Назначение
Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (далее- микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии интегральных схем в полупроводниковом производстве на пластинах диаметром 200 мм.
Описание
Принцип действия микроскопа заключается в автоматических измерениях линейных размеров по заранее разработанной программе. Изображение элементов топологии формируется в режиме медленных вторичных электронов. Из полученного изображения выделяется видеосигнал строк, по выбранным точкам которого определяется размер элементов. Микроскоп позволяет измерять размеры протяженных объектов, выступов и канавок (линии), внутренний и внешний диаметры круглых объектов, неровность края, и другие геометрические параметры объектов. Применяется для измерений как по фоторезистивной маске, так и структур после травления.
Микроскоп представляет собой напольный прибор, состоящий из основного блока; консоли оператора; системы охлаждения (чиллер) и блока питания. Для обеспечения автоматических измерений в состав микроскопа входит система автоматической загрузки и транспортировки пластин в рабочую камеру, двух координатный предметный стол с контролем координат, система распознавания в оптическом микроскопе и по электронному изображению.
На микроскопе имеется шильдик с указанием наименования прибора, страны изготовителя, серийного номера и года выпуска прибора. Шильдик расположен на задней панели основного блока справа внизу. Серийный номер содержит цифровое обозначение (№ 2153-04), наносится на шильдик методом цифровой лазерной.
Общий вид и схема маркировки микроскопа представлены на рисунках 1 и 2.
Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено.
Консоль оператора Основной блок
Блок питания
охлаждения (чиллер)
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа растрового электронного Hitachi S-9380
Рисунок 2 - Общий вид и схема маркировки микроскопа растрового электронного
Hitachi S-9380
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в микроскопе осуществляется с помощью специального программного обеспечения (далее — ПО). Программное обеспечение служит для настройки микроскопа, разработки рецептов, управления микроскопом при проведении измерений, отображения полученных данных, для коммуникации с внешним компьютером (рабочей станцией).
ПО имеет пользовательский интерфейс, управление микроскопом производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Идентификационные данные (признаки) программного обеспечения микроскопа указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Hitachi CD Measurement SEM |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже 26.36 |
| Цифровой идентификатор ПО | _ |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров, мкм | от 0,05 до 2,00 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров, мкм | ± 0,02 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Габаритные размеры (Д х В х Ш), мм, не более: | |
| - основной блок | 1200 х 2007 х 1900 |
| - консоль оператора | 600 х 1170 х 1850 |
| - чиллер | 1200 х 1496 х 1900 |
| - блок питания | 535 х 1200 х 1800 |
| Масса, кг, не более: | |
| - основной блок | 1850 |
| - консоль оператора | 340 |
| - чиллер | 600 |
| - блок питания | 380 |
| Параметры питания: | |
| - напряжение питания, В | 200/208/230 |
| - частоты переменного тока, Гц | 50/60 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающей среды, оС | от + 20 до + 24 |
| - относительная влажность воздуха, % | от 30 до 50 |
| - атмосферное давление, кПа | от 50 до 106 |
| - требования к вибрации (Point to Point) в диапазоне | |
| частот от 1 до 10 Гц (для вертикального направления), | |
| мкм, не более | 3 |
| - магнитное поле, мкТ, не более | 0,3 |
Знак утверждения типа
наносится титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Микроскоп растровый электронный в составе: - Основной блок - Консоль оператора - Блок питания - Чиллер - Форвакуумный насос | Hitachi S-9380 | 1 шт. |
| SMIF-контейнер М200 - Е011 | _ | 1 шт. |
| Кассета КА198 - 80МВ - 47С02 | _ | 1 шт. |
| Кремниевая пластина диаметром 200 мм с топологией | _ | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | _ | 1 шт. |
Сведения о методах измерений
приведены в руководстве по эксплуатации «Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380» раздел 7 «Использование по назначению».
Нормативные документы
Локальная поверочная схема для микроскопа электронного растрового измерительного в диапазоне значений от 0,020 до 20,000 мкм, утвержденная ФГБУ «ВНИИОФИ» от 30 мая 2023 г.
