Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25

Основные
Тип EVO MA25
Год регистрации 2013
Дата протокола Приказ 1133 п. 27 от 04.10.2013
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  Великобритания 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25 предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

Описание

Принцип работы микроскопа сканирующего электронного EVO MA25 (далее по тексту - микроскоп) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.

Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.

Микроскоп укомплектован тремя детекторами, позволяющими получать электронномикроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектор отраженных электронов.

Микроскоп оснащен двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа сканирующего электронного EVO MA25.

Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп.

Программное обеспечение

Микроскоп имеет автономное программное обеспечение, которое используется для обработки результатов измерений.

Идентификационные данные метрологически значимой части программного обеспечения приведены в таблице 1.

Таблица 1____________________________________________________________________________

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификацио нный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

SmartSEM

5.06

7B1EE57BEE2FF061

4EF5F8822FB71632

MD5

Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует уровню «С». Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные данные достаточно

защищены с помощью ограничения прав доступа.

Таблица 2

Технические характеристики

Наименование характеристики

Значение характеристики

Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пиксель

2,65 - 19531

Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм

50

Диапазон измерений линейных размеров, нм

20 - 2-106

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм

±(4+0,05L*)

Диапазон регулирования увеличения, крат

5-1000000

Номинальное напряжение сети питания, В

220 ± 5 %

Масса, кг, не более

650

Габаритные размеры, мм, не более

980x774x1700

Условия эксплуатации:

Температура окружающего воздуха, °С

Относительная влажность воздуха при 25°С, %

Избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па

22 ± 0,2

40 ± 2

30 ± 0,3

* - L - длина измеряемого объекта, нм

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом наклейки и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 3

Наименование

Количество, шт

Микроскоп электронный сканирующий EVO MA25

1

Компьютер с сетевым источником питания

1

Дисплей

1

Клавиатура

1

Манипулятор «мышь»

1

Руководство по эксплуатации

1

Методика поверки МП 77. Д4-13

1

Поверка

осуществляется по документу МП 77.Д4-13 «Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 30 августа 2013 г.

Основные средства поверки:

Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.

Основные метрологические характеристики:

Наименование метрологических характеристик

Номинальное значение, нм

Погрешность, нм

Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм.

2001

±2

Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм.

597

±2

Сведения о методах измерений

Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Руководство по эксплуатации раздел 2.2.4.

Нормативные документы

ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным требованиям.

Развернуть полное описание