Назначение
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов, а также суспензий микро- и наночастиц, нанесенных на полимерную или углеродную пленку-подложку.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на прохождении параллельного пучка ускоренных электронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светлотемнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; рабочая станция микроскопа на базе специализированного компьютера; система замкнутого водяного охлаждения; программное обеспечение для управления микроскопом; комплект запчастей и расходных материалов.
Основной частью микроскопа является электронно-оптическая колона. В состав колоны входят электронная пушка и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый блок составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объектодержатель с объектом. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений. На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку.
Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера.
Пломбирование микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300 не предусмотрено.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «Titan» является специализированным ПО микроскопа и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Titan» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Titan |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 1.6.4 |
| Цифровой идентификатор ПО | c7477b08еa314е3d2b2c65е435 890d2е3213dc52d306644bbad1 3f8625a994a8 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров, мкм | от 0,0003 до 10 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров при ускоряющем напряжении 300кВ - в диапазоне от 0,0003 мкм до 0,05 включ. мкм, нм - в диапазоне от св. 0,05 мкм до 1 мкм включ., % - в диапазоне от св. 1 мкм до 10 мкм, % (где L - линейный размер, нм) | ±(0,4+0,06L) ±6 ±4 |
| Диапазон регулировки увеличений, крат | от 45 до 1550000 |
| Значения ускоряющего напряжения, кВ | 200, 300 |
| Напряжение питания от трехфазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В | от 340 до 400 |
| Максимальная потребляемая мощность, кВ-А | 10 |
| Габаритные размеры (длина х ширина х высота) основных блоков, мм, не более: - консоль микроскопа с колонной - стойка TEM/Acc - стойка питания микроскопа - генератор высокого напряжения - система охлаждения | 1430 х 2140 х 235 700x800x1800 1200х600х1300 880х760х1990 680х660х860 |
| Условия эксплуатации: о/~' -температура окружающего воздуха, С - относительная влажность воздуха, %, не более | от +19 до +21 80 |
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Комплектность представлена в таблице 3.
Таблица 3
| Наименование | Количество |
| Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
| Методика поверки | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 69049-17 «Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 07.08.2017 г.
Основные средства поверки:
- Государственный стандартный образец параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния ГСО 10030-2011.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
69049-17: Методика поверкиСкачать2.4 Мб
