Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D

Назначение

Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D предназначен для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением.

Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D может использоваться для контроля параметров топографии в плоскости XY при|производстве изделий микроэлектроники (пластин), а также при проведении фундаментальных и прикладных исследований для разработки данных элементов.

Описание

Действие сканирующего электронного микроскопа NanoSEM-3D основано на принципе сканирования исследуемой поверхности пучком электронов, регистрации пространственного распределения электронов и получения топо-граммы поверхности образца.

Сканирующий электронный микроскоп NanoSEM-3D состоит из основного блока, пульта управления, системы держателя подложек и блока электроники. Сканирующий электронный микроскоп NanoSEM-3D реализует функцию измерения топографии поверхности кремниевой подложки методом сканирования.

Основные метрологические характеристики

Технические характеристики

Знак утверждения типа

Знак Утверждения типа наносится на Руководство по эксплуатации прибора типографским методом, на основание рамы прибора методом наклейки.

Комплектность

Поставляются в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:

Поверка

Поверка приборов производится в соответствии с документом по поверке «Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП ВНИИМС в августе 2009 г..

Основные средства поверки: специальная мера периода на основе кремниевой пластины с одномерной протравленной решеткой с периодом 0.1 мкм и погрешностью, не превышающей 1 нм..

Межповерочный интервал 2 года

Заключение

Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D (Зав. № U630) утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.