Назначение
Микроскоп сканирующий зондовый MultiMode V (далее - микроскоп), предназначен для измерения топографии поверхности.
Микроскоп применяется в научных исследованиях, в нанотехнологии, в лабораториях научно-исследовательских и учебных организаций.
Описание
Микроскоп представляет собой автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
Принцип действия микроскопа основан на измерении топографии поверхности методом сканирующей зондовой микроскопии.
В состав микроскопа входит микроскопа MuiltiMode V, контроллер, вспомогательные микроскопы и персональный компьютер.
Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и персонального компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от контроллера поступают в измерительную головку. Управление контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения. При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.
Конструктивно микроскоп выполнен в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером.
Технические характеристики
Условия эксплуатации микроскопа:
- температура окружающей среды, °C - относительная влажность при 25 °C, % - атмосферное давление, кПа Напряжение: | от плюс 10 до плюс 35; от 30 до 80; от 84 до 106,7. |
- от сети переменного тока, В - частота питающей сети, Гц - потребляемая мощность от источника питания, ВА, не более Режим работы Диапазон измерений, нм Пределы допускаемой абсолютной погрешности микроскопа, нм Габаритные размеры микроскопа, не более, мм Масса, не более, кг | 220 22-зз; 50± 1; 3000. периодический, от 1 до 1000 ±0,5 200x200x350 3 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
Микроскоп состоит из следующих основных частей:
- микроскопа MuiltiMode V | 1 шт. |
- контроллера Nanoscope V | 1 шт. |
- вспомогательного микроскопа 300х | 1 шт. |
- вспомогательного микроскопа 45х | 1 шт. |
- персонального компьютера | 1 шт. |
Поверка
Поверка микроскопа производится в соответствии с документом ГОСТ Р 8.630-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки».
Межповерочный интервал -1 год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы VEECO (США)
Заключение
Тип микроскопа сканирующего зондового MultiMode V утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при выпуске из производства и эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.