Микроскоп электронный просвечивающий JEM-100CX

Основные
Тип JEM-100CX
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 6279 от 31.10.11 п.01
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 44261
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Япония 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Микроскоп электронный просвечивающий JEM-100CX (далее микроскоп) предназначен для измерений геометрических расстояний и размеров элементов микро- и ультраструктуры тонкопленочных образцов (ультратонких срезов ткани, залитой в полимер, и суспензий микрочастиц (вплоть до наноразмерных), нанесенных на полимерную пленку-подложку).

Описание

Принцип действия микроскопа основан на формировании пучка электронов с энергией до 100 кэВ для непосредственного просвечивания объекта измерений. В качестве объектов, прозрачных для электронов с такой энергией, могут исследоваться ультратонкие срезы, напыленные в вакууме реплики, нанесенные на прозрачную для электронов подложку наночастицы и др. Система магнитных линз микроскопа формирует электронно-микроскопическое изображение объекта проходящими электронами. Контраст на изображении, т.е. его неравномерная освещенность, возникает из-за того, что рассеяние проходящих электронов зависит от массы атомов просвечиваемого вещества, а также, в случае просвечивания кристаллического вещества, и от ориентации кристаллографических осей относительно электронного луча микроскопа. Соответствующие неоднородности объекта становятся видимыми на электронномикроскопическом изображении благодаря тому, что электроны, рассеянные на большие углы, задерживаются апертурной диафрагмой и не участвуют в формировании окончательного изображения.

Конструкция микроскопа включает следующие блоки: основной блок - стенд с колонной, блок вакуумных насосов и блок питания. Микроскоп оснащен держателем препаратов на 6 образцов. Фиксация получаемых электронограмм (электронномикроскопиеских изображений) производится на фотопленку или фотопластинки. Для предварительного наблюдения фиксируемого фотографическим методом изображения используется специальный экран, покрытый люминофором.

Микроскоп применяется в материаловедении, биологических, медицинских исследованиях, а также при оценке биобезопасности продукции наноиндустрии и нанотехнологий.

Рис. 1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего JEM-100CX

Технические характеристики

Таблица 1

Диапазон измерений геометрических расстояний, мкм

4-10’4..100

Пределы допускаемой погрешности измерения геометрических расстояний при ускоряющем напряжении 100 кВ*:

в диапазоне (1..100) мкм при измерении абсолютных размеров, %

в диапазоне (0,05..1) мкм при измерении абсолютных размеров, %

в диапазоне (4-10’4.0,05) мкм при измерении абсолютных размеров (L-размер кадра, выраженный в нанометрах), нм

± 3%

± 8%

± (2+0,08L)

Диапазон регулировки увеличения, крат

от 90 до 800 000

Значения ускоряющего напряжения, кВ

20, 40, 60, 80, 100

Номинальное напряжение сети питания (однофазной), В

230+30

Максимальная потребляемая мощность, кВ •А

4,5

Габаритные размеры основных блоков не более, мм стенд с колонной, блок питания блок насосов

Общий размер в собранном состоянии, мм

1980x1420x2450

655x475x815

660x300x495

2800x3000x2550

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, ° C

- относительная влажность воздуха, %

(20 ± 5) (40 ± 20)

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

1. Микроскоп электронный просвечивающий JEM-100CX    - 1экз.;

2. Комплект ЗИП и расходные материалы                   - 1 компл.;

3. Руководство по эксплуатации                              - 1 шт.;

4. Методика поверки                                           - 1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 48090-11 «Микроскоп электронный просвечивающий JEM-100CX. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в октябре 2011 г.

Основными средствами поверки являются:

Мера длины рельефная МПУ278нм с характеристиками, приведенными в таблице 2. Таблица 2

Наименование

Значение

Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм

0,278

Предел допускаемой основной погрешности шага периодической структуры, мкм

± 0,002

Масса меры не более, г

0,1

Габаритный размер меры (Диаметр х Толщина), мм

3,0 х 0,3

Размер рабочей области меры (Диаметр), мм

1,0

Сведения о методах измерений

Сведения отсутствуют

Нормативные документы

1. Техническая документация фирмы-изготовителя.

Рекомендации к применению

- при выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям

Развернуть полное описание