Назначение
Микроскоп электронный растровый JSM-7401F предназначен для количественного морфологического анализа и измерения линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.
Описание
Микроскоп электронный растровый JSM-7401F представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
Микроскоп оснащен катодом с полевой эмиссией холодного типа.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов и устройством шлюзования, двух детекторов вторичных и одного детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.
Вакуумная система включает в себя диффузионный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и 3 ионных насоса для обеспечения вакуума в катодном узле и электронной колонне.
Микроскоп обеспечивает работу, как в режимах регистрации вторичных электронов, так и в режиме регистрации отраженных электронов.
Принцип получения изображения в микроскопе электронном растровом JSM-7401F заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Создание изображения объектов в режиме «Gentle Beam» обеспечивается благодаря торможению первичного пучка полем держателя образца, в результате чего сохраняется возможность наблюдения объекта при пониженных ускоряющих напряжениях с достаточно высоким разрешением.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Технические характеристики
1. Разрешение при ускоряющем напряжении 15кВ, нм
2.Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 15 кВ не более, нм
3 .Диапазон регулировки увеличения, крат.......................................................25-5-1000000
4 .Диапазон измерения линейных размеров, мкм.............................................0,05-5-1000
5 . Погрешность измерений линейных размеров не более, %
б .Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ........................................0,1-5-30
7 . Номинальное напряжение сети питания, В.........................................220 (+10/-15%)
8 . Максимальная потребляемая мощность, кВА
9 .Габаритные размеры основных составных частей не более, мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ.................................990x790x1850
- видеоконтрольный блок............................................................1200x1000x700
- блок питания..............................................................................900x450x700
10.Общая масса без ЗИП и упаковки не более, кг...................................................1200
11.Условия эксплуатации:
- диапазон температуры окружающего воздуха, °C........................................20 ± 5
- относительная влажность воздуха, %..........................................................................50^-80
- диапазон атмосферного давления, кПа........................................................84-5-107
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на корпус микроскопа и на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
В комплект единичного экземпляра микроскопа электронного растрового JSM-7401F, зав. № SM18100077, входят:
| 1. Микроскоп электронный растровый JSM-7401F 2. Комплект ЗИП и расходные материалы 3. Тест-объекты - образцы островковой пленки золота на углероде 4. Руководство по эксплуатации | -1 шт. -1 шт. - 1шт. - 1 шт. |
Поверка
Поверка микроскопа проводится в соответствии с ГОСТ Р 8.631-2007 «ГСИ. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки»
При поверке применяются: мера, изготовленная по ГОСТ Р 8.628-2007 «ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления» и поверенная по ГОСТ Р 8.629-2007 «ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки».
Межповерочный интервал — 1 год.
Нормативные документы
1. ГОСТ 12997-84 «Изделия ГСП. Общие технические условия».
2. ГОСТ Р 51350-99 «Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Общие требования».
3. Основные санитарные правила обеспечения радиационной безопасности (ОСПОРБ-99). СП 2.6.1.799-99 Минздрав России, 2000.
4. Техническая документация фирмы-изготовителя «JEOL», Япония.
Заключение
Микроскоп электронный растровый JSM-7401F с зав. № SM18100077 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании и метрологически обеспечен при эксплуатации.
