Назначение
Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и обеспечения трехмерной визуализации поверхности твердотельных объектов.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на использовании конфокальной диафрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и подавляющей поток фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указанную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал.
В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном микроскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца (т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий.
В микроскопе применена лазерная конфокальная оптическая система, использующая фиолетовый лазерный диод и высокочувствительный фотоумножитель.
Конструктивно микроскоп состоит из базового блока, блока освещения, блока питания, блока электроники MC- 1000A, пульта управления и персонального компьютера с программным обеспечением для управления работой микроскопа. Базовый блок, реализующий конфокальную оптическую систему, включает столик образцов с держателем пластин 150 мм, перемещаемый по осям X, Y, Z ручным приводом или автоматически, и измерительную оптическую головку с набором объективов.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа конфокального лазерного сканирующего VL2000DX
Знак поверки наносится в виде наклейки или оттиска поверительного клейма на свидетельство о поверке.
Место нанесения знака утверждения типа
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработки результатов измерений осуществляется с помощью компьютера с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «LM-eye». ПО «LM-eye» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме значение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности, толщину пленок, производить сшивку изображений, полученных в различных положениях столика объектов в условиях частичного перекрытия изображений. ПО «LM-eye» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
| Идентификационное наименование ПО | LM-eye |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 4.09 |
| Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | - |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО | - |
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» по Р.50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики_
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | от 0,2 до 4500 |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY , мкм - объектив 5х - объектив 10х - объектив 20х - объектив 50х - объектив 100х | от 20 до 1280 от 10 до 640 от 3 до 320 от 2 до 128 от 1 до 64 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм (где L - измеряемая длина, мкм) | ±(0,1+0,005-L) |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм (где L - измеряемая длина, мкм) | ±(0,3+0,015-L) |
| Наименование характеристики | Значение |
| Привод столика образцов | механический |
| Максимальная высота образцов, мм | 100 |
| Масса, кг, не более | 100 |
| Габаритные размеры (ДхШхВ) основных составных частей, мм, не более: - базовый блок - блок электроники MC-1000A - пульт управления - блок освещения - блок питания | 540х345х1030 450х430х105 150х210х45 255х120х65 215х195х90 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более | от +18 до +22 80 |
| Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В | от 100 до 240 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 600 |
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель базового блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий | VL2000DX | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 80/072-1-2020 | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в документе: «Микроскоп конфокальный лазерный сканирующий VL2000DX. Руководство по эксплуатации», раздел 2
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя, Lasertech Corporation, Япония.
81285-21: Методика поверки МП 80/072-1-2020Скачать3.9 Мб
