихся во времени (динамических) объектов с частотой 50Гц в диапазоне от 0,03 до 3мкм в латеральной плоскости и от от Х/350 до Х/4 по высоте. Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.
Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-Д
Программное обеспечение
ПО предназначено для управления захватом изображений с помощью видеокамеры, управления платой сдвига опорного зеркала и обработки записанных интерферограмм. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы WinPhast.exe, служебных
файлов fftw3.dll, tpmath.dll, vslib3.dll, template.doc, phast.ini, giveio.sys, обеспечивающих управление камерой, управление LPT-портом, настройки, расчеты. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование Программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения |
| WinPhast | WinPhast.exe | 1.0 | F554EB8D | CRC32 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Технические характеристики
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | 180 х 135 |
| Диапазон измерения высоты профиля поверхности: - для профиля с наклоном относительно горизонтали не более 10°, мкм - для ступенек, в долях длины волны X не более | от 0,03 до 3 от X/350 до X/4 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | ± 0,5 |
| Предел частоты измерения, при которой допускаемая абсолютная погрешность измерения высоты профиля поверхности составляет не более X/350, Гц | 50 |
| Источник излучения | лазеры |
| Длина волны излучения, мкм | 0,473 0,532 0,650 |
| Частота сети питания, Гц | 50 ± 1 |
| Напряжение в сети питания, В | 220 ± 22 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 250 |
| Г абаритные размеры (без предметного стола), мм | 340 х 370 х 380 |
| Масса, кг | 30 |
| Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, не более, % - атмосферное давление, кПа | 20±0.5 60 (при 20° С) от 84 до 106,7 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
| 1. | Микроскоп МИА-Д | 1 шт. |
| 2. | Плата ввода изображения | 1 шт. |
| 3. | Блок освещения и управления | 1 шт. |
| 4. | Волоконно-оптический жгут | 1 шт. |
| 5. | ПЭВМ | 1 шт. |
| 6. | Программное обеспечение WinPhast | 1 шт. |
7. Кабели 5 шт.
8. Руководство по эксплуатации 1 шт.
Поверка
осуществляется по документу МП 48172-11 «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д. Методика поверки».
Основные средства поверки: ВЭТ 113-2-09 (ГОСТ 8.296-78); объект-микрометр ОМО (ГОСТ 7513-55), осциллограф цифровой Tektronix TDS 2012B (номер в госреестре 32618-06).
Сведения о методах измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78. «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм».
МИ 2090-90. «Определение динамических характеристик линейных аналоговых средств измерений с сосредоточенными параметрами. Общие положения».
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
