Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200A

Назначение

Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA (далее микроскоп) предназначен для измерения профиля поверхности различных отражающих поверхностей в лабораториях научно-исследовательских институтов, оптическом приборостроении и производстве.

Описание

Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-2OOA представляет собой конфокальный микроскоп тандемного типа. Конфокальная микроскопия - вид оптической микроскопии, в которой изображение объекта формируется послойно за счет сканирования и пространственной фильтрации прошедшего, отраженного или испускаемого объектом излучения. Использование пространственной фильтрации позволяет увеличить разрешающую способность и контраст по сравнению с обычным световым микроскопом.

В составе микроскопа имеется конфокальный сканирующий модуль позволяющий переносить изображения точек образца находящихся в фокальной плоскости объектива, отсекая паразитный сигнал от остальных точек образца. Таким образом изменяя расстояние от объектива до образца производится получение различных сечений образца вдоль вертикальной оси с последующим построением трехмерного изображения исследуемого объекта путем объединения полученных сечений.

Рис. 1 - Внешний вид микроскопа VCM-2OOA

Программное обеспечение

Микроскоп оснащен программным обеспечением VCM-2OOA версии v3.

Весь исходный код и вычислительный алгоритм VCM-2OOA расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах, которые не могут быть модифицированы. VCM-2OOA задает пользовательские уровни. Пользователи административного уровня блокируют редактирование для пользователей низших уровней и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.

Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице

Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Защита программного обеспечения микроскопа соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Знак утверждения типа

наносится на корпус прибора методом наклейки.

Комплектность

Поверка

осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48291-11 «Микроскоп конфокальный сканирующий VCM 200A. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 г. и включенной в комплект поставки.

Основное поверочное оборудование: Мера ширины и периода МШПС-2.0К 7, Период шаговой структуры: 2000±10 нм.

Сведения о методах измерений

Метод измерений изложен в документе «Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200А. Руководство по эксплуатации» в разделе 2.4.

Нормативные документы

1. ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм.

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям