Микроскоп электронный просвечивающий Libra120

Основные
Тип Libra120
Год регистрации 2010
Дата протокола 03д2 от 29.07.10 п.353
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 40930
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Германия 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Микроскоп электронный просвечивающий Libra 120 (далее ПЭМ Libra) предназначен для измерения геометрических расстояний и размеров элементов тонкой субмикронной структуры твердотельных материалов.

Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а так же в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.

Описание

ПЭМ Libra представляет собой стационарную измерительную систему.

ПЭМ Libra формирует пучок электронов с энергией до 120 кэВ для непосредственного просвечивания объекта. В качестве объектов, прозрачных для электронов с такой энергией, могут исследоваться ультратонкие срезы, напыленные в вакууме реплики, нанесенные на прозрачную для электронов подложку наночастицы и др. Система магнитных линз микроскопа формирует электронно-микроскопическое изображение объекта в проходящих электронах. Контраст на изображении, т.е. его неравномерная освещенность, возникает из-за того, что рассеяние проходящих электронов зависит от массы атомов просвечиваемого вещества, а также, в случае просвечивания кристаллического вещества, и от ориентации кристаллографических осей относительно электронного луча микроскопа. Соответствующие неоднородности объекта становятся видимыми на электронно-микроскопическом изображении благодаря тому, что электроны, рассеянные на большие углы, задерживаются апертурной диафрагмой и не участвуют в формировании окончательного изображения.

ПЭМ Libra оснащен гониометрическим держателем препаратов. Насос высокого вакуума является безмасляным.

Программное обеспечение ПЭМ Libra защищено от несанкционированных изменений.

Технические характеристики

Разрешающая способность при ускоряющем напряжении 120 кВ, нм

0,2

Диапазон регулировки увеличения

8+630 000

Диапазон измерения геометрических расстояний, мкм

100+4-1 О'4

Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения геометрических расстояний при ускоряющем напряжении 120 кВ*: в диапазоне (100+0,4) мкм при измерении абсолютных размеров

в диапазоне (100+0,4) мкм при сличении геометрических расстояний в режиме компаратора

в диапазоне (0,4+4-1 О'4) мкм при измерении абсолютных размеров

в диапазоне (0,4+4-1 О'4) мкм при сличении геометрических расстояний в режиме компаратора

±7%

± 0,5%

± 25%

± 10%

Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ

80 или 120

Номинальное напряжение трехфазной сети питания, В

360-420

Максимальная потребляемая мощность, кВ-А

13

Габаритные размеры основных блоков не более, мм

стенд с колонной, блок питания высоковольтный блок блок управления блок охлаждения

1400x1960x2440 800x720x1560 550x780x1270 930x530x1930 680x680x1480

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °C..................................

- относительная влажность воздуха, %....................................

(22 ± 0,2) (40 ± 2)

Общая масса без ЗИП и упаковки не более, кг

2615

* Погрешность измерения при сличении геометрических размеров в режиме компаратора определяется техническими возможностями самого ПЭМ Libra. Погрешность при измерении абсолютных размеров в значительной степени определяется точностью передачи единицы длины с помощью утвержденных и применяемых мер длины соответствующего диапазона.

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

В комплект поставки входят:

1. Микроскоп электронный просвечивающий Libra 120      - 1экз.;

2. Комплект ЗИП и расходные материалы                  -1 компл.;

3. Руководство по эксплуатации                           -1 шт.

Поверка

Поверка ПЭМ Libra осуществляется в соответствии с документом «Микроскоп электронный просвечивающий Libra 120. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в 2010 г.

Основные средства поверки:

• Мера периода рельефная S106 (Госреестр № 44966-10)

• Мера рельефная графитовая S140 (Госреестр № 44968-10)

Межповерочный интервал - один год.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя «Carl Zeiss, Inc», Германия.

Заключение

Тип микроскопа растрового электронного просвечивающего Libra 120 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание