Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380

Назначение

Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (далее- микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии интегральных схем в полупроводниковом производстве на пластинах диаметром 200 мм.

Описание

Принцип действия микроскопа заключается в автоматических измерениях линейных размеров по заранее разработанной программе. Изображение элементов топологии формируется в режиме медленных вторичных электронов. Из полученного изображения выделяется видеосигнал строк, по выбранным точкам которого определяется размер элементов. Микроскоп позволяет измерять размеры протяженных объектов, выступов и канавок (линии), внутренний и внешний диаметры круглых объектов, неровность края, и другие геометрические параметры объектов. Применяется для измерений как по фоторезистивной маске, так и структур после травления.

Микроскоп представляет собой напольный прибор, состоящий из основного блока; консоли оператора; системы охлаждения (чиллер) и блока питания. Для обеспечения автоматических измерений в состав микроскопа входит система автоматической загрузки и транспортировки пластин в рабочую камеру, двух координатный предметный стол с контролем координат, система распознавания в оптическом микроскопе и по электронному изображению.

На микроскопе имеется шильдик с указанием наименования прибора, страны изготовителя, серийного номера и года выпуска прибора. Шильдик расположен на задней панели основного блока справа внизу. Серийный номер содержит цифровое обозначение (№ 2153-04), наносится на шильдик методом цифровой лазерной.

Общий вид и схема маркировки микроскопа представлены на рисунках 1 и 2.

Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено.

Пломбирование микроскопа не предусмотрено.

Консоль оператора                              Основной блок

Блок питания

охлаждения (чиллер)

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа растрового электронного Hitachi S-9380

Рисунок 2 - Общий вид и схема маркировки микроскопа растрового электронного

Hitachi S-9380

Программное обеспечение

Управление процессом измерения в микроскопе осуществляется с помощью специального программного обеспечения (далее — ПО). Программное обеспечение служит для настройки микроскопа, разработки рецептов, управления микроскопом при проведении измерений, отображения полученных данных, для коммуникации с внешним компьютером (рабочей станцией).

ПО имеет пользовательский интерфейс, управление микроскопом производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.

Идентификационные данные (признаки) программного обеспечения микроскопа указаны в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Hitachi CD Measurement SEM

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже 26.36

Цифровой идентификатор ПО

_

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных

изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 0,05 до 2,00

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров, мкм

± 0,02

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Габаритные размеры (Д х В х Ш), мм, не более:

- основной блок

1200 х 2007 х 1900

- консоль оператора

600 х 1170 х 1850

- чиллер

1200 х 1496 х 1900

- блок питания

535 х 1200 х 1800

Масса, кг, не более:

- основной блок

1850

- консоль оператора

340

- чиллер

600

- блок питания

380

Параметры питания:

- напряжение питания, В

200/208/230

- частоты переменного тока, Гц

50/60

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, оС

от + 20 до + 24

- относительная влажность воздуха, %

от 30 до 50

- атмосферное давление, кПа

от 50 до 106

- требования к вибрации (Point to Point) в диапазоне

частот от 1 до 10 Гц (для вертикального направления),

мкм, не более

3

- магнитное поле, мкТ, не более

0,3

Знак утверждения типа

наносится титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Микроскоп растровый электронный в составе: - Основной блок

- Консоль оператора

- Блок питания

- Чиллер

- Форвакуумный насос

Hitachi S-9380

1 шт.

SMIF-контейнер М200 - Е011

_

1 шт.

Кассета КА198 - 80МВ - 47С02

_

1 шт.

Кремниевая пластина диаметром 200 мм с топологией

_

1 шт.

Руководство по эксплуатации

_

1 шт.

Сведения о методах измерений

приведены в руководстве по эксплуатации «Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380» раздел 7 «Использование по назначению».

Нормативные документы

Локальная поверочная схема для микроскопа электронного растрового измерительного в диапазоне значений от 0,020 до 20,000 мкм, утвержденная ФГБУ «ВНИИОФИ» от 30 мая 2023 г.

Развернуть полное описание