Микроскоп электронный растровый S-4800

Основные
Тип S-4800
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 486 п. 17 от 09.07.2012
Номер сертификата 47224
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  Япония 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Микроскоп электронный растровый S-4800 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.

Описание

Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, двух детекторов вторичных электронов, детектора отраженных электронов, детектора прошедших электронов (для режима «на-просвет»), вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.

Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Микроскоп обеспечивает работу в режимах регистрации вторичных и отраженных электронов и в режиме «напросвет».

При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.

Рис.1. Общий вид микроскопа электронного растрового S-4800

Программное обеспечение

Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

S-4800 Scanning Electron Micro

scope

03.03

0142742361B2079CBF 1B35EBDD7055A166C 855EF41C884D8C8BF 0B3366E85AF4

ГОСТ Р 34.11

94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 15 кВ (образец - кремний), нм, не более

10

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

0,05^1000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %:

- в диапазоне от 0,05 до 0,1 мкм

- в диапазоне от 0,1 до 0,3 мкм

- в диапазоне от 0,3 до 1000 мкм

±10 ±6 ±4

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В

220+22-33

Потребляемая мощность, кВА

4

Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ - видеоконтрольный блок

840x966x1660

1000x960x1200

Масса, кг

860

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

- относительная влажность воздуха, %, не более

- атмосферное давление, кПа

20 ± 5 60 84^107

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на электронно-оптическую систему (колонну) прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый S-4800, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.

Сведения о методах измерений

Техническое описание «Микроскоп электронный растровый S-4800 фирмы «HITACHI», Япония»

Нормативные документы

Техническое описание «Микроскоп электронный растровый S-4800 фирмы «HI

TACHI», Япония»

Рекомендации к применению

Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Развернуть полное описание