Назначение
Микроскоп электронный просвечивающий JEM-100CX (далее микроскоп) предназначен для измерений геометрических расстояний и размеров элементов микро- и ультраструктуры тонкопленочных образцов (ультратонких срезов ткани, залитой в полимер, и суспензий микрочастиц (вплоть до наноразмерных), нанесенных на полимерную пленку-подложку).
Описание
Принцип действия микроскопа основан на формировании пучка электронов с энергией до 100 кэВ для непосредственного просвечивания объекта измерений. В качестве объектов, прозрачных для электронов с такой энергией, могут исследоваться ультратонкие срезы, напыленные в вакууме реплики, нанесенные на прозрачную для электронов подложку наночастицы и др. Система магнитных линз микроскопа формирует электронно-микроскопическое изображение объекта проходящими электронами. Контраст на изображении, т.е. его неравномерная освещенность, возникает из-за того, что рассеяние проходящих электронов зависит от массы атомов просвечиваемого вещества, а также, в случае просвечивания кристаллического вещества, и от ориентации кристаллографических осей относительно электронного луча микроскопа. Соответствующие неоднородности объекта становятся видимыми на электронномикроскопическом изображении благодаря тому, что электроны, рассеянные на большие углы, задерживаются апертурной диафрагмой и не участвуют в формировании окончательного изображения.
Конструкция микроскопа включает следующие блоки: основной блок - стенд с колонной, блок вакуумных насосов и блок питания. Микроскоп оснащен держателем препаратов на 6 образцов. Фиксация получаемых электронограмм (электронномикроскопиеских изображений) производится на фотопленку или фотопластинки. Для предварительного наблюдения фиксируемого фотографическим методом изображения используется специальный экран, покрытый люминофором.
Микроскоп применяется в материаловедении, биологических, медицинских исследованиях, а также при оценке биобезопасности продукции наноиндустрии и нанотехнологий.
Рис. 1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего JEM-100CX
Технические характеристики
Таблица 1
| Диапазон измерений геометрических расстояний, мкм | 4-10’4..100 |
| Пределы допускаемой погрешности измерения геометрических расстояний при ускоряющем напряжении 100 кВ*: в диапазоне (1..100) мкм при измерении абсолютных размеров, % в диапазоне (0,05..1) мкм при измерении абсолютных размеров, % в диапазоне (4-10’4.0,05) мкм при измерении абсолютных размеров (L-размер кадра, выраженный в нанометрах), нм | ± 3% ± 8% ± (2+0,08L) |
| Диапазон регулировки увеличения, крат | от 90 до 800 000 |
| Значения ускоряющего напряжения, кВ | 20, 40, 60, 80, 100 |
| Номинальное напряжение сети питания (однофазной), В | 230+30 |
| Максимальная потребляемая мощность, кВ •А | 4,5 |
| Габаритные размеры основных блоков не более, мм стенд с колонной, блок питания блок насосов Общий размер в собранном состоянии, мм | 1980x1420x2450 655x475x815 660x300x495 2800x3000x2550 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, ° C - относительная влажность воздуха, % | (20 ± 5) (40 ± 20) |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
1. Микроскоп электронный просвечивающий JEM-100CX - 1экз.;
2. Комплект ЗИП и расходные материалы - 1 компл.;
3. Руководство по эксплуатации - 1 шт.;
4. Методика поверки - 1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 48090-11 «Микроскоп электронный просвечивающий JEM-100CX. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в октябре 2011 г.
Основными средствами поверки являются:
Мера длины рельефная МПУ278нм с характеристиками, приведенными в таблице 2. Таблица 2
| Наименование | Значение |
| Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм | 0,278 |
| Предел допускаемой основной погрешности шага периодической структуры, мкм | ± 0,002 |
| Масса меры не более, г | 0,1 |
| Габаритный размер меры (Диаметр х Толщина), мм | 3,0 х 0,3 |
| Размер рабочей области меры (Диаметр), мм | 1,0 |
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют
Нормативные документы
1. Техническая документация фирмы-изготовителя.
Рекомендации к применению
- при выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
