Назначение
Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25 предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание
Принцип работы микроскопа сканирующего электронного EVO MA25 (далее по тексту - микроскоп) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.
Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскоп укомплектован тремя детекторами, позволяющими получать электронномикроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектор отраженных электронов.
Микроскоп оснащен двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа сканирующего электронного EVO MA25.
Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп.
Программное обеспечение
Микроскоп имеет автономное программное обеспечение, которое используется для обработки результатов измерений.
Идентификационные данные метрологически значимой части программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1____________________________________________________________________________
| Идентификационное наименование ПО | Номер версии (идентификацио нный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| SmartSEM | 5.06 | 7B1EE57BEE2FF061 4EF5F8822FB71632 | MD5 |
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует уровню «С». Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные данные достаточно
защищены с помощью ограничения прав доступа.
Таблица 2
Технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пиксель | 2,65 - 19531 |
| Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм | 50 |
| Диапазон измерений линейных размеров, нм | 20 - 2-106 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм | ±(4+0,05L*) |
| Диапазон регулирования увеличения, крат | 5-1000000 |
| Номинальное напряжение сети питания, В | 220 ± 5 % |
| Масса, кг, не более | 650 |
| Габаритные размеры, мм, не более | 980x774x1700 |
| Условия эксплуатации: Температура окружающего воздуха, °С Относительная влажность воздуха при 25°С, % Избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па | 22 ± 0,2 40 ± 2 30 ± 0,3 |
| * - L - длина измеряемого объекта, нм |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом наклейки и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 3
| Наименование | Количество, шт |
| Микроскоп электронный сканирующий EVO MA25 | 1 |
| Компьютер с сетевым источником питания | 1 |
| Дисплей | 1 |
| Клавиатура | 1 |
| Манипулятор «мышь» | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
| Методика поверки МП 77. Д4-13 | 1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 77.Д4-13 «Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 30 августа 2013 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
| Наименование метрологических характеристик | Номинальное значение, нм | Погрешность, нм |
| Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм. | 2001 | ±2 |
| Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм. | 597 | ±2 |
Сведения о методах измерений
Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Руководство по эксплуатации раздел 2.2.4.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным требованиям.
