Микроскоп электронный растровый Philips XL 40

Назначение

Микроскоп электронный растровый Philips XL 40 (далее- микроскоп) предназначен для проведения научных и прикладных исследований твердотельных образцов, включая наноструктурированные материалы и нанообъекты. Прибор позволяет проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдотельных структур.

Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.

Описание

Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, работающую в диапазоне микро- и наноразмеров.

Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры образцов с механизмом их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.

Вакуумная система включает в себя диффузионный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и гетероионный насос для обеспечения вакуума в катодном узле и электронной колонне.

Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Технические характеристики

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на корпус микроскопа и на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый Philips XL 40, комплект ЗИП и расходные материалы, руководство по эксплуатации.

Поверка

Поверка микроскопа электронного растрового Philips XL 40 проводится по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки». Средство поверки - мера ширины и периода специальная МШПС-2.ОК, изготовленная по ГОСТ Р 8.628-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления» и поверенная по ГОСТ Р 8.629-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки».

Межповерочный интервал -1 год.

Нормативные документы

1. ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

2. ГОСТ Р 8.628-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»

3. ГОСТ Р 8.629-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки»

Заключение

Тип микроскопа растрового электронного Philips XL 40, заводской номер D646, утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.